用于氮化钛涂层的精确、稳定的气体和液体进料输送

钛在这些应用中经常被用来在目标产品上形成极硬的氮化钛（TiN）涂层。 由于其金色的外观，TiN涂层经常被用于珠宝、家用装置和汽车装饰件的装饰。 类似的涂层也被用作医疗设备和器材的无毒表面。 这些类型的涂层现在也被应用于先进的生物医学设备应用，包括体内生物传感器。

申请要求

CVD工艺通常用于制造氮化钛涂层。在这个过程中，几种化学品（TiCl₄、N2和H2）被送入一个炉子，它们在高温下反应生成TiN，作为涂层沉积在表面。对涂层的完整性、适当的厚度和均匀性至关重要的是确保将这些材料准确地送入熔炉。

TiCl₄将呈液态，必须被汽化以与其他气体正确反应，以确保结果一致。

必须注意尽量减少可能影响涂层完整性的污染。系统中的泄漏或O型圈的渗透会导致室内空气的污染。TiCl₄的不正确汽化会导致污染的混合气体被输送到炉子里。

Process Solution

Brooks Instrument SLA5800系列质量流量控制器&仪表（MFC）为精确、可重复的气体成分输送提供了一个优秀的解决方案。有几种不同的信号选择：模拟（0-5 VDC或4-20 mA）或许多数字协议，包括以太网/IP和PROFINET。这使得控制系统有了一个多功能的接口。

SLA系列MFC具有高精度、可重复性和卓越的长期零点稳定性，是CVD系统的一个高度可靠、无泄漏的关键部件，在CVD工艺的整个生命周期内，在最初启动时就能产生出色的结果。SLA系列有许多选项，可根据具体应用定制MFC，从不同的工艺连接到SLAMf系列质量流量控制器和仪表的危险区域等级。

Brooks Instrument Quantim®科里奥利质量流量控制器用于控制TiC14的液体进料，例如DLI蒸发器，该蒸发器由Brooks Instrument开发，可通过Ceres Technologies根据许可协议获得。该汽化器系统采用温和的汽化技术，以确保向熔炉供应的TiC14的高完整性。进入汽化器的液体进料与载气（如N2）相结合，减少了汽化TiCl4所需的热量。这消除了由于过量的热量而导致的TiC14的分解，提供了进入炉子的稳定的蒸气。

如果您的应用对湿气敏感或要求高纯度，Brooks Instrument也有各种解决方案来满足这些需求。