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产品 质量流量控制器 高温 GF120xHT

GF120xHT系列金属密封高温热式质量流量计和控制器

高洁净度流道。卓越的性能和可靠性，适用于高温应用。
GF120xHT高温质量流量控制器(MFC)和流量计设计用于控制和测量来自液体或固体源的蒸气的质量流量，以支持这些前体在半导体制造过程中日益增长的使用。GF120xHT上的流量模块可以承受高达150°C的工作环境。为了支持这个温度范围，电子部件远程连接到设备的其余部分，并安装在较低温度的区域(最高50°C)。远程电子部件可以DIN安装，可选择三种不同的互连电缆长度- 3英尺，8英尺和16.5英尺的标准选项。广泛的通信协议和装配选择使GF120xHT成为下一代工艺设备和传统加热的MFC升级的理想选择。

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GF120xHT 系列数据表

特点

  • 设计用于高达150°C的高温应用
  • 方便的服务端口通过用户友好的界面提供诊断访问
  • 耐腐蚀哈氏合金传感器
  • 根据客户的工艺条件进行校准

优势

  • 能够支持高达150°C的液体前体蒸汽输送应用
  • 用户友好的诊断界面支持工艺工程师确保MFC在规定的限制条件下运行，以实现高产量和最长正常运行时间
  • 提供无与伦比的长期传感器稳定性，以实现最大的吞吐量和产量
  • 在客户的操作温度和压力下进行校准，以获得最佳性能

应用

  • 先进的带钢工艺
  • 原子层沉积(ALD)
  • 沉积
{1C1C328B-B6D2-45A1-9313-61BA47367FB2}
产品类型
质量流量控制器
{B23BBAC3-6C78-4EBD-A2F9-D75DE4CA3401}
区别

高洁净度流路

卓越的性能和可靠性，适用于高达150°C的高温应用

提供DIN导轨安装的远程电子部件

{344ED6E8-9AE8-47AF-A1C4-F3ECDB0F384F}
性能
{5917E1FF-2E00-4547-8BDB-D3EB390D6335}
流量范围-满量程容量
50 sccm – 5 slm (等效N2)
{DAA275D0-8EA5-4A49-9771-7BB69DD8F6E9}
精度

±1%的实时流量（流量>35-100%)

±0.35%的满量程（流量于2-35%）

{689A0D9F-D85A-4587-ABE3-3672BA2086FD}
重复性
<±0.15%的实时流量
{7D311C75-4149-4C43-ABE0-16317B034437}
响应时间-常闭
常闭阀: <1秒
{ABF98482-A015-4A9B-9102-D166555BCBAF}
机械
{2E3564A8-B184-4A10-AA60-9D1B3FA6BB6B}
密封材料
金属
{77DD7855-AD73-44E4-BEF3-C6E9143732BB}
纯净等级
平均5u inch Ra
{80A5E0DC-095D-46BD-9148-80AEA633CCC8}
等级
{9A8B46D6-0BFE-4826-A23D-10F1578A9352}
最大温度
105oC
{A0C6DF97-EFA7-4E87-9FC9-DAC933059749}
最大压力

500 psia

{7061F3FF-2CAD-4026-894D-3CCE78CB6AD0}
电气


{28CDC64C-3BEB-4ABB-B6C7-CD8B67E7A3F8}
诊断能力
可用
{5DAF71D4-A621-4195-88ED-27877FA44243}
模拟通讯

0-5 Vdc

{BB937020-3869-45DD-9514-0D65B8A8AF3B}
数字通讯
DeviceNet™, EtherCAT®, RS-485 L-Protocol
文件名 文件类型 文档语言
Data Sheet GF120xHT pdf English
Installation & Operation Manual pdf English
DeviceNet™ Supplemental Manual pdf English
EtherCAT® Supplemental Manual - GF1xx pdf English
RS485 L-Protocol Supplemental Manual pdf English

根据数据表中的型号代码信息，使用以下指南翻译下面提供的 CAD 图纸的文件名。如果您需要帮助或找不到所需的信息，请联系应用工程部或当地的 Brooks Instrument 代表。

示例: GF120xHT (模型) - CX (合适的) - G1 (连接器)

模型
   合适  连接器
GF120xHT   BX - 1-1/2” body width, 92 mm W Seal  BX - Cable adapter to 15-pin D adapts G1 base
    CX - 1-1/8” body width, 92 mm C Seal
  *DX - DeviceNet™ 5-pin micro  
    LX - 1-1/8” body width, 92 mm C Seal w/Poke Yoke  EX - Cable adapter to Card Edge (w/o VTP), RS485 through RJ11 jacks adapts GX base  
    VX - 1-1/8” body width, 124 mm 1-1/4” VCR male  GX - 9-Pin D with RS485 (Unit”G”), display and overlay 180 degree orientation  
    WX - 1-1/8” body width, 92 mm W Seal  G1 - 9-Pin D with RS485 (Unit”G”)  
     HX - Adapter to cardedge adapts to G1 base  
     IX - Adapter to cardedge adapts to GX base  
     JX - Cable adapter with 9-pin STEC pin-out & jack screws (w/VTP) adapts SX base  
     KX - Cable adapter to MKS 15-pin D, adapts G1 base  
     QX - Adapter to cardedge (w/out VTP) adapts to SX base  
     SX - 9-pin D with STEC pin-out (w/VTP) (units “S“, “Q“)  
     UX - Cable adapter to 15-pin D (w/VTP) adapts SX base  
文件名 文件类型
GF120XHT-BX-BX zip
GF120XHT-BX-DX zip
GF120XHT-BX-E0 zip
GF120XHT-BX-EX zip
GF120XHT-BX-FX zip
GF120XHT-BX-G1 zip
GF120XHT-BX-GX zip
GF120XHT-BX-HX zip
GF120XHT-BX-IX zip
GF120XHT-BX-JX zip
GF120XHT-BX-KX zip
GF120XHT-BX-QX zip
GF120XHT-BX-SX zip
GF120XHT-BX-UX zip
GF120XHT-CX-BX zip
GF120XHT-CX-DX zip
GF120XHT-CX-E0 zip
GF120XHT-CX-EX zip
GF120XHT-CX-FX zip
GF120XHT-CX-G1 zip
GF120XHT-CX-GX zip
GF120XHT-CX-HX zip
GF120XHT-CX-IX zip
GF120XHT-CX-JX zip
GF120XHT-CX-KX zip
GF120XHT-CX-QX zip
GF120XHT-CX-SX zip
GF120XHT-CX-UX zip
GF120XHT-LX-BX zip
GF120XHT-LX-DX zip
GF120XHT-LX-E0 zip
GF120XHT-LX-EX zip
GF120XHT-LX-FX zip
GF120XHT-LX-G1 zip
GF120XHT-LX-GX zip
GF120XHT-LX-HX zip
GF120XHT-LX-IX zip
GF120XHT-LX-JX zip
GF120XHT-LX-KX zip
GF120XHT-LX-QX zip
GF120XHT-LX-SX zip
GF120XHT-LX-UX zip
GF120XHT-VS-BX zip
GF120XHT-VS-DX zip
GF120XHT-VS-E0 zip
GF120XHT-VS-EX zip
GF120XHT-VS-FX zip
GF120XHT-VS-G1 zip
GF120XHT-VS-GX zip
GF120XHT-VS-HX zip
GF120XHT-VS-IX zip
GF120XHT-VS-JX zip
GF120XHT-VS-KX zip
GF120XHT-VS-QX zip
GF120XHT-VS-SX zip
GF120XHT-VS-UX zip
GF120XHT-VX-DX zip
GF120XHT-VX-E0 zip
GF120XHT-VX-EX zip
GF120XHT-VX-FX zip
GF120XHT-VX-G1 zip
GF120XHT-VX-GX zip
GF120XHT-VX-HX zip
GF120XHT-VX-IX zip
GF120XHT-VX-JX zip
GF120XHT-VX-KX zip
GF120XHT-VX-QX zip
GF120XHT-VX-SX zip
GF120XHT-VX-UX zip
GF120XHT-WX-BX zip
GF120XHT-WX-DX zip
GF120XHT-WX-E0 zip
GF120XHT-WX-EX zip
GF120XHT-WX-FX zip
GF120XHT-WX-G1 zip
GF120XHT-WX-GX zip
GF120XHT-WX-HX zip
GF120XHT-WX-IX zip
GF120XHT-WX-JX zip
GF120XHT-WX-KX zip
GF120XHT-WX-QX zip
GF120XHT-WX-SX zip
GF120XHT-WX-UX zip