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エラストマシールプレッシャーコントローラ

安定した圧力制御により、優れた精度、安定性、信頼性を実現

ブルックスインスツルメントのエラストマシールプレッシャーコントローラは、頑丈で耐久性が高く、コスト効率に優れた構造です。流体測定および制御のリーダーならではの継続的かつ実績のある精度には、世界のユーザーが信頼を寄せています。ブルックスの電子式プレッシャーコントローラは、業界をリードするサーマル式マスフローコントローラにも搭載されているコア制御テクノロジーを採用しています。

ブルックスのエラストマシールプレッシャーコントローラは、従来のスプリング式ダイアフラム圧力レギュレータで起こりがちなドループやヒステリシスを排除することで、クローズドループ制御を提供します。ブルックスのプレッシャーコントローラは、最大4500 psigの圧力を制御する内蔵圧力センサが付属するモデルもあります。その結果、 プレッシャーコントローラにより、クリティカルなプロセスの的確性を維持することができます。

製品

5866RT
5866RT
SLA10/20/40 シリーズ
SLA10/20/40 シリーズ
SLAMf10/20 シリーズ
SLAMf10/20 シリーズ
製品タイプ

Pressure Controller & Flow Meter

Pressure Controller Pressure Controller
差別化要因

Remote Transducer

Pressure Control & Flow Measurement

Wide Pressure Measurement & Control Range

NEMA 4X/IP66 approved enclosure

Perfect for hosedown/washdown applications

Wide Pressure Measurement & Control Range

 

Pressure Control Range

100:1 for a remote transducer with a 0-10 V output

Turndown 100:1 for FS from 1-50 lpm

50:1 for all other FS flows

Turndown 100:1 for FS from 1-50 lpm

50:1 for all other FS flows

流量範囲(フルスケール容量)

Any range 0 to 3 sccm to 0 to 30,000 sccm N2 Eq.

.003 - 50 lpm .003 - 50 lpm
精度

Flow Accuracy:

 ±1% F.S. including linearity at the calibration conditions

±1.5% F.S. for flow rates greater than 20 slm

Pressure

±0.25% of Transducer FS (FS > 300 psia)
±0.12% of Transducer FS (FS < 300 psia)

Flow

N/A

Pressure

±0.25% of Transducer FS (FS > 300 psia)
±0.12% of Transducer FS (FS < 300 psia)

Flow

N/A

レスポンスタイム

Pressure Response Time:

< 0.8 sec typical for a 0-100% command step with <2% pressure overshoot.

Actual pressure response depends on system design.

System dependent

System dependent

再現性

±0.25% of rate

0.20% SP

0.20% SP

シール材 Elastomer or Metal Elastomer Elastomer
診断能力

Available

Available

アナログ通信

0-5 V

0-5 V, 1-5 V, 0-10 V, 0-20 mA, 4-20 mA

0-5 V, 1-5 V, 0-10 V, 0-20 mA, 4-20 mA

デジタル通信

DeviceNet™

Profibus®

RS-485

DeviceNet™

Profibus®

RS-485

サイズ

Compact

Medium

Large

認定 / 承認

ATEX

IECEx

ATEX

IECEx