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제품 Accessories and Software Product Software GP200 Series Gas Database

GP200 Series Gas Database

개요

GP200 시리즈 질량 유량 컨트롤러(MFC)용 가스 모델은 각 GP200 장치에 내장되어 있어 공정 유연성을 극대화하기 위해 가스 및 범위를 즉시 재구성할 수 있습니다. 아래 파일을 다운로드하여 GP200 MFC를 최신 내장 가스 데이터베이스로 업데이트하세요.

관련서류

파일 이름 파일 형식 언어별 문서
Standard Bin Gas Listing xlsx English
Low Pressure Bin Gas Listing xlsx English

버전

GP200 Embedded Gas Database V401

  • 250개 이상의 새로운 가스 추가
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GP200 Embedded Gas Database V400

  • CT 빈 가스를 추가했습니다: 88 (SiF4)
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GP200 Embedded Gas Database V399

  • CT 빈 가스를 추가했습니다: 6, 22, 176, 569, 651, 723, 817, 1026, 1060, 1061
  • CT 빈 테스트 가스가 추가되었습니다: 7016, 7023, 7124, 7328, 7963
  • LP 빈 가스 추가: 127, 156
  • LP 빈 테스트 가스 추가: 7138, 7265, 7266, 7360
  • 업데이트된 모델: 12
      • HF는 저분자량, 낮은 증기압 및 높은 비열비의 조합으로 인해 독특한 반도체 가스입니다. 이번 업데이트에는 온도와 압력에 따른 실제 압축성을 고려하여 HF 성능이 개선되었습니다.
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