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GP200 Gas-Datenbank

Überblick

Das Gasmodell für die Massendurchflussregler (MFC) der GP200-Serie ist in jedes GP200-Gerät eingebettet und ermöglicht eine fliegende Gas- und Bereichsumkonfiguration für maximale Prozessflexibilität. Laden Sie die folgenden Dateien herunter, um Ihren GP200 MFC auf die neueste integrierte Gasdatenbank zu aktualisieren.

Dokumentation

Dateiname Dateityp Dokumente nach Sprache
Standard Bin Gas Listing xlsx English
Low Pressure Bin Gas Listing xlsx English

GP200 Eingebettete Gasdatenbank V401

  • Über 250 neue Gase hinzugefügt

GP200 Eingebettete Gasdatenbank V400

  • CT Bin Gases hinzugefügt: 88 (SiF4)

GP200 Eingebettete Gasdatenbank V399

  • CT Bin Gases hinzugefügt: 6, 22, 176, 569, 651, 723, 817, 1026, 1060, 1061
  • CT Bin Test Gase hinzugefügt: 7016, 7023, 7124, 7328, 7963
  • LP Bin Gase hinzugefügt: 127, 156
  • LP-Bin-Testgase hinzugefügt: 7138, 7265, 7266, 7360
  • Aktualisiertes Modell: 12
      • HF ist aufgrund seiner Kombination aus niedrigem Molekulargewicht, niedrigem Dampfdruck und hohem spezifischen Wärmeverhältnis ein einzigartiges Halbleitergas. Diese Aktualisierung beinhaltet eine verbesserte HF-Leistung durch Berücksichtigung der temperatur- und druckabhängigen tatsächlichen Kompressibilität.