ブルックスインスツルメントのメタルシールプレッシャーコントローラは、信頼性と耐久性に優れた構造です。流体測定および制御のリーダーならではの継続的かつ実績のある精度には、世界のユーザーが信頼を寄せています。ブルックスの電子式プレッシャーコントローラは、業界をリードするサーマル式マスフローコントローラにも搭載されているコア制御テクノロジーを採用しています。
電子式プレッシャーコントローラは、従来のスプリング式ダイアフラム圧力レギュレータで起こりがちなドループやヒステリシスを排除します。また、メタルシールプレッシャーコントローラは、エラストマによる透過酸素を防ぐことによってガスの清浄度を向上し、メタルシールが永久的に継続するので、メンテナンス回数を減らすことができます。
ブルックスのプレッシャーコントローラは、500 psigからの圧力を制御する内蔵圧力センサが付属するモデルもあります。その結果、 プレッシャーコントローラによりクリティカルな半導体プロセスの的確性を維持し、数時間、または数日間連続して厳密な制御を行うことができます。
主な用途
- シリコン半導体デバイス製造プロセス - エッチング、ストリップ、CVD、ALD、PVD、Epi、拡散、インプラント、RTP（急速熱処理）など
- 複合半導体デバイス製造プロセス - MOCVD
- 精密設計の表面被膜
- 解析システム
- 真空プロセスアプリケーション
お客様のプロジェクト要件に最適なプレッシャーコントローラデバイスを選択してください。