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Serie SLA
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Serie GF40
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Serie 5850E
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Serie SLAMf
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Serie 4800
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Serie 5700
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Gerätetyp
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Massedurchflussregler |
Massedurchflussregler |
Massedurchflussregler |
Massedurchflussregler |
Massedurchflussregler |
Massedurchflussmesser |
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Unterscheidungsmerkmal
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Großer Durchfluss- und Druckbereich
Exzellente Langzeitstabilität
Hohe Genauigkeit
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Hohe Genauigkeit
MultiFlo™ Funktionalität
Kompakte Größe
Geeignet für die gesamte Palette an Gasen |
Proven Reliable Performance
Long Term Stability
Easy to Change Range and Recalibrate in the Field |
IP66 Approved Enclosure
Perfect for Hose Down/Wash Down Applications
Hazardous Area Approvals
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Ultra-fast Response Times
Optional Local Operator Interface
Compact Size
Suitable for Non-corrosive Gases |
Economical
Compact
Ideal Upgrade from Volumetric Devices |
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Durchflussbereich (Maximalwert)
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.003 - 2500 slpm |
3 sccm - 50 slpm |
0 - 1000 slpm |
.003 - 2500 slpm |
50 sccm - 40 slpm |
0 - 50 slpm |
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Dichtungsmaterial
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Elastomerdichtung |
Elastomerdichtung |
Elastomerdichtung |
Elastomerdichtung |
Elastomerdichtung |
Stainless Steel |
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Maximaler Druck
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.003-200 slpm: 1500 psi/103 bar
100 - 2500 slpm: 1000 psi/70 bar
Optional 4500 psi/310 bar on 50 slpm max device |
150 psig/10 bar |
Controllers: 1500 psig
Meters: up to 4500 psig on some models |
Up to 100 lpm: 1500 psi/100 bar
Up to 50 lpm: 4500psi/310 bar (optional)
100-2500 lpm: 1000 psi/70 bar |
150 psig/10 barg |
150 psig |
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Genauigkeit
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17025 Zertifizierte Geräte (einschließlich Linearität, ohne Messunsicherheit des Kalibriersystems, nach SEMI E69)
±0.6% der SP (20-100% FS)
±0.12% der FS (<20% FS)
1100 slpm bis zu 2500 slpm: ±0.6% der FS
Die Genauigkeit beinhaltet die Messunsicherheit von Referenzstandards.
±0.9% der SP (20-100% FS)
±0.18% der FS (2-20% FS)
1100 slpm bis zu 2500 slpm: ±1.0% der FS |
1% of SP 35-100%, 0.35% of FS 2-35% |
1% of FS
1.5% of FS > 20 slpm |
17025 Zertifizierte Geräte (einschließlich Linearität, ohne Messunsicherheit des Kalibriersystems, nach SEMI E69)
±0.6% der SP (20-100% FS)
±0.12% der FS (<20% FS)
1100 slpm bis zu 2500 slpm: ±0.6% der FS
Die Genauigkeit beinhaltet die Messunsicherheit von Referenzstandards.
±0.9% der SP (20-100% FS)
±0.18% der FS (2-20% FS)
1100 slpm bis zu 2500 slpm: ±1.0% der FS |
3.0% of FS
1.0% of FS (optional) |
5% Vollausschlag inklusive Linearität |
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Wiederholbarkeit
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0.20% SP |
0.20% SP |
0.25% of Rate |
0.20% SP |
0.15% FS |
0.50% FS |
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Konfigurierbarkeit Multigas/Mutirange
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Standard |
MultiFlo™ Available |
— |
Standard |
— |
— |
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Diagnosefähigkeit
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Verfügbar
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Verfügbar |
— |
Available
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Available |
— |
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Analoge Kommunikation
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0-5 V, 1-5 V, 0-10 V, 0-20 mA, 4-20 mA |
0-5 V, 0-10 V
0-20 mA, 4-20 mA |
0-5 Vdc
0-20 mA
4-20 mA |
0-5 V, 1-5 V, 0-10 V, 0-20 mA, 4-20 mA |
0-5 Vdc
4-20 mA
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0-5 V into 1000 ohms or greater
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Digitale Kommunikation
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DeviceNet™
EtherCAT®
EtherNet/IP™
FOUNDATIONTM Fieldbus
Profibus®
PROFINET
RS-485
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DeviceNetTM
EtherCAT®
Profibus®
RS485 |
—
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DeviceNet™
EtherNet/IP™
FOUNDATIONTM Fieldbus
Profibus®
PROFINET
RS-485
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RS232
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Größe
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Medium |
Kompakte |
— |
Large |
Kompakte |
Kompakte |
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Zertifikate und Zulassungen
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ISO/IEC 17025:2005
CE: EMC Directive 2014/30/EU
Directive 2011/65/EU
UL (Recognized):
Class I, Div 2, Group A, B, C, D
Class I, Zone 2, IIC T4
Class II, Zone 22
ATEX: II 3 G Ex nA IIC T4 Gc
IECEx: II 3 G Ex nA IIC T4 Gc
KOSHA: Ex nA IIC T4
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CE: EN61326: 2006 (FCC Part 15 & Canada IC-subset of CE testing)
Safety EN61010-1
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ISO/IEC 17025:2005
CE: EMC, RoHs, PED
UL Listed/Recognized:
Class 1, Div 2, Group A,B,C,D
Class 1, Zone 2, IIC T4, Class II, Zone 22
ATEX:
II 3 G Ex nA IIC T4 Gc
II 3 D Ex tc IIIC T 85°C Dc
IECEx:
Ex nA IIC T4 Gc
Ex tc IIIC T 85°C Dc
KOSHA:
Ex nA IIC T4
Ex tc IIIC T85°C Dc |
ATEX Zone 2
CSA Div 2/Zone 2 (Recognized) |
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