気化器製品

さまざまな工業プロセスや半導体プロセスでは、水や流体プリカーサを含む液体をコントロールされた清浄度の高い蒸気（気化ガス）に変換する必要があります。 気化とは、液体の相から気体（ガス）の相に状態が移行することを指します。つまり、気化器とは、液体材料を気体の状態に変えるシステムのことです。気化にはさまざまな方法がありますが、近年使用されている気化器にはすべてに共通する特性があります。

• 液体の温度を上昇させる、または液体の周囲圧力を低下させる
• 蒸気フローを回収し、制御する密閉システム
• フィードバックとコントロールループシステムを使用して、気化速度を調節

主な用途

• 水蒸発/加湿
• 化学蒸着
• 薄膜を蒸着することで、熱特性、光学特性、強度特性を高める
• 真空ポリマー膜蒸着用のモノマー気化
• キャリブレーション用蒸気の生成
• 液化炭化水素の気化