先進的なストリップ、および金属エッチング後のパッシベーションプロセス向けに作られたVDM300は、フラッシュ気化システムと比較して、優れた精度、大流量率、幅広い制御範囲、低電力消費を実現します。
この度、VDM300の日本語版データシートを準備させて頂きました。
下記リンクよりダウンロードの上、ご覧ください。（※ダウンロードには、ログインが必要です。）
[▶ VDM300 日本語版データシートダウンロードはこちら]
VDM300の特長
- 流量レンジ：3 slpm(DIW蒸気)
- 優れた流量精度を実現する直接水蒸気測定
- プラント内純水供給装置に直接接続
- 最低温度（非過熱状態）でも動作可能
- 水洗および排水用に最適な設計
- EtherCATデジタルコミュニケーション
- Brooks Expert Support Tool (BEST)グラフィカルインターフェース
▶ お問い合わせはこちら
▼製品情報はこちら
VDM300 脱イオン水蒸気デリバリーモジュール