5850EM Series Metal Sealed Thermal Gas Mass Flow Controllers

입증된 장기간 안정성. 고압 사용 공정을 위한 초순도 성능.

5850EM 시리즈 금속 씰 질량 유량 제어기는 초청정 환경에서 널리 이용되는 5850E 및 i 시리즈 MFC의 성능을 바탕으로 입증된 안정성으로 고압 가스 유량을 측정하고 제어합니다. 이 제품의 금속 씰 구조와 전해 연마 습식 표면은 뛰어난 유량 무결성을 보장하고 안정적인 가스 유량을 제공하기 위한 지속적인 모니터링의 필요성과 가스 압력 재조정 필요성을 없애 전반적인 공정 효율성을 개선하도록 합니다.

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5850EM 시리즈 데이터 시트

특징

연간 0.2%F.S. 미만의 장기간 Zero 안정성
무시할 수 있는 수준의 Overshoot/Undershoot과 3초 미만의 명령 변경의 안정 시간
광범위한 유량 범위 - 3 sccm에서 최고 30,000 slpm
고압 정격 - 최고 1,500 psi
강화된 공정 내부 마감 옵션 - 5µ inch Ra 평균
탈거가 가능한 유량 센서
장착 자세에 민감하지 않음
다른 질량 유량 제어기와의 기계적 및 전기적 호환성
TTL 호환 "밸브 차단" 및 퍼지 기능

장점

전금속 유량 경로로 가스 순도를 높이고 Leak를 줄입니다
광범위한 공정과 응용 범위에서 입증된 장기간 안정성 및 정확성
안정적인 성능을 통한 뛰어난 투자 수익
탈착이 가능한 유량 센서로 가스 압력의 계속적인 모니터링과 재조정할 필요성을 제거합니다
아날로그 전용 입력/출력으로 쉽게 설치 및 서비스 가능

응용

광섬유
LED / MOCVD
반도체
태양광

상품 유형

질량 유량 제어기

특장점

대형 설치 기반의 입증된 장기간 성능

성능

유량 범위(최대 용량)

3 sccm - 30,000 sccm

정확도

1% F.S. 선형성 포함

1.5% F.S. 선형성 포함(>20 slpm)

반복성 및 재현성

속도의 0.2%

선형성

±0.5% F.S. (정확도에 포함)

응답 시간

Normally Closed Valve: <3 초

선택: 600 msec

다중 가스 및 범위 구성

—

압력 과도 무감응성

—

제어 범위

2-3% ~ 100%

Bin 개수

해당사항 없음

밸브 차단

해당사항 없음

제로 안정성

연간 ±0.5% F.S. 미만

기계적

씰 재료

금속

표면 마감 (Surface Finish)

316L VAR, 316L, 및 고합금 페라이트 스테인리스강

습윤 재료

밸브 시트: 316L, Viton® 불화탄성체, Buna-N, Kalrez® 또는 Teflon®

밸브

Normally Closed, Normally Open

유량계(밸브 없음)

등급

최고 온도

65^oC

차압 범위

5 ~ 50 psi(가스 및 범위에 따름)

최대 압력

1500 psi

누출 무결성

1x10-10 atm cc/초 He

진단 및 디스플레이

진단 능력

—

상태 표시등

MFC 상태, 네트워크 상태

알람

제어 밸브 출력, 네트워크 중단

독립 진단 서비스 포트

해당사항 없음

전기

아날로그 통신

4~20 mA
0~5 Vdc

디지털 통신

—

전기 연결

15 핀 D 커넥터(DA-15P)

전원 공급/소비

Normally Closed valve: 3.25 watts

Normally Open valve: 10.5 watts

규정 준수

EMC

61326에 따름(89/336/EEC)

환경 규정 준수

해당사항 없음

파일 이름	파일 형식	언어별 문서
Data Sheet	pdf	English
Installation & Operation Manual - 5850EM	pdf	English
Installation & Operation Manual - 5851EM	pdf	English

0250 시리즈

최대 4개의 장치 제어 및 전원 공급