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유리 코팅 제조업체는 안정적이고 신뢰할 수 있는 가스 흐름 전달 및 저압 제어로 생산성을 높입니다

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로이코팅이 적용된 건축용 유리는 가장 대중적이고 기능적인 건축 자재 중 하나가 되었습니다. 열 손실과 내부 결로를 최소화하는 것은 에너지 효율을 높이고 구조물을 보존하는 데 중요한 역할을 합니다. 유리의 코팅 또는 박막은 유리를 통과하는 가시 광선 에너지의 흐름을 제어합니다. 이러한 코팅은 적외선, 가시광선 및 자외선을 포함하여 전자기 스펙트럼의 다른 부분에서 광 투과, 반사 및 흡수 특성을 변경합니다.

Glass coating manufacturers use stable reliable gas flow delivery and low pressure control

건물 내부에서 건축용 유리를 바라볼 때 로이유리는 건물 내부로 에너지를 다시 반사시켜 일반 유리보다 훨씬 낮은 열 손실을 달성합니다. 건물 외부에서 볼 때 로이유리는 빛의 적외선 부분을 최소화하면서 태양에너지의 가시광선은 투과시켜 건물의 열손실을 줄여준다.

Low-e 유리 코팅은 낮은 방사율, 낮은 흡수율 및 높은 투명도를 요구합니다. 이러한 특수 코팅은 스택에 배치되는 다양한 미세하게 얇은 화학 층으로 구성됩니다. 코팅 재료에는 두 가지 유형이 있습니다.

  • 반도체
    • FTO(불소 도핑 주석 산화물)
    • ITO(인듐 주석 산화물) 및
    • ZnO(산화아연)
  • 메탈릭
    • Au(금)와
    • 은(은)

유리 코팅 제조업체는 종종 마그네트론 스퍼터 진공 증착(MSVD)을 사용합니다. 이 방법은 비용 효율적인 솔루션, 우수한 코팅 균일성, 향상된 방사율(0.08 미만), 더 나은 열 복사 제어 및 광학 성능을 제공합니다. 스퍼터링은 금속 재료, 산화물 및 유전체 재료를 포함한 다양한 유형의 재료를 증착하는 데 사용됩니다.

유리 시장은 경쟁이 매우 치열하다는 점에 유의해야 합니다. 이와 같이 유리 제조업체는 코팅 품질을 희생하지 않고 비용을 최소화하기 위한 접근 방식을 지속적으로 추구하고 있습니다. 여기에는 새롭고 개선된 레이어 스택 개발을 목표로 하는 사내 제품/프로세스 개발 이니셔티브가 포함됩니다. 제조업체는 또한 공정 시간을 단축하여 생산성을 높일 방법을 모색하고 있습니다. 그들은 프로세스 조건을 실시간으로 보상하기 위해 "지능형"이고 보다 역동적인 시스템에 투자함으로써 이를 달성하고 있습니다. 적응형 공정 기술을 통해 운영 비용을 절감하여 수율과 품질을 극대화하는 것이 중요합니다. 품질 관리를 포함한 전체 제조 공정은 약 4주가 소요됩니다.

Brooks Instrument는 유리 코팅 제조업체와 협력하여 기술 및 상업적 요구 사항을 지원하는 디지털 질량 유량 컨트롤러 및 진공 제어 솔루션을 공급함으로써 경쟁업체보다 앞서 나갈 수 있도록 지원합니다.

신청 요건

유리 코팅 제조업체는 높은 수율 및 처리량과 함께 일관된 코팅 두께와 균일성을 요구하는 장기간의 생산 캠페인을 진행합니다.

안정적인 공정 조건을 갖춘 완전 자동화된 코팅 공정은 운영 비용을 줄이는 데 도움이 될 수 있습니다. 이러한 조건은 다음을 제공하는 프리미엄 계측을 통해 가능합니다.

하이라이트

  • 반응성 가스의 높은 정확도, 반복성 및 재현성
  • 중요 공정 매개변수를 유지하고 생산 캠페인 사이에 덜 빈번한 기기 교정을 유지하기 위한 우수하고 장기적인 가스 제어 안정성
  • DCS/PLC/IoT 시스템에 쉽게 설정하고 통합할 수 있는 디지털 통신 프로토콜, 웹 인터페이스 및 향상된 장치 프로필

프로세스 솔루션

유리 코팅 라인은 유리 와셔와 여러 스퍼터 챔버를 거쳐 출구 챔버로 들어가는 입구 챔버로 구성됩니다. 유리는 깨끗한 표면을 보장하기 위해 세탁기와 고압 공기 건조기를 통과합니다. 유리는 플라즈마가 형성될 수 있도록 압력이 대기압에서 저압으로 감소되는 진공 챔버를 통과하는 코팅 라인으로 들어갑니다. 유리는 Brooks Instrument SLA 시리즈 질량 유량 컨트롤러가 균일하고 정확한 양의 불활성 아르곤 가스 흐름과 일부 응용 분야에서 산소 또는 질소와 같은 반응성 가스를 전달하는 마그네트론이 있는 프로세스 챔버로 들어갑니다. 플라즈마의 이온은 코팅 재료로 끌어당겨 원자에 충격을 가하고 제거합니다. 원자는 유리 표면에 균일하게 적용되어 박막을 생성합니다.

Titanium nitride coating using cvd process
흐름도

플라즈마를 생성하고 반응성 스퍼터링 프로세스가 중요한 프로세스 매개변수를 유지할 수 있도록 가스 흐름이 충분해야 합니다. 적절한 가스 흐름과 함께 저압 제어의 섬세한 균형을 고려할 때 Brooks Instrument XacTorr® 시리즈와 같은 매우 정밀하고 가스 독립적인 진공 커패시턴스 압력계를 사용하여 기본 압력을 제어합니다.

앞서 언급했듯이 최신 유리 코팅 라인은 고도로 자동화될 수 있습니다. 자동화 프로세스는 가스 흐름, 자기장 및 전원 공급 장치와 같은 주요 작동 매개변수를 모니터링하고 제어합니다. 시스템은 다양한 구성 요소로부터 성능 및 진단 데이터를 지속적으로 수집하고 매개변수가 범위를 벗어나면 그에 따라 보상하여 문제를 수정합니다. SLA 시리즈 질량 유량 컨트롤러에서 사용할 수 있는 EtherNET/IP 및 PROFINET과 같은 통신 프로토콜은 질량 유량 컨트롤러와 PLC 간에 데이터를 실시간으로 통신함으로써 이러한 자동화를 가능하게 합니다.

고도로 자동화된 제어 프로세스를 안정적이고 신뢰할 수 있는 흐름 및 진공 프로세스 제어 솔루션과 결합함으로써 유리 코팅 제조업체는 생산성을 높이고 폐기물 및 운영 비용을 줄이며 탁월한 품질, 신뢰성 및 균일성을 갖춘 제품을 제공할 수 있습니다.

저자 소개

Joerg Riedel
비즈니스 개발 관리자, 산업용 박막 코팅 시장 - Brooks Instrument

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