挑战：提高超高纯工艺过程中的气体控制
许多晶圆厂将大宗气源和气柜置于距离其所供工具的较远地方。这些气体都是全天候准确、受控输送，对工具的使用和正常运行时间至关重要，所以运行压力传感器和变送器（测量、跟踪和传达压力级，并在压力偏离设定值时生成警报）也同样重要。
解决方案：SolidSense II® 压力传感器
Brooks 的 SolidSense II® 压力传感器旨在处理当今最尖端半导体工艺和节点中使用的复杂、有时刺鼻的气体。该传感器无焊缝，采用耐腐蚀材料，满量程精确到 0.25％ 以内。SolidSense II 传感器通过利用优质不锈钢机加工的独特单件式传感器，不论正在被测量的气体是什么，都表现出了优异的长期稳定性。