GP200系列气体数据库

概述

GP200系列质量流量控制器(MFC)的气体模型嵌入在每台GP200设备中，可实现气体和量程的即时重新配置，以获得最大的工艺灵活性。下载以下文件，将您的GP200 MFC更新至最新的嵌入式气体数据库。

文档

文件名	文件类型	文档语言
Standard Bin Gas Listing	xlsx	English
Low Pressure Bin Gas Listing	xlsx	English

版本

GP200 嵌入式气体数据库 V401

新增 250 多种气体

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GP200 嵌入式气体数据库 V400

添加CT仓气体: 88 (SiF₄)

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GP200 嵌入式气体数据库 V399

添加CT仓气体: 6, 22, 176, 569, 651, 723, 817, 1026, 1060, 1061
已添加CT仓测试气体: 7016, 7023, 7124, 7328, 7963
添加LP仓气体: 127, 156
已添加 LP 储藏室测试气体: 7138, 7265, 7266, 7360
更新了型号: 12

HF是一种独特的半导体气体，因为它具有低分子量、低蒸汽压和高比热比的特点。本次更新通过考虑与温度和压力相关的实际可压缩性，改善了 HF 的性能。

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