0-5VDCや4-20 mAなどのアナログ通信は、従来から主にI / Oの目的で使用されていますが、ほとんどの新しいシステムは工場全体の監視と制御に何らかの形式のデジタル通信を必要としています。
RS-485やDeviceNetなどが産業用デジタル通信として使用されて来ましたが、近年ではイーサネットベースのプロトコルに向かう傾向があります。BrooksのSLA5800シリーズデジタルMFCは、最新の産業用デジタル通信に順次対応を進めています。2020年1月現在ではEtherCAT、EtherNetI/P、PROFINETに対応しています。
デジタルI / Oマスフローは、従来のアナログI / Oマスフローでは利用できない無数の情報を得ることができます。一般的なアナログI / Oマスフローでは、1つもしくは2つの情報しか得ることが出来ませんが、デジタルI / Oマスフローは、流量、合計流量、温度、バルブ駆動、その他の変数を同時に読み取ることができます。さらに、その情報をネットワーク上のPLCまたはその他の機器にリアルタイムで伝達できます。デジタルコマンドを送信することにより、マスフローの設定を変更することも可能です。