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Produkte Druck und Vakuum Mechanische Manometer, Regler, Schalter und Transmitter Mechanische Manometer der Serie 122

Mechanische Manometer der Serie 122

Zuverlässige, effiziente Überwachung für hochreine Anwendungen Mechanische Manometer der Serie 122
Verfügbare Modelle S122 / C122
Die mechanischen Manometer der Serie 122 von Brooks Instrument wurden für die anspruchsvollen hochreinen Anwendungen der Halbleiterbranche entwickelt und konstruiert. Aus Edelstahl gefertigt bieten sie eine Genauigkeit von 1% des Endwerts. Diese unverwüstlichen 50-mm-Manometer bieten mit vielfältigen Druckanschlüssen, Druckbereichen und Sockelausrichtungen eine zuverlässige und effiziente Möglichkeit zur lokalen Drucküberwachung.

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Merkmale

  • Höchste Präzision durch Edelstahlmechanik
  • Medienberührte Teile aus Edelstahl 316L
  • In sauerstofffreier Atmosphäre geschweißte Manometer erfüllen strenge Reinheits- und Sicherheitsrichtlinien. 
  • Vielfältige Modelle und Druckbereiche zur Unterstützung spezifischer Konstruktionsanforderungen

Ihr Vorteile

  • Langlebige und effiziente Möglichkeit der lokalen Drucküberwachung 

Manometer der Serie 122 werden für Aufgaben wie diese genutzt:

  • Für die Halbleiterverarbeitung verwendete Gasversorgungssysteme und -geräte wie Gasspeicher, Gassteuerschränke und Gasverteilungsnetze
{0611827E-BDAA-489D-B1E4-90280E983F1C}
Gerätetyp
Mechanical Pressure Gauges
{58EE102D-966D-40FB-847A-4CE8A05E0390}
Unterscheidungsmerkmal

High-Purity

{8C1D9CF4-A047-47E5-8B60-DCA9345494D4}
Leistung
{BCE97E3A-6AB4-4FF9-AA3C-DE8806BC5A98}
Druckbereich

- 30" - 4000 psi

{D5E3CCA9-7DB7-4529-9166-4D98263C7B70}
Genauigkeit
1% Full Scale
{9BF3C762-3A99-476E-8803-5B5699122EDA}
Berstdruck
400%
{3FDCA61E-85EA-41BA-B093-4E1BE6D8043D}
Druckfest
110%
{96AFF225-26AB-415C-B9DD-B3204F27C8F7}
Kennwerte
{0702E29E-FE1E-4AAA-9CCA-87C8CADD4615}
Sicherheitsstellung
Unrestricted rear blow-out plug
{F38B86EC-6DA4-400F-85C7-C2DD796D2180}
Helium Lecktest
4 x 10-9 Inboard Std. cc/sec
{9E1347BE-6B8B-4E22-8450-248E460C1061}
Sauberkeit
Cleaned for oxygen service to ANSI B40.1 level IV specifications
{6DED59C7-53DC-4A73-86C1-5D4199D961C3}
Mechanisch
{2CE03364-084A-4FAE-A477-74D832523BA3}
Gehäuse
300 Series Stainless Steel, electropolished
{278E35B0-C665-4348-B821-7A4AD6F2999E}
Lünette und Linsenmaterial
One-piece polycarbonate, screw-on
{CE3DA0D6-5A16-4487-89C1-649516DAC2DC}
Sockelmaterial
316L Stainless Steel
{D19E13DD-8E08-4337-B30A-586282BCE0FC}
Bewegung

300 Series Stainless Steel

{A5558470-8BFF-42B5-B293-834A69FA1BC4}
Röhrenmanometer
316L Stainless Steel
{AF45CDCD-7B72-41C9-A00D-3FFB5A402667}
Prozessanschluss

Face-seal male, Face-seal swivel male,

Face-seal swivel female and 1/4" NPT male

{057116C4-C19C-4EB0-8FC9-120C57D0B2AC}
Wählen
White with Black markings, "Use no Oil" is red
{C7C38FE5-5267-483D-9763-8BFD673565A7}
Oberflächenbeschaffenheit

Not Applicable

S122 C122
Unterscheidungsmerkmal Socket Orientation Socket Orientation
Druckbereich Vacuum - 4,000 psi Vacuum - 4,000 psi
Genauigkeit 1% FS 1% FS
Sockelausrichtung Stem Mounted

Center Back Mounted

Dateiname Dateityp Dokumente nach Sprache
Data Sheet pdf English