5850EMH Series High Temperature Thermal Gas Mass Flow Controllers

증명된 장기적 안정성. 고온 응용 분야를 위한 초고순도 성능.

고온 가스 측정 및 제어의 최첨단 성능을 제공하는 Brooks Instrument의 5850EMH Series 고온 금속 씰링 질량 유량 제어기는 뛰어난 누설 무결성을 지닌 금속 봉인재와 응용 유연성이 최고로 뛰어난 다양한 옵션들을 결합시킨 제품입니다. 5850EMH Series의 핵심은 유속과 일직선상에서 전기 출력 신호를 제공하는 매우 안정적인 센서입니다. 이 신호는 자동 제로 회로 없이도 표시, 기록 및/또는 제어하는 목적에 사용됩니다.

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5850EMH 시리즈 데이터 시트

특징

높은 누설 무결성(10-11 Pa.m3/s(10-10 atm.cc/s) He 미만)
넓은 유량 범위(0.003 – 100 slpm)
고순도 VAR 316L 스테인리스 스틸
미립자 무검출
헬륨 누설 확인 포트
평상시에 닫혀 있는 밸브(평상시에 열려 있는 밸브 선택 가능)
전기 작동식 밸브 오버라이드
낮은 명령 유량 차단
TTL 호환가능 “밸브 차단(valve off)” 기능

장점

안정적이고 증명된 제품 플랫폼
최대 100 lpm(N2 당량)의 고유량 능력
순금속 유량 경로가 가스 순도를 향상시키고 누설을 감소시킵니다.
설치하기 쉽고 아날로그 입력/출력만 제공됨

응용 분야

광학 섬유 제조 – MCVD, OVD, AVD
수증기 유량 제어

상품 유형

질량 유량 제어기

특장점

최고 유량 범위

증명되고 신뢰할 수 있는 기술

성능

유량 범위(최대 용량)

100 slm(N2 당량)

정확도

FS의 1%

반복성 및 재현성

<±0.25% SP

선형성

정확도에 포함됨.

응답 시간

<3초 ~ SP의 2% 내(SEMI E17-91당)

제로 안정성

기계적

씰 재료

금속

표면 마감 (Surface Finish)

—

습윤 재료

316L, 316L VAR, & 높은 합금 철 SS

밸브

평상시에 열려 있음

평상시에 닫혀 있음

등급

최고 온도

105^oC

차압 범위

50 - 350 kPa(7 - 50 psid)

최대 압력

1 MPa(145 psi)

누출 무결성

1x10-10 atm cc/sec He(1x10-11 Pa m3 /sec)

전기

진단 능력

—

아날로그 통신

0-5 Vdc

디지털 통신

—

전기 연결

15핀 "D" 커넥터

전원 공급/소비

±15 Vdc @ 350 mA(최대)

파일 이름	파일 형식	언어별 문서
Data Sheet	pdf	English
Installation & Operation Manual	pdf	English
Quick Start Guide	pdf	English

파일 이름	파일 형식
5850EMH-1-A	zip
5851EMH-1-K	zip