Cartridge III 밸브는 가스 및 액체 흐름 응용 분야에서 Brooks® 퍼지 미터와 함께 사용하도록 설계된 다목적 밸브입니다. 이전 버전의 Brooks 밸브와 호환됩니다.
이 밸브는 저유량, 중유량 및 고유량의 세 가지 크기로 제공됩니다. STEM은 끝이 가늘어지는 원추형이며 모든 모델에 대해 다양한 유량 범위를 제공하는 두 개의 오리피스 크기가 있습니다. 테프론 조각이 밸브 본체에 압착되어 더 나은 안정성, 반복성 및 작동 감각을 제공합니다.