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5850EMH Series High Temperature Thermal Gas Mass Flow Controllers

증명된 장기적 안정성. 고온 응용 분야를 위한 초고순도 성능.
고온 가스 측정 및 제어의 최첨단 성능을 제공하는 Brooks Instrument의 5850EMH Series 고온 금속 씰링 질량 유량 제어기는 뛰어난 누설 무결성을 지닌 금속 봉인재와 응용 유연성이 최고로 뛰어난 다양한 옵션들을 결합시킨 제품입니다. 5850EMH Series의 핵심은 유속과 일직선상에서 전기 출력 신호를 제공하는 매우 안정적인 센서입니다. 이 신호는 자동 제로 회로 없이도 표시, 기록 및/또는 제어하는 목적에 사용됩니다. 

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5850EMH 시리즈 데이터 시트

특징

  • 높은 누설 무결성(10-11 Pa.m3/s(10-10 atm.cc/s) He 미만)
  • 넓은 유량 범위(0.003 – 100 slpm)
  • 고순도 VAR 316L 스테인리스 스틸
  • 미립자 무검출
  • 헬륨 누설 확인 포트
  • 평상시에 닫혀 있는 밸브(평상시에 열려 있는 밸브 선택 가능)
  • 전기 작동식 밸브 오버라이드
  • 낮은 명령 유량 차단
  • TTL 호환가능 “밸브 차단(valve off)” 기능

장점

  • 안정적이고 증명된 제품 플랫폼
  • 최대 100 lpm(N2 당량)의 고유량 능력
  • 순금속 유량 경로가 가스 순도를 향상시키고 누설을 감소시킵니다.
  • 설치하기 쉽고 아날로그 입력/출력만 제공됨

응용 분야

  • 광학 섬유 제조 – MCVD, OVD, AVD
  • 수증기 유량 제어
{9F5F8308-BB6F-42B0-BD54-C495F4A0126E}
상품 유형
질량 유량 제어기
{7C9D6510-73BC-4ACD-9DD5-B693D3543606}
특장점
최고 유량 범위 

증명되고 신뢰할 수 있는 기술 
{03882600-8FB3-4134-90D3-C759AE7913D5}
성능
{1DB000F2-90B7-4F8D-A70B-D58EC2D7BE3F}
유량 범위(최대 용량)
100 slm(N2 당량) 
{553BC2AE-E87A-4EC7-8334-D4F3E54642E8}
정확도
FS의 1% 
{0F71F561-6DC0-40C8-BA84-F170AD1E500B}
반복성 및 재현성
<±0.25% SP
{C296AA4A-2775-4FD6-B2E4-3F43E86AF17D}
선형성
정확도에 포함됨. 
{66056C47-A8A5-4039-826D-5B0F0821BAAB}
응답 시간
<3초 ~ SP의 2% 내(SEMI E17-91당) 
{30FCFDAA-7F33-43CA-8CE0-010251B967DD}
제로 안정성
-
{7EFE73E0-C61E-44C5-A8AE-E4EF538BD875}
기계적
{78BEECC6-5DC0-4B01-9E1D-732F7A35B58C}
씰 재료
금속 
{E521A5A8-FF1B-41BD-AB12-B829A05B9CF6}
표면 마감 (Surface Finish)
{395424D3-1E1C-4411-81BA-8A97EE12C0CE}
습윤 재료
316L, 316L VAR, & 높은 합금 철 SS 
{62CA6E0E-9BF9-4D2E-8BF0-41A2369EBA3D}
밸브
평상시에 열려 있음 

평상시에 닫혀 있음 
{F6E53204-51AB-4A67-A5AE-113BAAA94DFB}
등급
{7B60461D-7A5D-4A8F-8FED-407DF732D9FA}
최고 온도
105oC
{AEB479E2-3AE8-4BAC-878E-3269B58B3025}
차압 범위
50 - 350 kPa(7 - 50 psid)
{22BA8F9C-AA37-4DC0-B7A5-DD55E92EAFCF}
최대 압력
1 MPa(145 psi)
{FF616B11-A632-48A1-8819-95CBE60D41E4}
누출 무결성
1x10-10 atm cc/sec He(1x10-11 Pa m3 /sec)
{3630766A-B8ED-46EF-AD39-EA40656C8007}
전기
{BA2C1E51-B47F-460D-BD6B-5F03C9575414}
진단 능력
{CC44B54D-D2E6-4871-B5C6-1BA0DF955379}
아날로그 통신
0-5 Vdc
{E96D9E49-C86E-47E4-813A-B7CFA10FDA62}
디지털 통신
{B1295451-7346-4899-8752-E88DAC951DFA}
전기 연결
15핀 "D" 커넥터
{1E5B2F7D-C97F-4902-8026-994EE128FBEB}
전원 공급/소비
±15 Vdc @ 350 mA(최대)
파일 이름 파일 형식 언어별 문서
Data Sheet pdf English
Installation & Operation Manual pdf English
Quick Start Guide pdf English
파일 이름 파일 형식
5850EMH-1-A zip
5851EMH-1-K zip