年末年始休業のお知らせ - 平素は格別のご愛顧を賜り、誠にありがとうございます。勝手ながら、12月28日(土)~1月5日(日)の期間、年末年始の休業日となります。2025年度は1月6日(月)より営業を開始いたします。何卒ご了承くださいますようお願い申し上げます。

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半導体製造

コリオリ式流量コントローラによる高信頼性・高精度な超臨界二酸化炭素の注入

半導体製造は非常に複雑なプロセスであり、何千もの正確に制御されたステップが必要です。 これらのステップの大部分はガスと真空の重要な混合物を利用するため、それらを測定および調整することが、一貫性、品質、および歩留まりの鍵となります。 マスフローコントローラー、圧力コントローラー、PLCなどを含む広範囲のブルックスインスツルメントソリューションが、半導体製造プロセス全体で利用され、成功した収益性の高い結果を保証します

アプリケーションの例:

低圧オゾン用途における圧力ベースのマスフローコントローラー

オゾンは、半導体製造におけるさまざまな用途で使用される強力な酸化剤です。多くの酸化物化合物や複雑な構造を速い反応速度で生成できるため、半導体製造プロセスの実用的な選択肢となります。ただし、熱分解と低圧の供給により、オゾンを正確に制御することが課題になります。

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液体および固体原料の正確なガス供給制御

化学気相成長法(CVD)、有機金属気相成長法(MOCVD)、原子層堆積法(ALD)では、液体または固体前駆体からの蒸気の供給を制御することが必須条件となります。

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