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제품 Pressure & Vacuum Manometers CMC Series

CMC Series Capacitance Manometers

비용 효과적인 진공 측정을 위한 컴팩트하고 성능이 증명된 비가열 게이지

Brooks Instrument의 CMC 시리즈 정전용량 마노미터는 다양한 작동 온도 범위에서 믿을 수 있고 정확한 진공 측정을 제공하여 대형 프리미엄 비가열 게이지의 경제적인 대안이 됩니다. 컴팩트한 설계와 입증된 성능을 통해 소형 폼팩터 게이지가 필요한 기존 도구에 이상적인 업그레이드가 됩니다.

전체 용접 설계와 Iconel® 습윤 표면을 통해 가장 공격적인 공정에서도 믿을 수 있고 반복성을 갖춘 작동을 보장합니다. 정밀 구성품과 다양한 온도 보상 작동 범위의 조합을 통해 Brooks는 최적화된 측정 안정성을 위해 동급 최고의 0 및 범위 온도 계수를 제공합니다.

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CMC 시리즈 데이터 시트

특징

  • 10 Torr ~ 1000 Torr 공정 범위 이용 가능
  • 두 가지 정확도 수준 이용 가능: 판독값의 0.25% 또는 0.50%(옵션
  • 다양한 작동 온도에서 뛰어난 성능 발휘
  • 기존의 비가열 정전용량 마노미터보다 40% 작은 크기
  • 전체 용접 구조 및 Inconel® 습윤 표면

장점

  • 고정밀 보정 옵션은 더 비싼 고급 비가열 마노미터의 정확도에 필적합니다
  • 동급 최고의 0 및 범위 온도 계수
  • 공간 절약형 설계로 좁은 장치 공간에 맞출 수 있습니다
  • 오류로 인한 내부 응력에 취약한 다른 설계보다 최적화된 측정 반복성

적용

  • 반도체 제조
  • 박막 증착 공정 - 유리, 웹 및 광학 코팅
  • 부패가 발생하는 재료의 동결 건조
  • 의료기기용 하이테크 코팅(수술 기구, 치과용 드릴 등)
{0DF4297E-595A-44FD-AF65-9A934C31ACAC}
상품 유형
정전용량 마노미터
{B1A08C84-A267-4F23-945B-F1A5ADBD3FB5}
특장점
비가열 
 
{C26839BD-140E-42BA-854A-0C59280A15D3}
성능
{5916886C-D125-4AA9-82E7-82A77FD490B8}
온도
주위 온도
{BDCEAC2C-5A26-44CA-9B51-EE0F6B898DD9}
압력 범위
10, 20, 50, 100 및 1000 Torr Full Scale
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정확도
Type A = 판독값의 0.25% 
Type B = 판독값의 0.50%
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측정 범위
40년 
 
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온도 효과

0에서 

0.002% FS / °C  

범위에서 

0.027% FS / °C

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기계적
{19A71DCF-81CB-46CD-9657-9B99487CB454}
노출된 재료
Inconel
{A8E6AD51-9742-4D19-8150-1BD03E4F5181}
압력 한계 초과
45 psia
{D42451F7-6334-475D-83D6-B40E1FC56F09}
전기
{90CDF7B1-B174-4717-B96F-B12D23BCE802}
아날로그 통신
0-10 Vdc(<10k Ohm 부하) 
 
{FB0DFCA3-2D5A-4921-9568-A3C547C07CA8}
디지털 통신
-
{13455EAA-890F-438F-98A6-9CD19D845BAF}
전기 연결
6" 케이블의 15-핀 DSub 

 

9-핀 DSub 

 

5-핀 열 스트립 
{7E9A7594-928B-41E4-9C30-C34A5F686A73}
전원 공급/소비
< 200 mW 
{2A1D4FF4-7EBC-4539-8374-8FD1FC582CA2}
인증/승인
{47264937-B8AD-4FB5-AB52-3ED06FA84DD9}
EMC
CE 

Directive 89/336/EEC
{DF2C7048-E381-48D2-B90B-7DC86F0941FF}
환경 규정 준수
RoHS Directive(2011/65/EU) 

REACH Directive EC 1907/2006 
{42FDCA39-1BB2-4ECB-8209-1E36F04CC65E}
크기
컴팩트
파일 이름 파일 형식 언어별 문서
Data Sheet pdf English
Installation & Operation Manual pdf English
cmc-ce-eu-declaration-of-conformity-en-de-fr-nl-pt-es pdf Korean English Romanian Russian Spanish