Die Verdampfer und Dampferzeuger von Brooks Instrument sind eigenständige Module für die optimale Bereitstellung von ultrareinem Wasserdampf. Ob verbesserte Genauigkeit, höhere Durchflussraten, größerer Regelbereich oder niedrigerer Energieverbrauch: Mit unseren Geräten optimieren Sie Ihre Dampferzeugung und erzielen bessere Ergebnisse.
Für diese Bereiche können Sie Verdampfer und Dampferzeuger einsetzen:
- Siliziumhalbleiter-Prozesse nach dem Metallätzen
- Metallabtragungsprozess auf Siliziumhalbleitern
- Ultrareine Befeuchtung in Unterdruckumgebungen
Setzen Sie mit Brooks Instrument Verdampfern und Dampferzeugern das volle Potenzial Ihrer Prozesse frei.