Die Massendurchflusregler-Serie SLA5800

Höchste Genauigkeit und Wiederholbarkeit mit der SLA5800 Serie

Verfügbare Modelle SLA5850 / SLA5851 / SLA5853 / SLA5860 / SLA5861 / SLA5863

Mit den Massendurchflussreglern und -messgeräten der Serie SLA5800 schaffen Sie viel: Sie können innerhalb eines Prozesses mit nur einem Durchflussmesser vierzehn unterschiedliche Druck- oder Durchflussraten messen. So profitieren Sie bei Ihrer Prozessregelung von höchster Präzision, Wiederholbarkeit und Einfachheit.

Die Serie SLA5800 weist die hohe Genauigkeit und Nullpunktstabilität auf, die Sie von unserer wegweisenden Durchfluss-Technologie erwarten. Mit der hochentwickelten, konfigurierbaren Multigas/Multirange Technologie bieten diese Geräte Ihnen zudem einen sehr geringen Nullpunktdrift. Die Kalibrierung und Genauigkeit ab Werk bleiben Ihnen sehr lange erhalten – nachweisbar.

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Datenblatt Serie SLA5800

Merkmale

ISO/IEC 17025 Akkreditiert
SLA Serie Biotech MFC bietet zwei Optionspakete mit Funktionen, die speziell zur Verbesserung der Bioprozessleistung entwickelt wurden. Finden Sie heraus, welches Paket das richtige für Ihren Prozess ist.
Langzeitnullpunktstabilität von <0,2 % des Endwerts pro Jahr
Hervorragende Genauigkeit
Großer Durchflussbereich von 0,003 bis zu 2500 l/min
Höchste Prozessdruckwerte bis zu 100 bar (optional: 310 bar)
Programmierbare Multigas/Multirange Fähigkeiten
Separater, einfach zugänglicher Diagnose- und Serviceanschluss
EtherNet/IP™ und PROFINET Protokoll mit webbasierter Schnittstelle zur einfachen Konfiguration der Netzwerkeinstellungen
Anwenderfreundliche Modulbauweise

Ihre Vorteile

ISO/IEC 17025-Zertifizierung und Kalibrierung mit einer Durchflussgenauigkeit von ±0,6 % des SP verfügbar
Verbesserte Ventilabschaltung, großer Turndown, Zertifizierungen und Zulassungen (USP Class VI/ADI-frei) für alle Elastomermaterialien im MFC-Gasstrom (benetzter Pfad), einschließlich Ventilsitze und O-Ringe, verfügbar mit der SLA Serie-Biotech MFC
Dank der Langzeitstabilität der Sensoren müssen Ihre Geräte seltener gewartet und rekalibriert werden. So reduzieren Sie Ihre Gesamtbetriebskosten.
Verbesserte Genauigkeit schon bei niedrigen Sollwerten, entsprechend der globalen Normen für Primärkalibriersysteme.
Maximale Flexibilität bei der Auswahl der Gase und Durchflussbereiche.
Die Speicherung und Vorprogrammierung von bis zu sechs Gaskalibrierungen auf einem einzigen Gerät ermöglichen Ihnen das einfache Umschalten auf verschiedene Gase und Bereiche. So verkleinert sich auch die Lagerhaltung.
Der benutzerfreundliche Serviceanschluss erleichtert Installations-, Fehlerbehebungs- und Diagnosearbeiten ohne den Betrieb zu stören.
Der robuste Deckel aus solidem Metall verhindert Schäden während der Installation.
EtherNet/IP™ und PROFINET ermöglicht Ihnen eine erweiterte Diagnose und umfangreiche Systeminformationen in Echtzeit.

Für diese Aufgaben können Sie die Serie SLA5800 einsetzen

Katalysatorforschung und Pilotprozesse in Chemie und Petrochemie
Labor- und Analysesysteme
Brennstoffzellentechnologie
Bioreaktoren der Biowissenschaft

Gerätetyp

Massedurchflussregler

Unterscheidungsmerkmal

Großer Durchfluss- und Druckbereich

Exzellente Langzeitstabilität

Hohe Genauigkeit

Leistung

Durchflussbereich (Maximalwert)

.003 - 2500 slpm

Genauigkeit

17025 Zertifizierte Geräte (einschließlich Linearität, ohne Messunsicherheit des Kalibriersystems, nach SEMI E69)

±0.6% der SP (20-100% FS)

±0.12% der FS (<20% FS)

1100 slpm bis zu 2500 slpm: ±0.6% der FS

Die Genauigkeit beinhaltet die Messunsicherheit von Referenzstandards.

±0.9% der SP (20-100% FS)

±0.18% der FS (2-20% FS)

1100 slpm bis zu 2500 slpm: ±1.0% der FS

Wiederholbarkeit

0.20% SP

Linearität

In der Genauigkeit enthalten

Ansprechzeit – Stromlos geschlossenes Ventil

0.003 - 100 slpm: <1 second

100 - 2500 slpm: <3 seconds

Konfigurierbarkeit Multigas/Mutirange

Standard

Maximaler Druck

.003-200 slpm: 1500 psi/103 bar

100 - 2500 slpm: 1000 psi/70 bar

Optional 4500 psi/310 bar on 50 slpm max device

Regelbereich

1-50 slpm: 100:1 Turndown for F.S.

50-2500 lpm: 50:1 Turndown for F.S.

Nullstabilität

< 0.2% F.S. per year

Temperaturkoeffizient

Zero: <0.05% of F.S per ^oC

Span: <0.1% of S.P. per ^oC

Druckkoeffizient

0.03% per psi (0-200 psi N₂)

Ausrichtungsempfindlichkeit

<0.2% F.S. maximum deviation from specified accuracy after re-zeroing

Kennwerte

Maximale Temperatur

65^oC

Differenzdruckbereich

Steuerungen

.003 - 50 lpm: 5 psi / 0.35 bar

50 - 100 lpm: 10 psi / 0.69 bar

500 lpm: 7.5 psi / 0.52 bar

1000 lpm: 14.5 psi / 1.00 bar

2500 lpm: 35.0 psi / 2.41 bar

Leckrate

1x10^-9atm cc/sec He

Mechanisch

Dichtungsmaterial

Elastomerdichtung

Medienberührte Teile

316L Stainless Steel

High Alloy Stainless Steel

Viton® Fluoroelastomers

Buna-N

Kalrez®

Teflon®/Kalrez®

EPDM

Ventil

Normalerweise geschlossen

Normalerweise geöffnet

Zähler (kein Ventil)

Diagnose

Diagnosefähigkeit

Verfügbar

Status Leuchten

MFC Health, Network Status

Alarme

Sensor Output

Control Valve Output

Over Temperature

Power Surge/Sag

Network Interruption

Diagnose/Service-Port

RS485 via 2.5mm jack

Elektrisch

Analoge Kommunikation

0-5 V, 1-5 V, 0-10 V, 0-20 mA, 4-20 mA

Digitale Kommunikation

DeviceNet™
EtherCAT®
EtherNet/IP™
FOUNDATION^TM Fieldbus
Profibus®
PROFINET
RS-485

Elektrischer Anschluss

DeviceNet™: 1xM12 with threaded coupling nut (B)

EtherCAT®, EtherNet/IP™: 1x5-pin M8 with threaded coupling nut/2xRJ45

Profibus®: 1x15-pin Male Sub-D/1x9-pin female Sub-D

RS485: 1 x 15-pin Male Sub-D, (A)

Spannungsversorgung

Analog / Profibus® / RS-485

Valve Orifice > 0.032": 8 Watts

Valve Orifice ≤ 0.032": 5 Watts

Without Valve: 2 Watts

DeviceNet™ / EtherNet/IP™

Valve Orifice > 0.032": 10 Watts

Valve Orifice ≤ 0.032": 7 Watts

Without Valve: 4 Watts (DeviceNet™), 3 Watts (EtherNet/IP™)

EtherCAT®

Valve Orifice > 0.032": 8.5 Watts

Valve Orifice ≤ 0.032": 5.5 Watts

Without Valve: 2.5 Watts

Beachtung

Zertifikate und Zulassungen

ISO/IEC 17025:2005
CE: EMC Directive 2014/30/EU
Directive 2011/65/EU

UL (Recognized):
Class I, Div 2, Group A, B, C, D
Class I, Zone 2, IIC T4
Class II, Zone 22

ATEX: II 3 G Ex nA IIC T4 Gc

IECEx: II 3 G Ex nA IIC T4 Gc

KOSHA: Ex nA IIC T4

Einhaltung von Umweltvorschriften

RoHS Directive (2011/65/EU)

REACH Directive EC 1907/2006

Größe

Medium

	SLA5850	SLA5851	SLA5853	SLA5860	SLA5861	SLA5863
Gerätetyp	Massedurchflussregler	Massedurchflussregler	Massedurchflussregler	Massedurchflussmesser	Massedurchflussmesser	Massedurchflussmesser
Unterscheidungsmerkmal	Device Type Flow Range	Device Type Flow Range	Device Type Flow Range	Device Type Flow Range	Device Type Flow Range	Device Type Flow Range
Durchflussbereich (Maximalwert)	0.003 - 50 slpm	15 - 150 slpm	100 - 2500 slpm	0.003 - 50 slpm	15 - 150 slpm	100 - 2500 slpm
Maximaler Druck	1500 psi / 103 bar Optional 4500 psi / 310 bar	1500 psi / 103 bar	1000 psi / 70 bar	1500 psi / 103 bar Optional: 4500 psi / 310 bar	1500 psi / 103 bar	1000 psi / 70 bar
Genauigkeit	±0.6% der SP	±0.6% der SP	±0.6% der SP 1100 slpm biz su 2500 slpm: ±0.6% der FS	±0.6% der SP	±0.6% der SP	±0.6% der SP 1100 slpm biz su 2500 slpm: ±0.6% der FS
Wiederholbarkeit	0.20% S.P.	0.20% S.P.	0.20% S.P.	0.20% S.P.	0.20% S.P.	0.20% S.P.
Ansprechzeit – Stromlos geschlossenes Ventil	<1 second	<1 second	<3 seconds	<1 second	<1 seconds	<3 seconds
Konfigurierbarkeit Multigas/Mutirange	Standard	Standard	Standard	Standard	Standard	Standard
Diagnosefähigkeit	Status Lights - MFC Health , Network Status Alarms - Sensor Output, control Valve output, Over Temperature, Power Surge/Sag, Network Interruption Diagnostic/Service Port - RS485 via 2.5 mm jack	Status Lights - MFC Health , Network Status Alarms - Sensor Output, control Valve output, Over Temperature, Power Surge/Sag, Network Interruption Diagnostic/Service Port - RS485 via 2.5 mm jack	Status Lights - MFC Health , Network Status Alarms - Sensor Output, control Valve output, Over Temperature, Power Surge/Sag, Network Interruption Diagnostic/Service Port - RS485 via 2.5 mm jack	Status Lights - MFC Health , Network Status Alarms - Sensor Output, control Valve output, Over Temperature, Power Surge/Sag, Network Interruption Diagnostic/Service Port - RS485 via 2.5 mm jack	Status Lights - MFC Health , Network Status Alarms - Sensor Output, control Valve output, Over Temperature, Power Surge/Sag, Network Interruption Diagnostic/Service Port - RS485 via 2.5 mm jack	Status Lights - MFC Health , Network Status Alarms - Sensor Output, control Valve output, Over Temperature, Power Surge/Sag, Network Interruption Diagnostic/Service Port - RS485 via 2.5 mm jack
Analoge Kommunikation	0-5 Vdc, 1-5 Vdc, 0-10 Vdc, 0-20 mA, 4-20 mA	0-5 Vdc, 1-5 Vdc, 0-10 Vdc, 0-20 mA, 4-20 mA	0-5 Vdc, 1-5 Vdc, 0-10 Vdc, 0-20 mA, 4-20 mA	0-5 Vdc, 1-5 Vdc, 0-10 Vdc, 0-20 mA, 4-20 mA	0-5 Vdc, 1-5 Vdc, 0-10 Vdc, 0-20 mA, 4-20 mA	0-5 Vdc, 1-5 Vdc, 0-10 Vdc, 0-20 mA, 4-20 mA
Digitale Kommunikation	DeviceNet™ EtherCAT® EtherNet/IP™ FOUNDATION^TM Fieldbus Profibus® PROFINET RS-485	DeviceNet™ EtherCAT® EtherNet/IP™ FOUNDATION^TM Fieldbus Profibus® PROFINET RS-485	DeviceNet™ EtherCAT® EtherNet/IP™ FOUNDATION^TM Fieldbus Profibus® PROFINET RS-485	DeviceNet™ EtherCAT® EtherNet/IP™ FOUNDATION^TM Fieldbus Profibus® PROFINET RS-485	DeviceNet™ EtherCAT® EtherNet/IP™ FOUNDATION^TM Fieldbus Profibus® PROFINET RS-485	DeviceNet™ EtherCAT® EtherNet/IP™ FOUNDATION^TM Fieldbus Profibus® PROFINET RS-485

Dateiname	Dateityp	Dokumente nach Sprache
Data Sheet	pdf	German Chinese English French Spanish
SLA Biotech Serie At-a-Glance	pdf	German Chinese English
Installation & Operation Manual	pdf	English
DeviceNet™ Supplemental Manual - SLA5800, SLAMf Mass Flow	pdf	English
EtherCAT® Supplemental Manual - SLA5800, SLAMf	pdf	English
EtherNet/IP™ Supplemental Manual (Prod Rev 4)	pdf	English
Profibus® Supplemental Manual - SLA5800, SLAMf	pdf	English
PROFINET Manual SLA5800 SLAMF	pdf	German English
RS485-S Supplemental Manual - SLA5800, SLAMf	pdf	English
Web-based Interface Supplemental Manual - SLA Series with EtherNet/IP™ or PROFINET	pdf	English

Verwenden Sie den folgenden Leitfaden (Modellcodeinformationen aus dem Datenblatt), um die unten verfügbaren CAD-Konfigurationen zu übertragen. Wenn Sie Fragen haben oder Hilfe benötigen, wenden Sie sich bitte an unsere Anwendungstechniker oder Ihren lokalen Brooks Instrument Vertreter – wir helfen Ihnen gerne!

Beispiel: SLA5810 - A - 1B - 1 - C - RevB

Messgeräte -Serie	Digitale Kommunikation I/O	Mechanischer Anschluss (nur Größen 0 & 1)	Ventiltyp	Analoge Kommunikation I/O	Revisionsstand
SLA5810	A - None (select applicable analog I/O)	1A - w/o adapters, 9/16” - 18 UNF	0 - None (Sensor only)	A - None - Digital Communications only	RevB
SLA5820	D - DeviceNet I/O (with 5-pin micro connector)	1B - 1/4” tube compression	1 - Normally closed	B - 0-5 V / 0-5 V 15-pin D-conn
SLA5840	P - Profibus (2x sub-D)	1C - 1/8” tube compression	2 - Normally closed (Pressure diff. >30 psig (2 bar))	C - 4-20 mA / 4-20 mA 15-pin D-conn
SLA5850	S - RS485 (select applicable analog I/O)	1D - 3/8” tube compression	3 - Normally closed (Pressure diff. <30 psig (2 bar))	L - 1-5 V / 1-5 V 15-pin D-conn
		1E - 1/4” VCR	4 - Normally closed - high pressure	M - 0-20 mA / 0-20 mA 15-pin D-conn
		1F - 1/4” VCO	5 - Normally open	0 - 0-10 V / 0-10 V 15-pin D-conn
		1G - 1/4” NPT		1 - 0-5 V / 4-20 mA 15-pin D-conn
		1H - 6 mm tube compression		2 - 0-5 V / 0-20 mA 15-pin D-conn
		*See data sheet for more options		*See data sheet for more options
		(nur Größen 3)
		2A - Without adapters, 9/16” - 18 UNF
		2B - 1-1/16”-12 SAE/MS
		2C - 3/8” tube compression
		2D - 1/2” tube compression
		*See data sheet for more options

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Serie 0250

Steuert die Spannungsversorgung für bis zu 4 Geräte

Serie 0260

Steuert und überwacht bis zu 30 Geräte, Spannungsversorgung für bis zu 10 Geräte.

Brooks Expert Support Tool (BEST)

Eine Windows™ basierte Anwendung, die eine erweiterte Steuerung von Brooks Instrument MFCs und Druckreglern.

Brooks LabVIEW™ DLL

Mit dieser Software können Sie digitale MFC, Druckregler oder andere Auswertungselektronik von Brooks Instrument ohne lizensierte LabVIEW-Version ansprechen. Für eigene LabVIEW-Applikationen sind DLL erforderlich.

Smart DDE

Smart DDE ist eine Software für den dynamischen Datenaustausch. Sie ermöglicht bidirektionale Links zwischen Ihren Windows-basierten Anwendungen und Brooks^® Geräten mit RS485-S-Protokoll.

Die Massendurchflusregler-Serie SLA5800

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