弊社の基幹マスフローコントローラ(以下MFC)である、GF125シリーズに用いるMultiFlo™コンフィギュレータのマニュアルを改訂いたしました。大きな改定は、MFCとパソコンとの通信に用いるケーブルのタイプが変更になったものです。
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▶ こちら より改訂版マニュアルをダウンロードいただけます。
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Brooks MultiFlo™コンフィギュレータとは
Windows™オペレーティングシステム向けのMultiFlo™コンフィギュレータソフトウェアでは、GF100シリーズ、GF40シリーズ、GF80シリーズ、Celerity/Unitブランドのマスフロータコントローラをガスラインから取り外さず、簡単・素早く、ガスとレンジを再設定することができます。
MultiFlo™テクノロジーは、ブルックスインスツルメントによって特許取得された技術で、プロセスエンジニアに独自のリソースを提供します。総合的なガスデータベースは、様々なガスの熱的および物理的特性の違いを 補正する関数を確立するための数千もの実ガステストに基づいて構築されています。
使いやすいMultiFlo™コンフィギュレータアプリケーションは、市場で最も総合的なガスデータベースを備え、プロセスガスの精度を向上することにより、幅広い用途でMultiFlo対応MFCを使用することができます。
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MultiFlo™コンフィギュレータ(製品ソフトウェア)
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GF125 シリーズ メタルシールサーマル式マスフローコントローラ/メータ