課題：超高清浄プロセスのガス管理を改善
大部分の製造プラントでは、供給先の装置から離れた場所にバルクガス源やキャビネットを設置しています。ツールの利用率や生産稼働時間を向上するには、24時間365日体制でこれらのガス供給の正確なコントロールが重要です。そのためには、圧力レベルを測定、追跡、通知すると同時に、圧力が設定ポイントから外れるとアラートを生成するプレッシャートランスデューサ/トランスミッタを導入することが不可欠です。
解決策：SolidSense II® プレッシャートランスデューサ
SolidSense II® プレッシャートランスデューサは、最先端の半導体プロセスおよびノードで使用される複雑で条件の厳しいガスを処理するために作られています。溶接を使わない耐腐食性材質を採用し、0.25%フルスケール以内の高精度を実現します。また、高品質なステンレスを加工した独自の一体型センサを搭載し、測定するガス種を問わず、卓越した長期安定性を提供します。