課題：コスト効率の良い方法で圧力を管理したい
プロセスガス圧力制御を改善するには、MFCの入口または出口だけでなく、ガス供給システム全体のキーポイントで正確に圧力測定する必要があります。圧力の値がセットポイントから外れると、配管の接合部や分離ポイントで危険な液漏れや詰まりなどが発生する恐れがあります。
解決策：ブルックスインスツルメントのプレッシャースイッチ/トランスミッタ
ブルックスインスツルメントでは、優れた汎用性に加えて、世界の半導体や工業製造プラントでの実績を誇るコスト効率の高い機能を備えた圧力ゲージ、プレッシャースイッチ、トランスミッタを幅広くとりそろえています。高清浄度半導体ガス供給プロセスにおける高い信頼性と正確な性能を提供する耐用性の高い設計と材質を採用しています。