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Produkte Massendurchflussmesser Metallgedichtete Massendurchflussregler

Metallgedichtete Massendurchflussregler

MFC mit hochreinem Strömungsweg – für präzise, kontaminationsfreie Regelung
Metallgedichtete thermische Massendurchflussregler ermöglichen Ihnen eine extrem genaue und reproduzierbare Durchflussmessung und Regelung ultrareiner Gase und flüssiger Vorprodukte. Die MFCs von Brooks Instrument erfüllen die hohen Anforderungen hochentwickelter Fertigungsprozesse und halten schädliche Verunreinigungen durch Feuchtigkeit und Sauerstoff vom Prozessmedium fern.

Ob extrem stabile, hochgenaue Messsensoren, schnelle Präzisionsregelventile oder leistungsfähige digitale Elektronik: Unsere Massendurchflussregler sind mit der modernsten Technik ausgestattet, um Ihre Medienregelung zu präzisieren. Dank der hochdichten, ultrareinen Konstruktion mit einem vollständig aus Metall bestehendem Strömungsweg erhalten Sie in der Prozesschemie absolut reine Ergebnisse.

Für welche Aufgaben metallgedichtete MFCs eingesetzt werden

  • Fertigungsprozesse für Siliziumhalbleitergeräte (Ätzen, Abtragen, CVD, ALD, PVD, Epi, Diffusion, Implantation und RTP)
  • Fertigungsprozesse für Halbleiterverbundgeräte (MOCVD)
  • Präzisionsgefertigte Oberflächenbeschichtungen
  • Analysesysteme
  • Vakuumprozessanwendungen
Wählen Sie das Massendurchflussgerät, das Ihre Prozessanforderungen am besten erfüllt.

PRODUKTE

Serie GP200
Serie GP200
Modell GF100 EtherCAT
Modell GF100 EtherCAT
Serie GF100
Serie GF100
Serie GF80
Serie GF80
Serie 5850EM
Serie 5850EM
Gerätetyp

Massendurchflussregler

 Massedurchflussregler

Massedurchflussregler

Massedurchflussregler

 Massedurchflussregler
Unterscheidungsmerkmal

Vollständig druckunempfindlicher P-MFC

Präziseste Prozessgaszufuhr über einen weiten Bereich von Betriebsbedingungen

EtherCAT Communication

High Purity/Ultra-High Purity

Embedded Diagnostics

Ultra-stable Flow Sensor

Improved Valve Shutdown

High Purity/Ultra-High Purity

Standard GF Series

High Flow GF Series

Ultra-Fast Response Time

Pressure Transient Insensitivity

 High Purity

Large installed base with proven long term performance
Durchflussbereich (Maximalwert)

3 sccm – 50.000 sccm

Standard GF Series: 3 sccm - 55 slm

High Flow GF Series: 55 slm - 300 slm

Standard GF Series: 3 sccm - 55 slpm

High Flow GF Series: 55 slpm - 300 slpm

 3 sccm - 55 slm 3 sccm - 30,000 sccm
Dichtungsmaterial

Metall

 Metal Metal Metal Metal
Reinheitsgrad 5µ inch Ra im Durchschnitt

5 - 10µ inch Ra

 4 - 10µ inch Ra 16µ inch Ra

316L VAR, 316L, and high alloy ferritic stainless steel
Genauigkeit

Dicht schließendes Ventil

<±1% S.P. (5-100% F.S.)

<±0.05% F. S. (0.5-5% F.S.)

 

Metallgedichtetes Ventil

<±1% S.P. (5-100% F.S.)

<±0.05% F. S. (2-5% F.S.)

 

Standard GF Series: ±1% S.P. > 20-100%; ±0.2% F.S. 2-20%

High Flow GF Series: ±1% S.P. > 35-100%; ±0.35% F.S. 2-35%

±1% S.P. > 35-100%

±0.35% F.S. 2-35%

±1% S.P. 35-100%

±0.35% F.S. < 5-35%

1% Vollausschlag inklusive Linearität

1.5% Vollausschlag inklusive Linearität >20 slpm
Wiederholbarkeit < ±0.15% S.P. < ±0.15% S.P. < ±0.15% S.P. < ±0.2% S.P.

0.2% of rate
Ansprechzeit – Stromlos geschlossenes Ventil

280 ± 20 ms 

Angepasstes Einschwingverhalten, für jeden ansteigenden oder abfallenden Nicht-Null-Sollwert

Normalerweise geschlossen: 300 ms - < 1 sec

SDS Gas Delivery: < 3 sec

Normalerweise geschlossen:

300 ms - < 700 ms

700 ms - < 1 sec

SDS Gas Delivery: < 3 sec

Normalerweise geschlossen: <1 sec

Normalerweise geschlossen: <3 sec

Optional: 600 msec
Druckschwankungsabhängigkeit

<± 1% S.P. up to 40 psi/sec Eingangsdruckspitze

Specific models

<5% S.P. for up to 5 psi/sec upstream press. spike

 — —
Konfigurierbarkeit Multigas/Mutirange MultiFlo™ Standard MultiFlo™ Standard (most models) MultiFlo™ Standard (most models) MultiFlo™ Available

—
Diagnosefähigkeit Verfügbar

Verfügbar

Verfügbar

Verfügbar

—

Analoge Kommunikation

0-5 Vdc

—

0-5 Vdc

0-20 mA

4-20 mA

0-5 Vdc

0-10 Vdc

4-20 mA

0-5 Vdc
Digitale Kommunikation

DeviceNet™

EtherCAT®

RS-485 L-Protokoll

EtherCAT®

DeviceNet™

RS485 L-Protocol

DeviceNet™ 

Profibus®

RS485 S-Protocol

RS485 L-Protocol

RS485 A-Protocol (GF081)

—