GF80 Series Metal Sealed Thermal Gas Mass Flow Controllers & Meters

금속 씰 분야의 가치를 주도하여 성능 표준을 향상하다.

다양한 산업 및 반도체 공정에서는 성능과 비용 효율성 모두가 매우 중요합니다. GF80 시리즈 금속 씰 질량 유량 제어기 및 유량계는 이 두 가지를 모두 제공합니다. Brooks Instrument의 베스트셀러인 GF100 시리즈와 같은 빠른 응답 센서를 갖추고 특허를 획득한 4 세대 MultiFlo™ 기술로 제작한 본 제품은 적절한 가격으로 높은 성능을 필요로 하는 운영을 위한 좋은 선택입니다. MultiFlo™ 의 Multi Gas/다중 범위 기능이 탑재된 금속 씰 MFC로 변경을 하게 된다면, 사용 할 수 있는 가스에 제한이 없고, 산소 투과 제거를 하여 가스의 순도를 향상시키는 탄성중합체와 수명 제한이 없는 금속 씰 사용을 통해 유지보수의 필요성을 줄이는 모든 혜택을 누릴 수 있습니다.

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GF80 시리즈 데이터 시트

특징

연간 ±0.5% F.S. 미만의 장기간 Zero 안정성
안정 시간 1초 미만
>최대 300 slpm의 풀 스케일 유량
전금속 씰 흐름 경로 - 16µ inch Ra 표면 마감
내식성 Hastelloy® 센서는 열 분해에 취약한 가스를 위해 낮은 온도에서 작동 가능합니다.
프로그래밍이 가능한 MultiFloTM 기능 - 가스 라인에서 MFC를 탈착하거나 정확도를 떨어뜨리지 않고 수천 가지 가스 유형과 범위 조합을 하나의 기기로 처리합니다
능동적 온도 보상을 통한 동급 최고의 온도 계수 사양
자체 테스트 루틴 및 독립 진단/서비스 포트 내장
VCR 피팅을 이용한 날씬한 본체
DeviceNet™, Profibus®, RS-485 및 아날로그 인터페이스

장점

1초 미만의 빠른 유량 안정 시간으로 가스 낭비와 공정 변동성을 제거합니다
산소가 투과로 인해 시간이 지나면 교체가 필요한 탄성중합체 씰이 없습니다
MultiFloTM는 공정 가스 교체를 쉽고 간소하게 만듭니다 - 더 이상 MFC를 분리하고 보정할 필요가 없습니다
새로운 가스 및/또는 범위를 60초 내에 설정할 수 있습니다
온도 변동의 영향을 받지 않는 측정 정확성
가동 시간 극대화를 위한 편리한 진단 포트 접근
컴팩트한 사이즈로 좁은 장치 공간에 쉽게 통합할 수 있습니다. (개보수를 위한 뛰어난 선택)
다중 프로토콜 통신 인터페이스로 기존 시스템 통합을 간소화합니다

응용

리퍼비쉬 반도체 공정 도구에서 레거시 MFC의 비용 효율적인 개보수/업그레이드
6 인치/8 인치 반도체 팹의 MFC 재고 감소
LED 및 전력 기기 제조를 위한 MOCVD
태양광/박막 화학 기상 증착(CVD) 시스템
분석 OEM 장비

상품 유형

질량 유량 제어기

특장점

고순도

성능

유량 범위(최대 용량)

3 sccm ~ 55 slm

정확도

±1% S.P. 35~100%

±0.35% F.S. < 5~35%

반복성 및 재현성

< ±0.2% S.P.

선형성

±0.5% F.S. (정확도에 포함)

응답 시간

<1 초

다중 가스 및 범위 구성

MultiFlo™ 이용 가능

압력 과도 무감응성

—

제어 범위

< 5% ~ 100%

Bin 개수

표준 GF 시리즈: 11 개

고 유량 GF 시리즈: 4 개

밸브 차단

표준 GF 시리즈: < 1% F.S.

고 유량 GF 시리즈: 표준 구성 F.S.의 4% 미만 @ 30psig/atm out N2 상응

제로 안정성

연간 ±0.5% F.S. 미만

기계적

씰 재료

금속

표면 마감 (Surface Finish)

16µ inch Ra

습윤 재료

316 스테인리스강

Hastelloy C-22

17-7 PH

430SS

KM-45

밸브

Normally Closed

유량계(밸브 없음)

등급

최고 온도

50^oC

차압 범위

3-860 sccm = 7-45 psid

861-7200 sccm = 15-45 psid

7201-50000 sccm = 25-45 psid

51-300 slm = 30-90 psid

(일반 압력 강하)

최대 압력

표준 GF 시리즈: 150 psig (10 bar)

고 유량 GF 시리즈: 유량계 = 75 psig (5 bar), 제어기 = 150 psig (10 bar)

누출 무결성

1x10-10 atm cc/sec He

진단 및 디스플레이

진단 능력

이용 가능

상태 표시등

MFC 상태, 네트워크 상태

알람

제어 밸브 출력 신호, 네트워크 중단

독립 진단 서비스 포트

2.5mm 잭을 통한 RS485(모든 모델)

전기

아날로그 통신

0~20 mA
4~20 mA
0~5 Vdc
0~10 Vdc

디지털 통신

DeviceNet™
Profibus®
RS485 S-프로토콜
RS485 L-프로토콜

전기 연결

9-핀 "D" 커넥터를 통한 Profibus/아날로그

9-핀 "D" 커넥터, 15-핀 "D" 커넥터를 통한 RS485/아날로그

5-핀 "M12" 커넥터를 통한 DeviceNet™

전원 공급/소비

표준 GF 시리즈:
RS485 +12 Vdc에서 +24 Vdc까지 = 최대 7 Watts
Profibus +13.5 Vdc에서 +27 Vdc까지 = 최대 7 Watts
DeviceNet™ +11 Vdc에서 +25 Vdc까지 = 최대 13.6 Watts

고 유량 GF 시리즈:
RS485 +12 Vdc에서 +24 Vdc까지 = 최대 3.3 Watts
Profibus +13.5 Vdc에서 +27 Vdc까지 = 최대 3.3 Watts
DeviceNet™ +11 Vdc에서 +25 Vdc까지 = 최대 3.3 Watts

규정 준수

EMC

CE: EN6126: 2006(FCC Part 15 및 캐나다 CE 테스트의 IC-서브셋)

환경 규정 준수

안전성 EN61010-1

RoHS

파일 이름	파일 형식	언어별 문서
Data Sheet	pdf	English
Installation & Operation Manual	pdf	English Japanese
DeviceNet™ Supplemental Manual	pdf	English
EtherCAT® Supplemental Manual - GF40/GF80	pdf	English
RS485 A-Protocol Supplemental Manual	pdf	English
RS485 L-Protocol Supplemental Manual	pdf	English
RS485 S-Protocol Supplemental Manual	pdf	English

CAD 파일 이름 예시: GF080 - VX (장착) - S4 (통신 / 커넥터)

미터 시리즈	장착	통신 / 커넥터
GF080	VX - 1/4” VCR	S4 - RS485 (S-Protocol)/Analog (Input 4-20 mA; Output 4-20 mA); 15-Pin Male D (Brooks® Protocol)

파일 이름	파일 형식
GF080-VX-L4	STEP
GF080-VX-P5	DXF
GF080-VX-P5	IGS
GF080-VX-P5	STEP
GF080-VX-S0	DXF
GF080-VX-S0	IGS
GF080-VX-S0	STEP
GF080-VX-S4	DXF
GF080-VX-S4	IGS
GF080-VX-S4	STEP
GF080-VX-S5	DXF
GF080-VX-S5	IGS
GF080-VX-S5	STEP

0250 시리즈

최대 4개의 장치 제어 및 전원 공급

0260 시리즈

최대 30개의 장치를 제어 및 모니터링하고 최대 10개의 장치에 전원을 공급합니다.

MultiFlo™ Configurator

MultiFlo™ 가능 MFC를 가스 라인에서 제거하지 않고도 수천 가지 가스 유형 및 범위에 대해 구성할 수 있는 포괄적인 가스 데이터베이스입니다.

Smart DDE Software

Dynamic Data Exchange 소프트웨어를 사용하면 Windows® 기반 응용 프로그램과 Brooks Instrument RS485 S-Protocol 장치 간에 양방향 링크를 만들 수 있습니다.