マスフローコントローラ 修理/置換ご依頼
お手持ちのMFC（マスフローコントローラ）の調子はいかがですか。
修理が必要なのに依頼先がわからない、お問い合わせ先がわからない。
などお困りではありませんか。
【対応可能メーカー名】
Tylan General, Mykrolis, Entegris, UNIT, Kinetics, Celerity
【対応可能シリーズ名】
FCシリーズ, TNシリーズ, IntelliFlow, 3XPシリーズ, UFCシリーズ,
IFCシリーズ, GFシリーズ
【対応可能型式】
IFC125, IN3XP, 856X, 816X, 166X, IFII, 826X, 29XXM
上記メーカー・シリーズ・型式の修理は、是非弊社にご依頼ください！
ブルックスインスツルメントでは、2018年6月まではサポートを継続。国内、韓国での2拠点での修理体制により、お預かり後、約2週間から6週間での対応が可能になりました。※１
また、GFシリーズは全世界で多数の置換実績があり、プロセス改善に貢献しております。
※１ 但し、機種、修理内容により納期がかかる場合がございます。
修理/オーバーホール ご依頼手順
- ページ下のご依頼フォームより、お申込み・お問い合わせください。
- STEP1（WEBお申込み）後、「汚染除去証明書」「チェックシート（修理依頼書）」をプリントアウトの上、ご記入ください。
上記書類はWEBお申込み後、お送りするメールからダウンロード頂けます。
- 修理品と「汚染除去証明書」「チェックシート（修理依頼書）」を発送ください。
発送先：〒136-0073 東京都江東区北砂1-4-4
ITWジャパン株式会社 カスタマーサービス部 宛
TEL:03-5633-7104
- 受入・検査（Brooks
- お見積書をお送りいたします（Brooks)
- ご発注
- 修理（Brooks）
修理対応期間の目安：ご発注後、約2週間から4週間程度
（但し、機種・修理内容により納期がかかる場合がございます。）
- 発送（Brooks）