{67621A02-7699-4F12-BBDC-60D9004F0339}
{B39AB522-FCA3-4A92-B76F-8147E7A99DE1}
특장점
고순도/초고순도
표준 GF 시리즈
고 유량 GF 시리즈
{0F724D3A-A6AF-4AE4-850F-7CB7D98ABC8A}
{DD04D52B-F1CB-49CB-8C3C-6DD4DCCE8F47}
유량 범위(최대 용량)
표준 GF 시리즈: 3 sccm ~ 55 slpm
고 유량 GF 시리즈: 55 slpm ~ 300 slpm
{081BE13A-92DA-4DE7-851E-2943A8B79405}
정확도
±1% S.P. > 35~100%
±0.35% F.S. 2~35%
{3A51093B-CA51-41BB-881F-3F228AB4B9AC}
{9642EE73-6469-41B0-9635-D0FC77DE416C}
{F6EAA9AA-9EFA-499A-87B8-41E6B509AF51}
응답 시간
Normally Closed Valve: 700 ms - < 1 초
SDS 가스 전달: < 3 초
{02AA87A4-3B1E-4F25-B7D0-105C6C9F9FD1}
응답 시간
Normally Open Valve: <1.5 초(특정 모델)
{05574362-0330-4B02-B820-5123105D6513}
다중 가스 및 범위 구성
MultiFlo™ 표준(대다수의 모델)
{538D3201-786E-4A32-B275-41597E0CE7E0}
{DF7B02EF-6342-4148-B7F6-794315818D3B}
제어 범위
표준 GF 시리즈: < 3~100%
고 유량 GF 시리즈: 5~100%
{9C3AA3E1-C5FC-48E8-B36A-C195F8F606DD}
Bin 개수
표준 GF 시리즈: 11 Bin
고 유량 GF 시리즈: 4 Bin
{438A9418-BB97-43D1-81C5-B0A52D92C0FD}
밸브 차단
표준 GF 시리즈: < 1% F.S.
고 유량 GF 시리즈: < 2% F.S. @ 30 N2 psig/atm out
{11E8DCA4-4E3B-4975-9BE5-EBA91C80801C}
{39961ABF-0D9C-4C4F-B2E5-DD244D234A9F}
유량 온도 계수
범위: °C당 0.05% S.P.
0: °C당 0.005% F.S.
{92DB7D93-6B51-4A9B-9B45-E7AC9B4F0848}
{00FD366A-9377-49D6-BB7A-C0AF22DC8434}
{53181BE2-787E-48EC-8BA0-712085A1CE8C}
표면 마감 (Surface Finish)
4 ~ 10µ inch Ra
{E9DFB78F-5DA5-4974-852B-271C5300CB93}
습윤 재료
SEMI F20 HP/UHP 준수
316L VIM/VAR
Hastelloy C-22
316L 스테인리스강
304 스테인리스강
KM-45
{D991E384-0015-45DF-8B6E-4B3975F9EFE5}
밸브
Normally Closed
Normally Open (특정 모델 한정)
유량계(밸브 없음)
{E9BE919F-CF9A-4818-A0E0-55DEE43D53A7}
{00DFAA0D-4DDD-4057-8EC1-F713D0EB0233}
{9D73B7BD-D7C3-4C56-B408-FA7D94CD8FED}
차압 범위
3~860 sccm = 7~45 psid
861~7200 sccm = 10~45 psid
7201~55000 sccm = 15~45 psid
51 slm~300 slm = 30~90 psid
*일반 압력 강하. 자세한 정보는 Brooks 기술지원 부서에 문의해주십시오.
{E7A1C04C-79EC-4FAC-B1E1-BD576CA8D52E}
최대 압력
표준 GF 시리즈: 최대 500 psia
고 유량 GF 시리즈: 75 psig(제어기), 150 psig(유량계)
{D5A59A33-B974-4ED4-98D8-4C092762422D}
누출 무결성
1x10-10 atm cc/초 He
{4C4BA641-C44D-4E88-AA7E-98F200705CB6}
{6136989F-23CC-4A62-9BCD-6660E022B2AF}
{D549975F-CA5B-4308-944C-1138276AECCC}
{E9C0F579-B726-429F-8B14-788F805E8DA1}
{6CF6BE50-F8FF-4B83-98B2-F5AA0B788BAF}
독립 진단 서비스 포트
2.5mm 잭을 통한 RS-485(모든 모델)
{4D8488B6-EB3E-4DED-95D7-2D5D6699626F}
디스플레이
상단 장착 통합 LCD
시야각: 고정
가시 거리: 10 피트
표시 단위: 유량(%), 온도(°C), 압력(psia, kPa)
해상도: 0.1(단위)
{57E85A87-41A2-4A75-B778-6FC689FC2A65}
{B7240DE5-C6E2-4C99-862B-810A5FFE0507}
{CB62894D-8440-4FCD-9829-5ED4E4050233}
디지털 통신
DeviceNet™
RS485 L-프로토콜
{A407DCFB-4517-4752-921F-E0BA3951ED2D}
전기 연결
9-핀 "D" 커넥터를 통한 아날로그/RS485
5-핀 "M12" 커넥터를 통한 DeviceNet™
다양한 케이블 어댑터 이용 가능. 자세한 정보는 제품 데이터 시트를 참조하십시오.
{CAC8E733-6343-4F57-81A0-B1E808EE51AB}
전원 공급/소비
아날로그/RS485 L 프로토콜: 최대 6 Watts @ ±15 Vdc(±10%) 또는 +24 Vdc(±10%)
DeviceNet™: 최대 545 mA @ +11-25 Vdc, 250 mA max @ 24 Vdc
(일반 운영 조건 시)
{A2B444AF-2A63-4013-9661-DA1BCA525685}
{BD155239-DD6A-4B7D-B9E9-3D97DFA8423B}
EMC
EC Directive 2004/108/EC
CE: EN61326-1: 2006(FCC Part 15 및 캐나다 CE 테스트의 IC-서브셋)
{67256706-43E8-4E93-9191-90484E5B5D81}
환경 규정 준수
RoHS Directive(2011/65/EU)
REACH Directive EC 1907/2006