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122 Series Mechanical Pressure Gauges

기계식 압력 게이지 | 압력 게이지 공급자 | Brooks
Brooks Instrument 122 시리즈기계식압력게이지는반도체산업의까다로운고순도용도를위해설계및개발되었습니다. 스테인리스강으로제조된저희기계식압력게이지는 1% 풀스케일의정확도를갖추고있습니다. 이 2인치게이지는다양한공정연결, 압력범위, 소켓방향으로이용되는내구성이뛰어난측정장비로써높은신뢰도를갖추고효율적으로로컬압력을모니터링합니다. 세계최고수준의압력게이지공급사로부터정교하고뛰어난결과를제공받으십시오.

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122 시리즈 게이지 데이터 시트

특징

  • 스테인리스강 무브먼트로 정교한 성능 제공
  • 316L 스테인리스강 습윤 부품
  • 무산소 챔버에서 용접된 게이지로 엄격한 청정도 및 안전 지침 준수
  • 다양한 모델과 압력 범위로 특정 설계 요구를 지원합니다.

장점

  • 기계식 압력 게이지는 높은 내구성을 갖추고 효율적으로 로컬 압력을 모니터링하는 방법을 제공합니다

적용

  • 반도체 공정에 이용되는 다음과 같은 가스 전달 시스템 및 도구:
  • 벌크 가스
  • 가스 캐비넷
  • 가스 분배
{0611827E-BDAA-489D-B1E4-90280E983F1C}
상품 유형
기계식 압력 게이지 
{58EE102D-966D-40FB-847A-4CE8A05E0390}
특장점
고순도
{8C1D9CF4-A047-47E5-8B60-DCA9345494D4}
성능
{BCE97E3A-6AB4-4FF9-AA3C-DE8806BC5A98}
압력 범위
- 30" - 4000 psi 
{D5E3CCA9-7DB7-4529-9166-4D98263C7B70}
정확도
1% Full Scale
{9BF3C762-3A99-476E-8803-5B5699122EDA}
파열 압력
400%
{3FDCA61E-85EA-41BA-B093-4E1BE6D8043D}
보증 압력
110%
{96AFF225-26AB-415C-B9DD-B3204F27C8F7}
등급
{0702E29E-FE1E-4AAA-9CCA-87C8CADD4615}
안전 구호
무제한 리어 블로우아웃 플러그 
 
{F38B86EC-6DA4-400F-85C7-C2DD796D2180}
헬륨 누출 테스트
4 x 10-9 Inboard Std. cc/초 
{9E1347BE-6B8B-4E22-8450-248E460C1061}
청정도
ANSI B40.1 level IV 사양에 따른 산소 서비스용 청정도  
{6DED59C7-53DC-4A73-86C1-5D4199D961C3}
기계적
{2CE03364-084A-4FAE-A477-74D832523BA3}
하우징
300 시리즈 스테인리스강, 전해연마 
{278E35B0-C665-4348-B821-7A4AD6F2999E}
베젤 및 렌즈 소재
일체형 폴리카보네이트, 나사 고정 
{CE3DA0D6-5A16-4487-89C1-649516DAC2DC}
소켓 재료
316L 스테인리스강 
{D19E13DD-8E08-4337-B30A-586282BCE0FC}
움직임
300 시리즈 스테인리스강 
{A5558470-8BFF-42B5-B293-834A69FA1BC4}
부르동관
316L 스테인리스강 \
{AF45CDCD-7B72-41C9-A00D-3FFB5A402667}
공정 연결
페이스 실 수, 페이스 실 스위블 수, 

페이스 실 스위블 암 및 1/4" NPT 수 
{057116C4-C19C-4EB0-8FC9-120C57D0B2AC}
다이얼
흰색에 검정색 마킹, "Use no Oil"은 빨간색으로 표시 
{C7C38FE5-5267-483D-9763-8BFD673565A7}
표면 마감
해당사항 없음
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