Metallgedichtete Massendurchflussregler
Ob extrem stabile, hochgenaue Messsensoren, schnelle Präzisionsregelventile oder leistungsfähige digitale Elektronik: Unsere Massendurchflussregler sind mit der modernsten Technik ausgestattet, um Ihre Medienregelung zu präzisieren. Dank der hochdichten, ultrareinen Konstruktion mit einem vollständig aus Metall bestehendem Strömungsweg erhalten Sie in der Prozesschemie absolut reine Ergebnisse.
Für welche Aufgaben metallgedichtete MFCs eingesetzt werden
- Fertigungsprozesse für Siliziumhalbleitergeräte (Ätzen, Abtragen, CVD, ALD, PVD, Epi, Diffusion, Implantation und RTP)
- Fertigungsprozesse für Halbleiterverbundgeräte (MOCVD)
- Präzisionsgefertigte Oberflächenbeschichtungen
- Analysesysteme
- Vakuumprozessanwendungen
PRODUKTE
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| Gerätetyp |
Massendurchflussregler |
Massedurchflussregler |
Massedurchflussregler |
Massedurchflussregler |
Massedurchflussregler |
| Unterscheidungsmerkmal |
Vollständig druckunempfindlicher P-MFC Präziseste Prozessgaszufuhr über einen weiten Bereich von Betriebsbedingungen |
EtherCAT Communication High Purity/Ultra-High Purity Embedded Diagnostics Ultra-stable Flow Sensor Improved Valve Shutdown |
High Purity/Ultra-High Purity Standard GF Series High Flow GF Series Ultra-Fast Response Time Pressure Transient Insensitivity |
High Purity |
Large installed base with proven long term performance |
| Durchflussbereich (Maximalwert) |
3 sccm – 50.000 sccm |
Standard GF Series: 3 sccm - 55 slm High Flow GF Series: 55 slm - 300 slm |
Standard GF Series: 3 sccm - 55 slpm High Flow GF Series: 55 slpm - 300 slpm |
3 sccm - 55 slm | 3 sccm - 30,000 sccm |
| Dichtungsmaterial |
Metall |
Metal | Metal | Metal | Metal |
| Reinheitsgrad | 5µ inch Ra im Durchschnitt |
5 - 10µ inch Ra |
4 - 10µ inch Ra | 16µ inch Ra |
316L VAR, 316L, and high alloy ferritic stainless steel |
| Genauigkeit |
Dicht schließendes Ventil <±1% S.P. (5-100% F.S.) <±0.05% F. S. (0.5-5% F.S.)
Metallgedichtetes Ventil <±1% S.P. (5-100% F.S.) <±0.05% F. S. (2-5% F.S.) |
Standard GF Series: ±1% S.P. > 20-100%; ±0.2% F.S. 2-20% High Flow GF Series: ±1% S.P. > 35-100%; ±0.35% F.S. 2-35% |
±1% S.P. > 35-100% ±0.35% F.S. 2-35% |
±1% S.P. 35-100% ±0.35% F.S. < 5-35% |
1% Vollausschlag inklusive Linearität 1.5% Vollausschlag inklusive Linearität >20 slpm |
| Wiederholbarkeit | < ±0.15% S.P. | < ±0.15% S.P. | < ±0.15% S.P. | < ±0.2% S.P. |
0.2% of rate |
| Ansprechzeit – Stromlos geschlossenes Ventil |
280 ± 20 ms Angepasstes Einschwingverhalten, für jeden ansteigenden oder abfallenden Nicht-Null-Sollwert |
Normalerweise geschlossen: 300 ms - < 1 sec SDS Gas Delivery: < 3 sec |
Normalerweise geschlossen: 300 ms - < 700 ms 700 ms - < 1 sec SDS Gas Delivery: < 3 sec |
Normalerweise geschlossen: <1 sec |
Normalerweise geschlossen: <3 sec Optional: 600 msec |
| Druckschwankungsabhängigkeit |
<± 1% S.P. up to 40 psi/sec Eingangsdruckspitze |
Specific models |
<5% S.P. for up to 5 psi/sec upstream press. spike |
— | — |
| Konfigurierbarkeit Multigas/Mutirange | MultiFlo™ Standard | MultiFlo™ Standard (most models) | MultiFlo™ Standard (most models) | MultiFlo™ Available |
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| Diagnosefähigkeit |
Verfügbar
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Verfügbar
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Verfügbar
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Verfügbar
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| Analoge Kommunikation |
0-5 Vdc |
— |
0-5 Vdc |
0-20 mA 4-20 mA 0-5 Vdc 0-10 Vdc |
4-20 mA 0-5 Vdc |
| Digitale Kommunikation |
DeviceNet™ EtherCAT® RS-485 L-Protokoll |
EtherCAT® |
DeviceNet™ RS485 L-Protocol |
DeviceNet™ Profibus® RS485 S-Protocol RS485 L-Protocol RS485 A-Protocol (GF081)
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