티타늄은 대상 제품에 극도로 단단한 질화 티타늄(TiN) 코팅을 생성하기 위해 이러한 응용 분야에서 자주 사용됩니다. 금색 외관으로 인해 TiN 코팅은 장식용으로 보석, 가정용 비품 및 자동차 트림에 자주 사용됩니다. 유사한 코팅은 의료 기기 및 장비의 무독성 표면으로도 사용됩니다. 이러한 유형의 코팅은 현재 생체 내 바이오센서를 포함한 첨단 생체의학 장치 응용 분야에도 적용되고 있습니다.
신청 요건
CVD 공정은 일반적으로 질화 티타늄 코팅을 만드는 데 사용됩니다. 이 과정에서 여러 화학 물질(TiCl4, N2 and H2)이 용광로에 공급되어 고온에서 반응하여 TiN을 생성하고 코팅으로 표면에 증착됩니다. 코팅의 무결성, 적절한 두께 및 균일성에 중요한 것은 이러한 재료를 용광로에 정확하게 전달하는 것입니다.
TiCl4 는 액체 형태이며 일관된 결과를 보장하기 위해 다른 가스와 적절하게 반응하도록 기화되어야 합니다.
코팅의 무결성에 영향을 줄 수 있는 오염을 최소화하기 위해 주의를 기울여야 합니다. 시스템의 누출 또는 O-링 침투로 인해 실내 공기가 오염될 수 있습니다.TiC144의 부적절한 기화로 인해 오염된 가스 혼합물이 퍼니스로 전달될 수 있습니다.
프로세스 솔루션
Brooks Instrument SLA5800 시리즈 질량 유량 컨트롤러 & 미터(MFC) 가스 구성 요소의 정확하고 반복 가능한 전달을 위한 탁월한 솔루션을 제공합니다. 다양한 신호 옵션을 사용할 수 있습니다. 아날로그(0-5VDC 또는 4-20mA) 또는 다음을 포함한 수많은 디지털 프로토콜 Ethernet/IP and PROFINET.이를 통해 제어 시스템에 대한 다양한 인터페이스가 가능합니다.
높은 정확도, 반복성 및 우수한 장기 제로 안정성을 제공하는 SLA 시리즈 MFC는 CVD 시스템에 중요한 매우 안정적이고 누출이 없는 구성 요소를 제공하여 CVD 프로세스의 전체 수명 동안 초기 시작 시 우수한 결과를 제공합니다. SLA 시리즈에는 다양한 공정 연결에서 위험 지역 등급에 이르기까지 MFC를 특정 응용 분야에 맞게 조정하는 데 사용할 수 있는 많은 옵션이 있습니다. SLAMf 시리즈 질량 유량 컨트롤러 및 미터
A Brooks Instrument Quantim® Coriolis 질량 유량 컨트롤러 TiCl4의 액체 공급을 제어하는 데 사용됩니DLI 기화기와 같은 기화기,Brooks Instrument에서 개발하고 라이선스 계약에 따라 Ceres Technologies를 통해 사용할 수 있습니다. 이 기화기 시스템은 부드러운 기화 기술을 사용하여 퍼니스로의 TiCl4 공급의 높은 무결성을 보장합니다. 기화기에 공급되는 액체는 N2와 같은 운반 가스와 결합되어 TiCl4를 기화시키는 데 필요한 열을 줄입니다. 이것은 과도한 열로 인한 TiCl4의 분해를 제거하여 용광로에 일관된 증기를 제공합니다..
응용 분야가 습기에 민감하거나 고순도가 필요한 경우 Brooks Instrument는 이러한 요구 사항에 맞는 다양한 솔루션을 제공합니다.
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