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製品 マスフローコントローラ メタルシールサーマル式 5850EM シリーズ
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5850EM シリーズ メタルシールサーマルマスフローコントローラ

実証された長期安定性。高圧アプリケーション向けの超高清浄性能
モデル 5850EM / 5851EM

5850EMシリーズメタルシールマスフローコントローラは、幅広く使用されている5850E & i シリーズ MFCの性能に基づく安定性を備え、清浄環境において高圧ガス流量を測定・制御します。メタルシール設計と電解研磨による接ガス表面により、優れた流量インテグリティを実現し、安定したガス流量を提供するプロセス全体の効率性を向上します。ガス圧の継続監視や再調整が必要ありません。

お問合せ先

アプリケーションエンジニアにお問合せ：

電話：03-5633-7100

5850EM シリーズデータシート

特長

  • 長期的なゼロ点安定性：0.2％フルスケール/年以下
  • 3秒以下のセトリングタイムで、微少オーバーシュート/アンダーシュートによる変更に対応
  • 幅広い流量レンジ – 3 sccmから30,000 slpm
  • 定格高圧力 - 最大1,500 psi
  • オプションの強化されたプロセス内部仕上げ - 平均5µインチRa
  • 取り外し可能な流量センサ
  • 取付姿勢の影響なし
  • 他のマスフローコントローラとの機械的/電気的互換性
  • TTL準拠の「バルブオフ」およびパージ機能

メリット

  • ガス清浄度を向上し、リークを削減するメタル製流路
  • 幅広いプロセスとアプリケーション範囲で実証済みの長期安定性と精度
  • 信頼性の高いパフォーマンスにより優れた投資利益率を提供
  • 連続監視とガス圧の最調整が必要ない取り外し可能な流量センサ
  • アナログ専用入力/出力により、取り付けとサービスが容易

用途

  • ファイバオプティック
  • LED / MOCVD
  • 半導体
  • ソーラー
{3141C6E8-E1A9-438D-B5C4-D63EFAB1992A}
製品タイプ
Mass Flow Controller
{713B1CBC-7AC7-4571-B26E-32616A724893}
差別化要因

Large installed base with proven long term performance

{80D240C2-0FDE-46F9-9F84-1390C806AF3F}
パフォーマンス
{16DFC781-A8E5-4DF7-B59A-A7D8AD6EC46D}
流量範囲（フルスケール容量）
3 sccm - 30,000 sccm
{F4EDA08B-FE9E-4633-9B02-1B79CAA46CD8}
精度

1% F.S. incl. linearity

1.5% F.S. incl. linearity >20 slpm

{E7F55DC5-8163-4F49-87AE-44538F4E21D0}
再現性

0.2% of rate

{80387D91-59AF-41A4-A923-069F68153DC3}
Linearity

±0.5% F.S. (included in accuracy)

{4643DD93-C8B4-408F-81B5-849F5D8C9F80}
レスポンスタイム

Normally Closed Valve: <3 sec

Optional: 600 msec

{DC3E88E8-CE65-4F1A-B4D3-A49224429ADD}
マルチガス　　マルチレンジ

—

{5BA547FE-F01D-4C7E-8C31-C2383EF04A1E}
供給圧力変動耐性/背圧変動耐性 (安定時)
—
{2B00ACC8-97F0-4B4F-B173-E896B7E106A8}
Control Range

2-3% - 100%

{B76DA73A-A60B-429A-AF8F-1ABCDDDC23CB}
Number of Bins

N/A

{7FF3A25B-6A9F-472C-A128-D4812238D575}
Valve Shut Down

N/A

{9B475C49-52FB-4400-B3DD-A3E6F63E01F6}
Zero Stability
< ±0.5% F.S. per year
{1066F28B-8754-4281-9B21-C2DDB64C77AA}
メカニカル
{1D4BD45E-5C3B-4C43-8B3B-A95C0870359B}
シール材
Metal
{17DC294D-5BD8-4BDD-9B81-BE1988283AB7}
表面仕上げ

316L VAR, 316L, and high alloy ferritic stainless steel

{51B2E417-C5D5-48ED-894D-9CE40119746B}
接液部材質

Valve Seat: 316L, Viton® fluoroelastomers, Buna-N, Kalrez® or Teflon®

{3041890D-EFFD-4198-B5A4-B065DB876ACA}
Valves

Normally Closed, Normally Open

Meter (no valve)

{33B32B4A-2FE4-4B3F-84C1-10AB6A7FE7B1}
評価
{C8A94F7F-0EB5-4591-9E19-D9221FEF8823}
最高気温
65oC
{CF7C75B3-9B99-400F-8AA5-9084A9F3F353}
差圧範囲

5 - 50 psi (gas and range dependent)

{C190B420-32F2-4DC8-9822-088452814F4C}
最高圧力

1500 psi

{7C1A9165-54B5-4700-B1C9-E382A7B7CACD}
外部リークレート
1x10-10 atm cc/sec He
{4133F208-C666-415C-B6FE-F1877422381C}
診断と表示
{97D761CA-2851-4ED0-A1CD-F42559FF6030}
診断能力
—

{0162F6AA-B99D-4CB8-9AD4-A95DDA3E04C3}
Status Lights
MFC Health, Network Status
{B9B24DC5-A4D2-4CBE-AD51-7E26B18618BC}
警報

Control Valve Output, Network Interruption

{AF6D6F2E-63AD-4F06-93C0-AAF8E2AC9783}
Diagnostic - Service Port

N/A

 

{73BEBF95-6EB5-42F0-AC39-EDC8D38EC382}
エレクトリカル
{69999E75-097B-4696-A63F-A89263BBA3E2}
アナログ通信

4-20 mA

0-5 Vdc

{0303F12A-37EB-420A-BF47-53D86C711922}
デジタル通信

—

{BC195D12-9EB6-454A-86DE-F0B51AC868DE}
電気接続

15 Pin D Connector (DA-15P)

{D6A6D2FA-C38B-49FA-9514-158EAF2DFE65}
電源 / 消費電力

Normally Closed valve: 3.25 watts

Normally Open valve: 10.5 watts

{7153A00C-56D3-4DFD-8862-3144B0058333}
コンプライアンス
{4AEEF581-7C84-4BF3-A1BF-B46966DF9571}
電磁環境適合性

(89/336/EEC) per 61326
{69EA7516-24C1-40C6-BDA0-2E27979519B9}
環境法令遵守

N/A

5850EM 5851EM
差別化要因
流量範囲（フルスケール容量） 3 sccm - 30,000 sccm 10 - 100 slpm Nitrogen
Surface Finish

Enhanced process (5 Ra avg.) internal finish (optional)

Enhanced process (5 Ra avg.) internal surface finish(optional)
精度

1% F.S. including linearity

1.5% F.S. including linearity (>20 slpm)

1 % F.S. including linearity
再現性

設定値の 0.25

設定値の 0.25%
レスポンスタイム

Normally Closed Valve

<3 sec

Normally Closed Valve

<3 sec
マルチガス　　マルチレンジ

N/A

N/A
供給圧力変動耐性/背圧変動耐性 (安定時)

.03% per psi (0-200 psi N2)

.03% per psi (0-200 psi N2)
アナログ通信

4-20 mA

0-5 Vdc

4-20 mA

0-5 Vdc
デジタル通信

N/A

 

 N/A
Filename File Type Documents By Language
Data Sheet pdf English
Installation & Operation Manual - 5850EM pdf English
Installation & Operation Manual - 5851EM pdf English
0250 シリーズ
0250 シリーズ

4デバイスまでのコントロールと権限