PC100 系列金属密封压力控制器
压力准确,控制精确
型号 PC115 / PC125
PC100 系列压力控制器和压力表结合大量高性能技术特点,为高要求的半导体、气相沉积和其他超精密制造工艺提供了新的压力控制准确度和可靠性水平。
建立于可靠的 Brooks GF100 质量流量控制器技术之上,PC100 系列特有高纯度全金属流路,专门设计的增强传感器技术以消除传感器漂移,以及用户界面和设备诊断能力,可使设备评价和故障排除更容易,产生有限的维修中断和减少停机时间。