许多工业和半导体工艺需要转换液体，包括将水和其他液体前体转换为高度受控的纯蒸汽。
汽化是从液相到气相的相变。因此，汽化器是一种将液体材料转换为气态的系统。汽化以许多不同方式来实现，所有的现代汽化器都具有以下几个共同特点：
- 提高温度和/或降低液体的环境压力
- 采用封闭式系统来捕获和控制蒸汽流量
- 利用反馈与控制回路系统来规范汽化速率
关键应用
- 水的汽化/加湿
- 化学汽相沉积
- 沉积薄膜，以增强热、光或硬度特性
- 汽化单体适用于真空高分子膜沉积
- 产生校准蒸汽
- 汽化液态烃
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