많은 산업 및 반도체 공정에서는 물과 기타 액체 전구체를 포함한 액체를 고도로 제어되고 순수한 증기로 변환해야 합니다.
기화는 액상에서 기상으로의 상전이입니다. 따라서 기화기는 액체 물질을 기체 상태로 변환하는 모든 시스템입니다. 기화는 다양한 방법으로 이루어지지만 모든 최신 기화기(예: 수분 기화기)에는 몇 가지 공통된 특성이 있습니다:
- 온도를 높이거나 액체의 주변 압력을 낮춥니다
- 증기 흐름을 포착하고 제어하는 밀폐형 시스템
- 피드백 및 제어 루프 시스템을 활용하여 증발 속도 조절
주요 용도
- 수분 증발/가습
- 화학 기상 증착
- 향상된 열, 광학 또는 경도 특성을 위한 박막 증착
- 진공 고분자 필름 증착용 기화 단량체
- 교정 증기 생성
- 액체 탄화수소 기화