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제품 Mass Flow Controllers Metal Sealed

Metal Sealed Thermal & Pressure-based Gas Mass Flow Controllers & Meters

고순도의 흐름 경로. 초정밀, 무 오염 제어.

오늘날 많은 고급 전자기기 제조 공정은 극도로 정교하고 값비싼 초순도 가스와 액상 선구 화합물의 높은 반복 측정 및 제어를 필요로 합니다. Brooks Instrument는 업계의 판도를 바꾸는 금속 씰 열 질량 유량 제어기 및 유량계로 고객의 요구를 충족합니다. 매우 안정적인 고정밀 측정 센서와 고속 정밀 제어 밸브, 강력한 디지털 전자기기를 통해 정밀 화학 제어가 가능합니다. Brooks Instrument의 높은 무결성(Leak 방지), 초고순도, 모든 금속 습식 흐름 경로를 통해 공정 화학의 순도는 습기 및 산소와 같은 오염원이 공정 매개체를 오염시키지 않도록 차단됩니다.

주요 응용분야

  • 실리콘 반도체 기기 조립 공정 – Etch, Strip, CVD, ALD, PVD, Epi, Difusion, Implant 및 RTP
  • 화합물 반도체 기기 조립 공정 – MOCVD
  • 정밀 제작 표면 코팅
  • 분석 시스템
  • 진공 공정 분야

귀사의 공정 요건에 가장 잘 맞는 질량 유량 기기를 선택하십시오.

제품

GP200 시리즈
GP200 시리즈
GF100 시리즈 EtherCAT
GF100 시리즈 EtherCAT
GF100 시리즈
GF100 시리즈
GF80 시리즈
GF80 시리즈
5850EM 시리즈
5850EM 시리즈
상품 유형 질량 유량 제어기  질량 유량 제어기  질량 유량 제어기  질량 유량 제어기  질량 유량 제어기 
특장점
초고순도 
 
초고속 응답 
 
압력 과도 무감응성 
EtherCAT 통신 
 
고순도/초고순도 
 
임베디드 진단 
 
매우 안정적인 유량 센서 
 
개선된 밸브 차단 
 고순도/초고순도 

표준 GF 시리즈 

고 유량 GF 시리즈 		고순도 대형 설치 기반의 입증된 장기간 성능 
유량 범위(최대 용량) 3 sccm~300 slm
표준 GF 시리즈: 3 sccm ~ 55 slm 
 
고 유량 GF 시리즈: 55 slm ~ 300 slm 

표준 GF 시리즈: 3 sccm ~ 55 slpm 

고 유량 GF 시리즈: 55 slpm ~ 300 slpm

 3 sccm ~ 55 slm  3 sccm - 30,000 sccm 
씰 재료 금속  금속  금속  금속  금속 
표면 마감 (Surface Finish) 4 - 5µ inch Ra  5 ~ 10µ inch Ra  4 ~ 10µ inch Ra  16µ inch Ra  316L VAR, 316L, 및 고합금 페라이트 스테인리스강 
정확도
±1% S.P. > 35~00% 
 
±0.35% F. S. 2~5% 
표준 GF 시리즈: ±1% S.P. > 20~100%; ±0.2% F.S. 2~20% 
 
고 유량 GF 시리즈: ±1% S.P. > 35~100%; ±0.35% F.S. 2~35% 
 ±1% S.P. > 35~100% 

±0.35% F.S. 2~35%  		±1% S.P. 35~100% 

±0.35% F.S. < 5~35%  		1% F.S. 선형성 포함 

1.5% F.S. 선형성 포함(>20 slpm) 
반복성 및 재현성 < ±0.15% S.P.  < ±0.15% S.P.  < ±0.15% S.P.  < ±0.2% S.P. 속도의 0.2% 
응답 시간 300ms ~< 1 sec 
Normally Closed Valve: 300 ms ~ < 1 초 
 
SDS 가스 전달: < 3 초 
 Normally Closed Valve: 700 ms - < 1 초 

SDS 가스 전달: < 3 초  		<1 초 Normally Closed Valve: <3 초  

선택: 600 msec 
압력 과도 무감응성 <5% S.P. 최대 5 psi/초 업스트림 압력 스파이크  특정 모델  — —
다중 가스 및 범위 구성 MultiFlo™ 표준(대다수의 모델)  MultiFlo™ 표준(대다수의 모델)  MultiFlo™ 표준(대다수의 모델)  MultiFlo™ 이용 가능  —
진단 능력 이용 가능  이용 가능  이용 가능  이용 가능  —
아날로그 통신 0-5 Vdc

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 0-5 Vdc 0~20 mA 
4~20 mA 
0~5 Vdc 
0~10 Vdc  		4~20 mA 
0~5 Vdc 
디지털 통신

DeviceNet™

EtherCAT®

RS-485 L-Protocol

 EtherCAT®  DeviceNet™ 

RS485 L-프로토콜  		DeviceNet™  
Profibus® 
RS485 S-프로토콜 
RS485 L-프로토콜 
 —