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Produkte Massendurchflussmesser Metallgedichtete Massendurchflussregler Serie GF100

Massendurchflussregler der Serie GF100 für die Halbleiterproduktion

Herausragende Leistung, Zuverlässigkeit und Wiederholbarkeit – mit den MFCs der Serie GF100
Verfügbare Modelle GF100 / GF101 / GF120 / GF120 / GF120XSD / GF120XSL / GF121 / GF125 / GF126

Metallgedichtete Massendurchflussregler und -messgeräte der Serie GF100 sind nicht nur sehr schnell ansprechbar. Die leistungsstarken MFCs bieten Ihnen auch eine hohe Wiederholbarkeit und Reinheit. Die Durchflussmessgeräte sind extra für die Halbleiterproduktion entwickelt.

Dabei übertrifft die Serie GF100 den Halbleiterindustriestandard und stellt eine wiederholbare, zuverlässige Leistung sicher. Alle Durchflussmesser der Serie sind zudem standardmäßig mit MultiFlo™ ausgestattet. So können Sie eine Vielzahl an Gas-Arten mit nur einem Massendurchflussregler messen.


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Datenblatt Serie GF100

Merkmale

  • Langzeitnullpunktstabilität von <±0,5 % des Endwerts pro Jahr
  • Einschwingzeiten: 300 ms - <700 ms or 700 ms - <1 Sekunde
  • Maximaler Durchfluss bis zu 300 sl/min
  • Vollständig aus Metall bestehender Strömungsweg: Option für Oberflächenrauigkeit Ra 0,1 µm oder 0,25 µm
  • Der korrosionsbeständige Hastelloy® T-Rise Sensor verbessert die Reproduzierbarkeit bei erhöhten Temperaturen.
  • Kompatibel mit MultiFlo™: Sie können eine Vielzahl an Gas-Arten und Durchflusswerten mit nur einem Gerät messen
  • Lokale Anzeige
  • Optionales sicheres Gas-Bereitstellungssystem (SDS)
  • DeviceNet™, RS-485 L-Protokoll und analoge Schnittstellen

Ihre Vorteile

  • Absolut zuverlässig (im Dauerbetrieb entsprechend dem Siebenfachen des Halbleiterindustriestandards)
  • Schnelle Gaswechsel während des Spülprozesses dank korrosionsbeständiger, vollständig aus Metall bestehender Strömungsweg mit reduzierten Oberflächen und Totvolumen. 
  • Mit MultiFlo™ lassen sich neue Prozessgase und/oder Bereiche in weniger als 60 Sekunden einstellen – keine Demontage und Kalibrierung der Massedurchflussregler erforderlich.
  • Umfangreiche Konfigurations- und Anschlussoptionen sorgen für problemlosen Austausch und Ersatz der meisten Marken metallgedichteter Massedurchflussregler, einschließlich der früheren Marken Celerity, Mykrolis, Tylan und UNIT.
  • GF120 Safe Delivery System (SDS®, sicheres Bereitstellungssystem) für sichere Unterdruckbereitstellung von Gasen für Implantations- und Ätzprozesse
  • Komfortables Benutzerdisplay und unabhängiger Diagnose- und Serviceanschluss für eine unkomplizierte Geräteinstallation, Überwachung und Fehlerbehebung.

Für welche Projekte MFCs der GF100 Serie ideal geeignet sind

  • Ätzsysteme für die Halbleiterherstellung
  • Systeme für die chemische Dünnschicht-Gasphasenabscheidung (CVD, MOCVD, PECVD, ALD)
  • Systeme mit physikalischer Gasphasenabscheidung (PVD)
  • Epitaxialprozess-Systeme
{67621A02-7699-4F12-BBDC-60D9004F0339}
Gerätetyp

Massedurchflussregler

{B39AB522-FCA3-4A92-B76F-8147E7A99DE1}
Unterscheidungsmerkmal

High Purity/Ultra-High Purity

Standard GF Series

High Flow GF Series

Ultra-Fast Response Time

Pressure Transient Insensitivity

{0F724D3A-A6AF-4AE4-850F-7CB7D98ABC8A}
Leistung
{DD04D52B-F1CB-49CB-8C3C-6DD4DCCE8F47}
Durchflussbereich (Maximalwert)

Standard GF Series: 3 sccm - 55 slpm

High Flow GF Series: 55 slpm - 300 slpm

{081BE13A-92DA-4DE7-851E-2943A8B79405}
Genauigkeit

±1% S.P. > 35-100%

±0.35% F.S. 2-35%

{3A51093B-CA51-41BB-881F-3F228AB4B9AC}
Wiederholbarkeit
< ±0.15% S.P.
{9642EE73-6469-41B0-9635-D0FC77DE416C}
Linearität

±0.5% F.S. (included in accuracy)

{F6EAA9AA-9EFA-499A-87B8-41E6B509AF51}
Ansprechzeit – Stromlos geschlossenes Ventil

Normalerweise geschlossen:

300 ms - < 700 ms

700 ms - < 1 sec

SDS Gas Delivery: < 3 sec

{02AA87A4-3B1E-4F25-B7D0-105C6C9F9FD1}
Ansprechzeit – Stromlos geöffnetes Ventil

Normalerweise geöffnet: <1.5 sec (specific models)

{05574362-0330-4B02-B820-5123105D6513}
Konfigurierbarkeit Multigas/Mutirange
MultiFlo™ Standard (most models)
{538D3201-786E-4A32-B275-41597E0CE7E0}
Druckschwankungsabhängigkeit

<5% S.P. for up to 5 psi/sec upstream press. spike

{DF7B02EF-6342-4148-B7F6-794315818D3B}
Regelbereich

Standard GF Series: < 3-100%

High Flow GF Series: 5-100%

{9C3AA3E1-C5FC-48E8-B36A-C195F8F606DD}
Anzahl der Gerätegrundgrößen

Standard GF Series: 11 bins

High-Flow GF Series: 4 bins

{438A9418-BB97-43D1-81C5-B0A52D92C0FD}
Schleichmengen-Unterdrückung

Standard GF Series: < 1% F.S.

High Flow GF Series: < 2% F.S. @ 30 N2 psig/atm out

{11E8DCA4-4E3B-4975-9BE5-EBA91C80801C}
Nullstabilität
< ±0.5% F.S. per year
{39961ABF-0D9C-4C4F-B2E5-DD244D234A9F}
Temperaturkoeffizient

Span: 0.05% S.P. per °C

Zero: 0.005% F.S. per °C

{92DB7D93-6B51-4A9B-9B45-E7AC9B4F0848}
Mechanisch
{00FD366A-9377-49D6-BB7A-C0AF22DC8434}
Dichtungsmaterial
Metal
{53181BE2-787E-48EC-8BA0-712085A1CE8C}
Reinheitsgrad
4 - 10µ inch Ra
{E9DFB78F-5DA5-4974-852B-271C5300CB93}
Medienberührte Teile

SEMI F20 HP/UHP Compliant

316L VIM/VAR

Hastelloy C-22

316L Stainless Steel

304 Stainless Steel

KM-45

{D991E384-0015-45DF-8B6E-4B3975F9EFE5}
Ventil

Normalerweise geschlossen

Normalerweise geöffnet

Zähler (kein Ventil)

{E9BE919F-CF9A-4818-A0E0-55DEE43D53A7}
Kennwerte
{00DFAA0D-4DDD-4057-8EC1-F713D0EB0233}
Maximale Temperatur
50oC
{9D73B7BD-D7C3-4C56-B408-FA7D94CD8FED}
Differenzdruckbereich

3-860 sccm = 7-45 psid

861-7200 sccm = 10-45 psid

7201-55000 sccm = 15-45 psid

51 slm-300 slm = 30-90 psid

*Bei typischen Druckverlusten kontaktieren Sie bitte unseren technischen Support – wir helfen Ihnen gerne.

{E7A1C04C-79EC-4FAC-B1E1-BD576CA8D52E}
Maximaler Druck

Standard GF Series: 500 psia max

High Flow GF Series: 75 psig (controller), 150 psig (meter)

{D5A59A33-B974-4ED4-98D8-4C092762422D}
Leckrate
1x10-10 atm cc/sec He
{4C4BA641-C44D-4E88-AA7E-98F200705CB6}
Diagnose und Anzeige
{6136989F-23CC-4A62-9BCD-6660E022B2AF}
Diagnosefähigkeit
Verfügbar

{D549975F-CA5B-4308-944C-1138276AECCC}
Status Leuchten

MFC Gesundheit

Netzwerkstatus

{E9C0F579-B726-429F-8B14-788F805E8DA1}
Alarme

Control Valve Output

Network Interruption

{6CF6BE50-F8FF-4B83-98B2-F5AA0B788BAF}
Diagnose/Service-Port

RS-485 via 2.5mm jack (all models)

{4D8488B6-EB3E-4DED-95D7-2D5D6699626F}
Anzeigen

Top Mount Integrated LCD

Viewing Angle: Fixed

Viewing Distance: 10 feet

Units Displayed: Flow (%), Temp (°C), Pressure (psia, kPa)

Resolution: 0.1 (unit)

{57E85A87-41A2-4A75-B778-6FC689FC2A65}
Elektrisch
{B7240DE5-C6E2-4C99-862B-810A5FFE0507}
Analoge Kommunikation

0-5 Vdc

{CB62894D-8440-4FCD-9829-5ED4E4050233}
Digitale Kommunikation

DeviceNet™

RS485 L-Protocol

{A407DCFB-4517-4752-921F-E0BA3951ED2D}
Elektrischer Anschluss

Analog/RS485 via 9-Pin "D" connector

DeviceNet™ via 5-Pin "M12" connector

Verschiedene Kabeladapter erhältlich. Weitere Informationen finden Sie im Produktdatenblatt.

{CAC8E733-6343-4F57-81A0-B1E808EE51AB}
Spannungsversorgung

Analog/RS485 L Protocol: 6 Watts max @ ±15 Vdc (±10%) or +24 Vdc (±10%)

DeviceNet™: 545 mA max @ +11-25 Vdc, 250 mA max @ 24 Vdc

(Under typical operating conditions)

{A2B444AF-2A63-4013-9661-DA1BCA525685}
Beachtung
{BD155239-DD6A-4B7D-B9E9-3D97DFA8423B}
EMV

EC Directive 2004/108/EC

CE: EN61326-1: 2006 (FCC Part 15 & Canada IC-subset of CE testing)

{67256706-43E8-4E93-9191-90484E5B5D81}
Einhaltung von Umweltvorschriften

RoHS Directive (2011/65/EU)

REACH Directive EC 1907/2006

GF100 GF101 GF120 GF120 GF120XSD GF120XSL GF121 GF125 GF126
Unterscheidungsmerkmal

High Purity

High Purity

High Flow Rate

 

Ultra-High Purity

Ultra-Fast Response Time

 

Highest Flow Range

Proven, reliable technology

SDS Gas Delivery

SDS Gas Delivery

Ultra-High Purity

High Flow Rate

Ultra-High Purity

Ultra-Fast Response Time

Pressure Transient Insensitivity

Ultra-High Purity

High Flow Rate

Pressure Transient Insensitivity
Durchflussbereich (Maximalwert) 3 sccm - 55 slm

55 slm - 300 slm

 3 sccm - 55 slm 3 sccm - 55 slm >25 sccm - 1 slm 4 - 25 sccm

55 slm - 300 slm

 3 sccm - 55 slm

55 slm - 300 slm
Oberflächenbeschaffenheit 10µ inch Ra 10µ inch Ra 4µ inch Ra 4µ inch Ra 4µ inch Ra 4µ inch Ra 4µ inch Ra 4µ inch Ra 4µ inch Ra
Genauigkeit

±1% S.P. > 35-100%

±0.35% F.S. 2-35%

±1% S.P. > 35-100%

±0.35% F.S. 2-35%

±1% S.P. > 35-100%

±0.35% F.S. 2-35%

±1% S.P. > 35-100%

±0.35% F.S. 2-35%

±1% S.P. > 35-100%

±0.35% F.S. 2-35%

±1% S.P. > 35-100%

±0.35% F.S. 2-35%

±1% S.P. > 35-100%

±0.35% F.S. 2-35%

±1% S.P. > 35-100%

±0.35% F.S. 2-35%

±1% S.P. > 35-100%

±0.35% F.S. 2-35%
Wiederholbarkeit < ±0.15% S.P. < ±0.15% S.P. < ±0.15% S.P. < ±0.15% S.P.

< ±0.15% S.P.

< ±0.15% S.P.

 < ±0.15% S.P. < ±0.15% S.P. < ±0.15% S.P.
Ansprechzeit – Stromlos geschlossenes Ventil

Normalerweise geschlossen

<1 sec

Normalerweise geschlossen

<1 sec

Normalerweise geschlossen

700 ms

Normalerweise geschlossen

700 ms

Normalerweise geschlossen

<3 sec

Normalerweise geschlossen

<3 sec

Normalerweise geschlossen

<1 sec

Normalerweise geschlossen

300ms (3-860 sccm N2 Eq.)

400ms (861-7200 sccm N2 Eq.)

500ms (7201-30000 sccm N2 Eq.)

<700ms (30001-55000 sccm N2 Eq.)

 

Normalerweise geschlossen

<1 sec

 
Ansprechzeit – Stromlos geöffnetes Ventil

Normalerweise geöffnet

<1.5 sec

Normalerweise geöffnet

—

Normalerweise geöffnet

<1.5 sec

Normalerweise geöffnet

<1.5 sec

Normalerweise geöffnet

—

Normalerweise geöffnet

—

Normalerweise geöffnet

—

Normalerweise geöffnet

<1.5 sec

Normalerweise geöffnet

—
Konfigurierbarkeit Multigas/Mutirange MultiFlo™ Standard MultiFlo™ Standard MultiFlo™ Standard MultiFlo™ Standard — — MultiFlo™ Standard MultiFlo™ Standard MultiFlo™ Standard
Druckschwankungsabhängigkeit — — — — — — —

±5% S.P. up to 5 psi/sec upstream press. spike

Ability to measure inlet pressure
Diagnosefähigkeit

Status Leuchten - MFC Gesundheit, Netzwerkstatus

Alarme - Regelventilausgang, Netzwerkunterbrechung

Status Leuchten - MFC Gesundheit, Netzwerkstatus

Alarme - Regelventilausgang, Netzwerkunterbrechung

Status Leuchten - MFC Gesundheit, Netzwerkstatus

Alarme - Regelventilausgang, Netzwerkunterbrechung

Status Leuchten - MFC Gesundheit, Netzwerkstatus

Alarme - Regelventilausgang, Netzwerkunterbrechung

Status Leuchten - MFC Gesundheit, Netzwerkstatus

Alarme - Regelventilausgang, Netzwerkunterbrechung

Status Leuchten - MFC Gesundheit, Netzwerkstatus

Alarme - Regelventilausgang, Netzwerkunterbrechung

Status Leuchten - MFC Gesundheit, Netzwerkstatus

Alarme - Regelventilausgang, Netzwerkunterbrechung

Status Leuchten - MFC Gesundheit, Netzwerkstatus

Alarme - Regelventilausgang, Netzwerkunterbrechung

Status Leuchten - MFC Gesundheit, Netzwerkstatus

Alarme - Regelventilausgang, Netzwerkunterbrechung
Analoge Kommunikation

0-5 Vdc

0-5 Vdc

0-5 Vdc

0-5 Vdc

0-5 Vdc

0-5 Vdc

0-5 Vdc

0-5 Vdc

0-5 Vdc
Digitale Kommunikation

RS485 L Protocol

DeviceNet™

 

RS485 L Protocol

DeviceNet™

 

RS485 L Protocol

DeviceNet™

 

RS485 L Protocol

DeviceNet™

 

RS485 L Protocol

DeviceNet™

 

RS485 L Protocol

DeviceNet™

 

RS485 L Protocol

DeviceNet™

 

RS485 L Protocol

DeviceNet™

RS485 L Protocol

DeviceNet™

 
Dateiname Dateityp Dokumente nach Sprache
Data Sheet GF100 pdf English
Data Sheet GF120xHT pdf English
Installation & Operation Manual pdf English
DeviceNet™ Supplemental Manual pdf English
RS485 L-Protocol Supplemental Manual pdf English

Verwenden Sie den folgenden Leitfaden (Modellcodeinformationen aus dem Datenblatt), um die unten verfügbaren CAD-Konfigurationen zu übersetzen. Wenn Sie Hilfe benötigen oder nicht finden können, was Sie suchen, wenden Sie sich bitte an die Anwendungstechnik oder Ihren lokalen Brooks Instrument Vertreter.

Beispiele: GF100 - AS - G1

Messgeräte-Serie Fitting
Anschluss
 GF1xx AS - 1-1/2” body width, 92 mm 0.440” large bore C Seal (only for bins SH45-SH50)
 BX - Cable adapter to 15 pin D Brooks (Unit “B”,”N”) adapts G1 base
  CX - 1-1/8” body width, 92 mm C Seal
 *DX - DeviceNet™ 5 pin micro
  VX - 1-1/2” body width, 124mm 1/4” VCR male
 EX - Cable adapter to Card Edge (w/o VTP), RS485 through RJ11 jacks (Unit”E”; IN “L”, “R”) adapts GX base
  WX - 1-1/8” body width, 92mm W Seal
 GX - 9-Pin D with RS485 (Unit”G”); display and overlay 180 degree orientation
    G1 - 9-Pin D with RS485 (Unit”G”)
    SX - 9 pin D with STEC pin-out (w/VTP) (Unit”S”,”Q”)
Dateiname Dateityp
GF100-GF120-GF125-AS-DX zip
GF100-GF120-GF125-AS-G1 zip
GF100-GF120-GF125-AS-SX zip
GF100-GF120-GF125-AX-DX zip
GF100-GF120-GF125-AX-G1 zip
GF100-GF120-GF125-BX-DX zip
GF100-GF120-GF125-BX-SX zip
GF100-GF120-GF125-CX-DX zip
GF100-GF120-GF125-CX-G1 zip
GF100-GF120-GF125-CX-GX zip
GF100-GF120-GF125-CX-SX zip
GF100-GF120-GF125-CX-TX zip
GF100-GF120-GF125-DX-DX zip
GF100-GF120-GF125-DX-TX zip
GF100-GF120-GF125-EX-SX zip
GF100-GF120-GF125-LX-DX zip
GF100-GF120-GF125-LX-GX zip
GF100-GF120-GF125-VS-DX zip
GF100-GF120-GF125-VS-G1 zip
GF100-GF120-GF125-VS-GX zip
GF100-GF120-GF125-VS-SX zip
GF100-GF120-GF125-VS-TX zip
GF100-GF120-GF125-VX-BX zip
GF100-GF120-GF125-VX-DX zip
GF100-GF120-GF125-VX-EX zip
GF100-GF120-GF125-VX-G1 zip
GF100-GF120-GF125-VX-GX-STEP zip
GF100-GF120-GF125-VX-KX zip
GF100-GF120-GF125-VX-SX zip
GF100-GF120-GF125-VX-TX zip
GF100-GF120-GF125-WX-DX zip
GF100-GF120-GF125-WX-G1 zip
GF100-GF120-GF125-WX-GX-STEP zip
GF100-GF120-GF-125-WX-SX zip
GF100-GF120-GF125-YX-DX zip
GF101-GF-121-GF126-C1-DX zip
GF101-GF121-GF126-C1-SX zip
GF101-GF121-GF126-C2-E0 zip
GF101-GF121-GF126-V1-D0 zip
GF101-GF121-GF126-V1-DX zip
GF101-GF121-GF126-V1-E0 zip
GF101-GF-121-GF126-V1-EX zip
GF101-GF121-GF126-V1-G1 zip
GF101-GF121-GF126-V1-SX zip
GF101-GF121-GF126-V2-DX zip
GF101-GF121-GF126-V2-G1 zip
GF101-GF121-GF126-V2-SX zip
GF120XHT-BX-BX zip
GF120XHT-BX-DX zip
GF120XHT-BX-E0 zip
GF120XHT-BX-EX zip
GF120XHT-BX-FX zip
GF120XHT-BX-G1 zip
GF120XHT-BX-GX zip
GF120XHT-BX-HX zip
GF120XHT-BX-IX zip
GF120XHT-BX-JX zip
GF120XHT-BX-KX zip
GF120XHT-BX-QX zip
GF120XHT-BX-SX zip
GF120XHT-BX-UX zip
GF120XHT-CX-BX zip
GF120XHT-CX-DX zip
GF120XHT-CX-E0 zip
GF120XHT-CX-EX zip
GF120XHT-CX-FX zip
GF120XHT-CX-G1 zip
GF120XHT-CX-GX zip
GF120XHT-CX-HX zip
GF120XHT-CX-IX zip
GF120XHT-CX-JX zip
GF120XHT-CX-KX zip
GF120XHT-CX-QX zip
GF120XHT-CX-SX zip
GF120XHT-CX-UX zip
GF120XHT-LX-BX zip
GF120XHT-LX-DX zip
GF120XHT-LX-E0 zip
GF120XHT-LX-EX zip
GF120XHT-LX-FX zip
GF120XHT-LX-G1 zip
GF120XHT-LX-GX zip
GF120XHT-LX-HX zip
GF120XHT-LX-IX zip
GF120XHT-LX-JX zip
GF120XHT-LX-KX zip
GF120XHT-LX-QX zip
GF120XHT-LX-SX zip
GF120XHT-LX-UX zip
GF120XHT-VS-BX zip
GF120XHT-VS-DX zip
GF120XHT-VS-E0 zip
GF120XHT-VS-EX zip
GF120XHT-VS-FX zip
GF120XHT-VS-G1 zip
GF120XHT-VS-GX zip
GF120XHT-VS-HX zip
GF120XHT-VS-IX zip
GF120XHT-VS-JX zip
GF120XHT-VS-KX zip
GF120XHT-VS-QX zip
GF120XHT-VS-SX zip
GF120XHT-VS-UX zip
GF120XHT-VX-DX zip
GF120XHT-VX-E0 zip
GF120XHT-VX-EX zip
GF120XHT-VX-FX zip
GF120XHT-VX-G1 zip
GF120XHT-VX-GX zip
GF120XHT-VX-HX zip
GF120XHT-VX-IX zip
GF120XHT-VX-JX zip
GF120XHT-VX-KX zip
GF120XHT-VX-QX zip
GF120XHT-VX-SX zip
GF120XHT-VX-UX zip
GF120XHT-WX-BX zip
GF120XHT-WX-DX zip
GF120XHT-WX-E0 zip
GF120XHT-WX-EX zip
GF120XHT-WX-FX zip
GF120XHT-WX-G1 zip
GF120XHT-WX-GX zip
GF120XHT-WX-HX zip
GF120XHT-WX-IX zip
GF120XHT-WX-JX zip
GF120XHT-WX-KX zip
GF120XHT-WX-QX zip
GF120XHT-WX-SX zip
GF120XHT-WX-UX zip
Serie 0250
Serie 0250

Steuert die Spannungsversorgung für bis zu 4 Geräte

MultiFlo™ Konfigurator
MultiFlo™ Konfigurator
MultiFlo™ Konfigurator