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产品 质量流量控制器 高温 5850EMH系列

5850EMH系列高温质量流量控制计

页面副小标题 - 已被验证的长期稳定性，高温应用中超高纯表现
型号 5850EMH / 5851EMH

来自 Brooks Instrument 的 5850EMH 系列高温金属密封质量流量控制器结合出色的金属密封泄漏完整性，为高温气体测量和控制提供了最先进的性能，具有多种选择，允许最大的应用灵活性。5850EMH 系列的核心是高稳定的传感器，其提供与流速线性相关的电气输出信号。该信号用于指示、记录和/或控制目的而无需自动归零电路。

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5850EMH 系列数据表

特点

  • 高泄漏完整性（小于 10-11 Pa.m3/s (10-10 atm.cc/s) He）
  • 宽流速范围（0.003 - 100 slpm）
  • 高纯度 VAR 316L 不锈钢
  • 无磨粒
  • 氦泄漏检查端口
  • 常闭阀（可选常开阀）
  • 电致动阀复位
  • 低命令流量断流
  • TTL 兼容"关阀"功能

优势

  • 稳定、可靠的产品平台
  • 高流量，高达 100 lpm（N2 当量）
  • 全金属流路提高气体纯度及减少泄漏
  • 仅使用模拟输入/输出容易安装和维修

应用

  • 光纤制造——MCVD，OVD，AVD
  • 水汽流量控制
{9F5F8308-BB6F-42B0-BD54-C495F4A0126E}
产品类型
质量流量控制器
{7C9D6510-73BC-4ACD-9DD5-B693D3543606}
区别

最高流量范围

成熟可靠的技术

{03882600-8FB3-4134-90D3-C759AE7913D5}
性能
{1DB000F2-90B7-4F8D-A70B-D58EC2D7BE3F}
流量范围-满量程容量
100 slm (N2 equivalent)
{553BC2AE-E87A-4EC7-8334-D4F3E54642E8}
精度

1%的满量程

{0F71F561-6DC0-40C8-BA84-F170AD1E500B}
重复性
<±0.25%的实时流量
{C296AA4A-2775-4FD6-B2E4-3F43E86AF17D}
线性

Included in accuracy.

{66056C47-A8A5-4039-826D-5B0F0821BAAB}
响应时间-常闭

<3 秒至 SP 的 2% 以内（根据 SEMI E17-91）

{30FCFDAA-7F33-43CA-8CE0-010251B967DD}
零点稳定性
{7EFE73E0-C61E-44C5-A8AE-E4EF538BD875}
机械
{78BEECC6-5DC0-4B01-9E1D-732F7A35B58C}
密封材料
金属
{E521A5A8-FF1B-41BD-AB12-B829A05B9CF6}
纯净等级
—
{395424D3-1E1C-4411-81BA-8A97EE12C0CE}
接液材料

316L, 316L VAR, & high alloy ferric SS

{62CA6E0E-9BF9-4D2E-8BF0-41A2369EBA3D}
阀门

Normally Open

Normally Closed

{F6E53204-51AB-4A67-A5AE-113BAAA94DFB}
等级
{7B60461D-7A5D-4A8F-8FED-407DF732D9FA}
最大温度
105oC
{AEB479E2-3AE8-4BAC-878E-3269B58B3025}
压差范围

50 - 350 kPa (7 - 50 psid)

{22BA8F9C-AA37-4DC0-B7A5-DD55E92EAFCF}
最大压力

1 MPa (145 psi)

{FF616B11-A632-48A1-8819-95CBE60D41E4}
漏率
1x10-10 atm cc/sec He (1x10-11 Pa m3 /sec)
{3630766A-B8ED-46EF-AD39-EA40656C8007}
电气


{BA2C1E51-B47F-460D-BD6B-5F03C9575414}
诊断能力
—
{CC44B54D-D2E6-4871-B5C6-1BA0DF955379}
模拟通讯

0-5 Vdc

{E96D9E49-C86E-47E4-813A-B7CFA10FDA62}
数字通讯
—
{B1295451-7346-4899-8752-E88DAC951DFA}
电气连接

15-Pin "D" connector

{1E5B2F7D-C97F-4902-8026-994EE128FBEB}
电源-功耗

±15 Vdc @ 350 mA (max)

5850EMH 5851EMH
流量范围-满量程容量 3 sccm - 30 slm (N2 equivalent) 10 - 100 slm (N2 equivalent)
精度

±1% FS

±1% FS
重复性 < ±0.25% of SP < ±0.25% SP
响应时间-常闭

3 sec to within 2% of SP (per SEMI E17-91)

3 sec to within 2% of SP (per SEMI E17-91)
模拟通讯

0-5 Vdc

0-5 Vdc
文件名 文件类型 文档语言
Data Sheet pdf English
Installation & Operation Manual pdf English
Quick Start Guide pdf English
文件名 文件类型
5850EMH-1-A zip
5851EMH-1-K zip