挑战：使工具工作时间和生产力最大化
质量流量控制器的可靠性和通用性对许多半导体加工工具很重要。当启动和使用这些过程工具时，他们只能赚得数百万美元投资的回报；如果质量流量控制器在重要设定点上缓慢移动，或者新的制造工艺需要多种气体（和多个质量流量控制器），那么，转换和/或再校准或修理会需要更长的停机时间。
解决方案：先进的 MultiFlo®-capable GF 系列质量流量控制器
精确、可重复地输送超高纯工艺气体 - 这就是 GF 系列金属密封质量流量控制器与流量计的性能所在。GF 系列已被连续测试七次，符合半导体行业标准，确保测量可靠性。全金属流道和耐腐蚀的 Hastelloy® 传感器能够确保气体保持最高纯度和干燥流动。独特的可编程 MultiFlo® 技术能够使一个质量流量控制器支持数千个气体类型和范围组合。
结果：提高了过程的灵活性和效率，并与同行业的最高纯工艺气体结合起来，有助于最大限度地提高产量和生产率。