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Vapor Delivery Modules

광범위한 질량 흐름 요구 사항에 대해 검증된 유연성.

당사의 탄성중합체 밀폐형 질량 유량계 및 컨트롤러는 공정에 필수적인 정확성, 신뢰성 및 반복성과 함께 정밀한 성능과 장기적인 안정성을 지원하는 비용 효율적인 기기입니다. 결과: 운영에 필요한 가치와 투자 수익을 극대화할 수 있습니다.

주요 용도

  • 화학 및 석유화학 분석 및 파일럿 공정
  • 실험실 및 분석 시스템
  • 생명과학 바이오리액터
  • 박막 증착
  • 열처리, 절단 및 기타 열처리
  • 진공 분야

공정 요구 사항에 가장 적합한 질량 유량 기기를 선택하십시오.

제품

VDM300
VDM300
상품 유형 DI 수증기 전달 모듈
특장점

초고순도 DI 수증기

고순도 DI 수증기 전달

최고의 유량 정확도

컴팩트한 디자인

EtherCAT 디지털 통신

기화 방법 증기 그리기
유체 유형 직접 주입 물
유량 범위(최대 용량)

3000 sccm

최대 압력 증기 배출구: 200 Torr