까다로운 고온 응용 분야를 위한 최고순도 유로.
오늘날 첨단 전자 기기 제조 공정의 많은 부분이 값비싼 초고순도 가스와 액체 전구체를 극도로 정확하고 수없이 반복가능하게 측정 및 제어할 수 있는 능력을 요구합니다. Brooks Instrument은 그러한 필요를 고온 금속 봉인 열전식 질량 유량 계측기 및 제어기로 충족시켰습니다. 초안정적이고 아주 정확한 측정 센서, 빠른 정밀 제어 밸브, 고성능 디지털 전자장치를 결합해 정밀 화학 제어를 달성했습니다. 수분이나 산소 같은 외부 오염물질로 인해 공정 매체가 부식되는 일을 방지하기 위해 고안된, 당사의 고무결성(누설 밀봉), 초고순도, 순금속 습식 유로가 공정 화학의 순도를 보장합니다.
주요 응용 분야
- 고온 유량계를 위한 광학 섬유 제조 – MCVD
- 실리콘 반도체 기기 제조 공정
- CVD(증기 형태의 전구체 전달)
- 스트립(Strip)(수증기)
- 에칭(Etch)(패시베이션을 위한 수증기)