先進的なストリップ、および金属エッチング後のパッシベーションプロセス向けに作られたVDM300は、フラッシュ気化システムと比較して、優れた精度、大流量率、幅広い制御範囲、低電力消費を実現します。
この度、VDM300の日本語版データシートを準備させて頂きました。
下記リンクよりダウンロードの上、ご覧ください。(※ダウンロードには、ログインが必要です。)
[▶ VDM300 日本語版データシートダウンロードはこちら]
![](https://cdn.brooksinstrument.com/-/media/Brooks/Images/Products/Vaporizer-Products/vdm300-vapor-delivery-module-1-4973.png?h=428&la=ja-jp&w=300&rev=15a1f27782584cea96b94dde09c34994&hash=345B67334C5CB2A080D541A1B14F963D)
VDM300の特長
- 流量レンジ:3 slpm(DIW蒸気)
- 優れた流量精度を実現する直接水蒸気測定
- プラント内純水供給装置に直接接続
- 最低温度(非過熱状態)でも動作可能
- 水洗および排水用に最適な設計
- EtherCATデジタルコミュニケーション
- Brooks Expert Support Tool (BEST)グラフィカルインターフェース
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VDM300 脱イオン水蒸気デリバリーモジュール