蒸汽输送模块
蒸气输送模块是用于输送超高纯度水蒸汽的自足式模块。相比闪蒸系统，他们能提高蒸汽精度，使流速更快，控制范围更广，功耗更小。
关键应用
- 硅半导体后金属刻蚀工艺
- 硅半导体金属带材工艺
- 在低于大气压的环境中超高纯增湿
了解我们的蒸汽输送模块如何挖掘您的工艺潜力。
产品
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| 产品类型 |
DI Water Vapor Delivery Module
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| 区别 |
Ultra High Purity DIW Vapor Highest Flow Accuracy Compact Design EtherCAT interface |
| 蒸发方式 | Vapor Draw |
| 流体类型 | UHP DI Water |
| 流量范围-满量程容量 |
3000 sccm |
| 最大压力 |
Vapor Outlet: 200 torr |