GF120xHT系列金属密封高温热式质量流量计和控制器

GF120xHT高温质量流量控制器(MFC)和流量计设计用于控制和测量来自液体或固体源的蒸气的质量流量，以支持这些前体在半导体制造过程中日益增长的使用。GF120xHT上的流量模块可以承受高达150°C的工作环境。为了支持这个温度范围，电子部件远程连接到设备的其余部分，并安装在较低温度的区域(最高50°C)。远程电子部件可以DIN安装，可选择三种不同的互连电缆长度- 3英尺，8英尺和16.5英尺的标准选项。广泛的通信协议和装配选择使GF120xHT成为下一代工艺设备和传统加热的MFC升级的理想选择。