高精度で繰り返し性の高いプロセス制御は、 半導体や電子部品製造を推進する上で基盤となる要素です。常に、ツール、プロセス、ノードの後継世代開発に導入され、半導体流量および圧力計測におけるイノベーションや改良への極めて高い条件と需要は、限りなく求められています。
ブルックスインスツルメントは、業界で最も進化した流量、圧力、真空、蒸気供給ソリューションにより、こうした要件に応えます。ブルックスの半導体関連製品は、数十年にわたる実績に基づいて作られています。そのオリジナルセンサーによる測定と制御機器は、現在ではプロセスツールの標準コンポーネントとして、あらゆる業界で使用されています。
ブルックスインスツルメントの半導体製品をお選びいただくことで、基本的なFEOL/BEOLプロセスだけでなく、歩留まり課題を解決するためのリソースとしてご利用いただけます。
- 豊富な専門知識： 業界をリードする半導体製造装置の製造業者も、ブルックスのスタッフに信頼を寄せています。独自のプロセスガス、チャンバーのマッチング、スループットの課題を解決するための流量および圧力測定・制御の改良では、実績による専門技術や改善技術を活かし、アドバイスを提供しています。
- 精密性： ブルックスは、お客様にアプリケーション固有の精度、耐久性、さらに繰り返し性に優れた計器を提供し、高騰する装置コストの削減を支援しています。また、ブルックスでは、開発と改善への投資を継続的に行っています。すべての製品機器がプロセス制御改善に貢献し、最終的には生産性と歩留まり向上を実現します。
- 高い信頼性： ブルックスの半導体製品は、最高品質のスチール合金と、高性能デジタル電子部品、長期安定の精度を保証する特許取得済みのセンサ設計技術、繰り返し性の高い測定方法と制御部品を組み合わせて作られています。特に新種のプロセスガスを使用する場合にも、高い性能を約束します。
- 取り組み： ブルックスは、流量および圧力測定・制御に重点を置くと同時に、サービスサポート機能の世界展開を拡張しており、計器の問題とトラブルに迅速に応え、当社が提供する半導体関連製品の耐用年数を伸ばすための取り組みを積極的に行っています。
- サポート： アプリケーションに関する専門知識、カスタムのメータ設定、製品選びにおけるサービスやアドバイスを提供し、お客さまを強力にサポートしています。