Verdampfer VDM300 zur Dampfbereitstellung

Höchste Genauigkeit für Ihre Wasserdampf-Regelung Modell: VDM300

Verfügbare Modelle VDM300

Die VDM Verdampfer (VDM = Vapor Delivery Module) von Brooks Instrument sind eigenständige Hochleistungsmodule zur Bereitstellung von ultrareinem (DI) Wasserdampf. VDM verfügen über ein energieeffizientes Design. So können Sie auch bei niedrigen Temperaturen ultrareinen Dampf erzeugen. Die bewährte Technik zur Dampfbereitstellung wird hier mit einer digitalen Regelung und integrierten Diagnosefunktionen kombiniert.

Ob verbesserte Genauigkeit, höhere Durchflussraten, breitere Regelbereiche oder niedrigerer Energieverbrauch: VDM von Brooks Instrument sind speziell für die hohen Anforderungen in Abtragungs- und Passivierungsprozessen entwickelt.

Unsere Verdampfer der Serie VDM300 basieren auf den bewährten thermischen Messtechniken für Massendurchfluss. Sie produzieren Dampf im nichtüberhitzten Dampfzustand und reduzieren so die aggressiven Wirkungen entionisierten Wassers.

Dank umfangreicher Datenaufzeichnungs- und Diagnosefunktionen können Sie Ihren Prozess zudem leicht und unkompliziert über einen separaten Serviceanschluss kontrollieren. Für Sie bedeutet das: höchste Zuverlässigkeit und ein absolut sauberer Betrieb.

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Datenblatt VDM300

Merkmale

Durchflussbereich: 3 sl/min (DI - Wasserdampf)
Hochpräzise Wasserdampfdirektmessung
Direktanschluss an entionisiertes Wasser
Arbeitet bei niedrigen Temperaturen (kein überhitzter Zustand)
Für Spülen und Entleeren optimierte Konstruktion
Digitale Kommunikation via EtherCAT
Grafische Bedienerschnittstelle über Brooks Expert Support Tool (BEST)

Ihre Vorteile

Bewährte, zuverlässige thermische Techniken für Massendurchflussmessung und -regelung
Tolerant gegenüber Druckänderungen im Wasserzulauf
Verbesserte Korrosionsbeständigkeit
Absolut saubererer Betrieb
Kommunikation über analoge oder digitale Schnittstelle
Verbesserte Datenaufzeichnung und Fehlerdiagnose

Für welche Aufgaben Verdampfer und Dampferzeuger der Serie VDM300 eingesetzt werden:

Siliziumhalbleiter-Prozesse nach dem Metallätzen
Metallabtragungsprozess auf Siliziumhalbleitern
Ultrareine Befeuchtung in Unterdruckumgebungen

Gerätetyp

DI Water Vapor Delivery Module

Unterscheidungsmerkmal

Ultra High Purity DIW Vapor

Highest Flow Accuracy

Compact Design

EtherCAT interface

Verdampfungsmethode

Vapor Draw

Art des Mediums

UHP DI Water

Durchflussbereich (Maximalwert)

3000 sccm

Messberichsdynamik

20:1

Ansprechzeit – Stromlos geschlossenes Ventil

<2 sec

Genauigkeit

±1% SP @ >10% FS

±0.2% FS @ 5 - 10% FS

Linearität

±0.5% of FS

Wiederholbarkeit

<±0.2% FS

Temperaturkoeffizient

0.05% per °C zero and span

Schleichmengen-Unterdrückung

Normally Closed Valve: <0.5% FS

Elektrisch

Analoge Kommunikation

0 to 5-24 Vdc

Digitale Kommunikation

EtherCAT via dual RJ-45 jacks

Diagnostic (RS485) via microUSB

Elektrischer Anschluss

208-230 Vac, 50/60 Hz, 290 Watts Nominal (tank heater)

± 15 Vdc, ± 5% @ 1.2 amp (MFC heater and PCBA)

Status Leuchten

Zero

Device Ready

Warm Up

Device Fault

ECAT Error

EtherCAT Run

EtherCAT Link Active

Diagnose/Service-Port

RS-485 via microUSB

Verschraubung

Outlet Vapor: 1/2" Female VCR

Inlet DI Water: 1/4" Male VCR or Tube Compression

DI Water Drain: 1/8" Instant Tube Fitting

Montageausrichtung

Vertical with DIW inlet fittings down

Kennwerte

Maximaler Druck

Vapor Outlet: 200 torr

Versorgungsdruck

DI Water: 10 - 40 psig

N₂ Purge: 10 - 40 psig

15 - 45°C

Totvolumen

0 to 95% RH, non-condensing

Beachtung

EMV

Electromagnetic Compatibility (EMC): Fully Compliant to Directive 2004/108/EC (EN: 61326-1:2013)

Low Voltage Directive (LVD): Fully Compliant to Directive 2006/95/EC (EN: 61010-1:2010)

Einhaltung von Umweltvorschriften

RoHS Directive (2011/65/EU)

REACH Directive EC 1907/2006

SEMI E54.20-1108: Standard for Sensor/Actuator Network Communication for EtherCAT®

	VDM300
Durchflussbereich (Maximalwert)	3000 sccm (DIW Vapor)
Power Input	208-230 Vac, 50/60 Hz, 290 Watts nominal
Genauigkeit	±1% SP @ >10% FS ±0.2% FS @ 5 - 10% FS
Regelbereich	20:1
Versorgungsdruck	10 - 40 psig
Linearität	<0.5% of FS
Maximaler Druck	200 torr
Montageausrichtung	Vertical (inlet down)
Wiederholbarkeit	<±0.2% FS
Ansprechzeit – Stromlos geschlossenes Ventil	<2 sec
Analoge Kommunikation	0 to 5-24 Vdc
Digitale Kommunikation	EtherCAT via dual RJ-45 jacks Diagnostics (RS-485) via microUSB

Dateiname	Dateityp	Dokumente nach Sprache
VDM300-At-a-Glance	pdf	Chinese English
Data Sheet	pdf	English Japanese
Installation & Operation Manual	pdf	English
EtherCAT® Supplemental Manual - VDM300	pdf	English
CE EU Declaration of Conformity Certificate	pdf	English

Verwenden Sie den folgenden Leitfaden (Modellcode aus dem Datenblatt), um die unten verfügbaren CAD-Konfigurationen zu übertragen. Wenn Sie Fragen haben oder Hilfe benötigen, wenden Sie sich bitte an unsere Anwendungstechniker oder Ihren lokalen Brooks Instrument Ansprechpartner – wir helfen Ihnen gerne.

Example: VDM3 - 1

Series	Inlet Fitting
VDM3	1 - 1/4” VCR Male
	2 - 1/4” Tube Compression

Dateiname	Dateityp
VDM3-1	STEP
VDM3-2	STEP

Brooks Expert Support Tool (BEST)

Eine Windows™ basierte Anwendung, die eine erweiterte Steuerung von Brooks Instrument MFCs und Druckreglern.

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