GF120xHT シリーズ メタルシール高温用マスフローコントローラ＆メータ

GF120xHT 高温用マスフローコントローラ(MFC) とメータは、半導体製造プロセスにおけるプリカーサの使用量の増加に対応するため、液体または固体源から発生する蒸気の質量流量を制御・測定するように設計されています。 GF120xHTのフローモジュールは、150℃までの動作環境に対応した製品です。この温度範囲を保証するために、電子回路はデバイスの他の部分とリモートで接続されており、より低温の場所（最大50℃）に設置されています。リモートユニットはDIN取り付けが可能で、接続ケーブルの長さは3種類（3フィート、8フィート、16.5フィート標準）からお選びいただけます。 GF120xHTは、豊富な通信プロトコルとフィッティングオプションを持っているため、次世代のプロセス装置へのインストールや従来の加熱型ますマスフローコントローラのアップグレードに最適です。