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GF120xHT シリーズ メタルシール高温用マスフローコントローラ&メータ

高純度の流路。高温でのアプリケーションで卓越した性能と信頼性を発揮します。

GF120xHT 高温用マスフローコントローラ(MFC) とメータは、半導体製造プロセスにおけるプリカーサの使用量の増加に対応するため、液体または固体源から発生する蒸気の質量流量を制御・測定するように設計されています。 GF120xHTのフローモジュールは、150℃までの動作環境に対応した製品です。この温度範囲を保証するために、電子回路はデバイスの他の部分とリモートで接続されており、より低温の場所(最大50℃)に設置されています。リモートユニットはDIN取り付けが可能で、接続ケーブルの長さは3種類(3フィート、8フィート、16.5フィート標準)からお選びいただけます。 GF120xHTは、豊富な通信プロトコルとフィッティングオプションを持っているため、次世代のプロセス装置へのインストールや従来の加熱型ますマスフローコントローラのアップグレードに最適です。

お問合せ先

アプリケーションエンジニアにお問合せ:

電話:03-5633-7100

5850EMH シリーズ データシート

特長

  • 150°Cまでの高温アプリケーションに対応したモデル
  • サービスポートを備えているため、ユーザーフレンドリーなインターフェイスを使って容易にデバイスへアクセスできる
  • 耐腐食に優れたハステロイ材質のセンサー
  • お客様のプロセス条件に合わせて校正

メリット

  • 液体プリカーサの蒸気供給で150℃までのアプリケーションをサポートすることができる
  • ユーザーフレンドリーな診断インターフェイスにより、プロセスエンジニアは、MFCが指定された範囲内で動作していることを確認することができるため、歩留まりの向上と稼働時間の最大化を実現します
  • 卓越したセンサーの長期安定性により、スループットと歩留まりを最大化します
  • お客様の使用温度と圧力で校正することで、最大限の性能を発揮します

用途

  • 最先端のストリップ工程
  • 原子層堆積法(ALD)
  • 蒸着
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製品タイプ
マスフローコントローラ
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差別化要因
GF100シリーズの長所と経験を生かした設計 リモートエレクトロニクスはDINレールマウントで使用可能 様々なケーブル長をご用意
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パフォーマンス
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流量範囲(フルスケール容量)
50 sccm - 5 slm (N2 equivalent)
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精度

±1% SP >35-100%

±0.35% FS 2-35%

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再現性

5-100% = ±0.15% of S.P.

2-5% = ±0.015% of F.S.

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レスポンスタイム

ノーマルクローズバルブ:<1秒

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メカニカル
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シール材

メタル

{77DD7855-AD73-44E4-BEF3-C6E9143732BB}
表面仕上げ

5µm Ra

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評価
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最高気温
150oC
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最高圧力

500 psia

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エレクトリカル


{28CDC64C-3BEB-4ABB-B6C7-CD8B67E7A3F8}
診断能力

使用可能

{5DAF71D4-A621-4195-88ED-27877FA44243}
アナログ通信

0-5 Vdc

{BB937020-3869-45DD-9514-0D65B8A8AF3B}
デジタル通信
DeviceNet™, EtherCAT®, RS-485 L-Protocol
Filename File Type Documents By Language
Data Sheet GF120xHT pdf English
Installation & Operation Manual pdf English
DeviceNet™ Supplemental Manual pdf English
EtherCAT® Supplemental Manual - GF1xx pdf English
RS485 L-Protocol Supplemental Manual pdf English
Filename File Type
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