SLAMf シリーズエラストマシールサーマル式マスフローコントローラ/メータ

精密マスフローコントロール。厳しい環境にも対応する耐久性

モデル SLAMf50 / SLAMf51 / SLAMf53 / SLAMf60 / SLAMf61 / SLAMf63 / SLAMf64

粉塵、湿度、極端な温度、水分など、どんな厳しい条件でも、SLAMfシリーズエラストマシールサーマル式マスフローコントローラ/メータなら、実証済みのSLA5800ファミリのメータとコントローラならではの高い精度と長期安定性を実現します。特殊設計のIP66規格筐体により、高度なデジタル電子部品を保護し、プロセスに不可欠なガス/流体マスフローの安定した正確な測定と制御を行います。

お問合せ先

アプリケーションエンジニアにお問合せ：

電話：03-5633-7100

SLAMf シリーズデータシート

特長

IP66級の高耐久性筐体
幅広い定格流量 - 0.003から2500 slpm
幅広い温度と圧力条件に対応
業界をリードするサーマルフロー測定センサテクノロジーにより、優れた精度を実現
設定可能なマルチガス/マルチレンジ機能
先進的な自己診断ルーチンと独立した診断用サービスポートを備え、MFCを取り外すことなく、ユーザーによるトラブルシューティングや流量条件の変更が可能
DeviceNet®, Profibus®, RS-485, アナログインターフェースなど、広範囲な通信オプション

メリット

高耐久性のデバイス筐体により、厳しい条件でも高いプロセス精度と制御を実現
独自のサーマルセンサテクノロジーにより、低セットポイントにおけるS/N比を改善
センサの長期安定性により、メンテナンスや定期的な再キャリブレーションの必要がない
デバイス1台で、最大6種類までキャリブレーションのプログラムが可能
ユーザーがアクセスしやすいサービスポートを搭載し、取り付け、トラブルシューティング、診断作業を簡素化
グローバルスタンダードに基づいた高性能の計測システムやキャリブレーションにより、高い精度を実現
数種類のプロトコル通信インターフェースにより、既存システムへの組み込みを合理化

用途

石油化学および化学ガスのパイロットプラント
ライフサイエンスバイオリアクタ
食品加工におけるブランケティング

製品タイプ

Mass Flow Controller

差別化要因

IP66 Approved Enclosure

Perfect for Hose Down/Wash Down Applications

Hazardous Area Approvals

パフォーマンス

流量範囲（フルスケール容量）

.003 - 2500 slpm

精度

17025 Certified Devices (Includes linearity, excludes calibration system measurement uncertainty, per SEMI E69)

±0.6% of SP (20-100% FS)

±0.12% of FS (<20% FS)

1100 slpm up to 2500 slpm: ±0.6% of FS

Standard Devices (includes uncertainty from reference standards

±0.9% of SP (20-100% FS)

±0.18% of FS (2-20% FS)

1100 slpm up to 2500 slpm: ±1.0% of FS

再現性

0.20% SP

Linearity

Included in Accuracy

レスポンスタイム

<1 second up to 100 lpm

<3 seconds up to 2500 lpm

マルチガス　　マルチレンジ

Standard

最高圧力

Up to 100 lpm: 1500 psi/100 bar

Up to 50 lpm: 4500psi/310 bar (optional)

100-2500 lpm: 1000 psi/70 bar

Control Range

1-50 slpm: 100:1 Turndown for F.S.

50-2500 lpm: 50:1 Turndown for F.S.

Zero Stability

< 0.2% F.S. per year

Temperature Coefficient

Zero: <0.05% of F.S. per °C

Span: < 0.1% of S.P. per °C

Pressure Coefficient

±0.03% per psi (0-200 psi N2)

Attitude Sensitivity

<0.2% F.S. maximum deviation from specified accuracy after re-zeroing

評価

最高気温

65^oC

差圧範囲

Controllers

Up to 50 lpm: 5 psi/0.35 bar min - 1500 psi/103.4 bar max

50-100 lpm: 10 psi/0.69 bar min - 50 psi/3.45 bar max

500 lpm: 7.5 psi/0.52 bar min - 300 psi/20.0 bar max

1000 lpm: 14.5 psi/1.00 bar min - 300 psi/20.0 bar max

2500 lpm: 35.0 psi/2.41 bar min - 300 psi/20.0 bar max

外部リークレート

1x10^-9atm cc/sec He

メカニカル

シール材

エラストマシール

接液部材質

316L Stainless Steel

High Alloy Stainless Steel

Viton® Fluoroelastomers

Buna-N

Kalrez®

Teflon®/Kalrez®

EPDM

Valves

Normally Closed

Normally Open

Meter (no valve)

診断

診断能力

Available

Status Lights

MFC Health, Network Status

警報

Sensor Output

Control Valve Output

Over Temperature

Power Surge/Sag

Network Interruption

Diagnostic - Service Port

RS485 via 2.5mm jack

エレクトリカル

アナログ通信

0-5 V, 1-5 V, 0-10 V, 0-20 mA, 4-20 mA

デジタル通信

DeviceNet™
EtherNet/IP™
FOUNDATION^TM Fieldbus
Profibus®
PROFINET
RS-485

電気接続

DeviceNet™: 1 x M12 with threaded coupling nut (B)

Profibus®: 1 x 15-pin Male Sub-D
1 x 9-pin female Sub-D

RS485: 1 x 15-pin Male Sub-D, (A)

電源 / 消費電力

Analog / Profibus® / RS-485

Valve Orifice > 0.032": 8 Watts

Valve Orifice ≤ 0.032": 5 Watts

Without Valve: 2 Watts

DeviceNet™

Valve Orifice > 0.032": 10 Watts

Valve Orifice ≤ 0.032": 7 Watts

Without Valve: 4 Watts

コンプライアンス

認定 / 承認

ISO/IEC 17025:2005

CE: EMC, RoHs, PED

UL Listed/Recognized:

Class 1, Div 2, Group A,B,C,D

Class 1, Zone 2, IIC T4, Class II, Zone 22

ATEX:

II 3 G Ex nA IIC T4 Gc

II 3 D Ex tc IIIC T 85°C Dc

IECEx:

Ex nA IIC T4 Gc

Ex tc IIIC T 85°C Dc

KOSHA:

Ex nA IIC T4

Ex tc IIIC T85°C Dc

環境法令遵守

RoHS Directive (2011/65/EU)

REACH Directive EC 1907/2006

サイズ

Large

	SLAMf50	SLAMf51	SLAMf53	SLAMf60	SLAMf61	SLAMf63	SLAMf64
製品タイプ	Mass Flow Controller	Mass Flow Controller	Mass Flow Controller	Mass Flow Meter	Mass Flow Meter	Mass Flow Meter	Mass Flow Meter
差別化要因	Device Type Flow Range	Device Type Flow Range	Device Type Flow Range	Device Type Flow Range	Device Type Flow Range	Device Type Flow Range	Device Type Flow Range
流量範囲（フルスケール容量）	0.003 - 50 slpm	15 - 200 slpm	100 - 2500 slpm	0.003 - 50 slpm	15 - 200 slpm	100 - 2500 slpm	300 - 36,000 slpm
最高圧力	1500 psi / 100 bar	1500 psi / 100 bar	1000 psi / 70 bar	1500 psi / 100 bar	1500 psi / 100 bar	1000 psi / 70 bar	Flow Rate Dependent
精度	±0.6% of SP	±0.6% of SP	100 - 1100 lpm ±0.6% of SP 1100 - 2500 lpm ±0.6% of FS	±0.6% of SP	±0.6% of SP	100 - 1100 lpm ±0.6% of SP 1100 - 2500 lpm ±0.6% of FS	±1.0% of FS
再現性	0.20% S.P.	0.20% S.P.	0.20% S.P.	0.20% S.P.	0.20% S.P.	0.20% S.P.	±0.25% S.P.
レスポンスタイム	<1 second	<1 second	<3 seconds	<1 second	<1 second	<3 seconds	N/A
マルチガス　　マルチレンジ	Standard	Standard	Standard	Standard	Standard	Standard	Standard
診断能力	Status Lights - MFC Health , Network Status Alarms - Sensor Output, control Valve output, Over Temperature, Power Surge/Sag, Network Interruption Diagnostic/Service Port - RS485 via 2.5 mm jack	Status Lights - MFC Health , Network Status Alarms - Sensor Output, control Valve output, Over Temperature, Power Surge/Sag, Network Interruption Diagnostic/Service Port - RS485 via 2.5 mm jack	Status Lights - MFC Health , Network Status Alarms - Sensor Output, control Valve output, Over Temperature, Power Surge/Sag, Network Interruption Diagnostic/Service Port - RS485 via 2.5 mm jack	Status Lights - MFC Health , Network Status Alarms - Sensor Output, control Valve output, Over Temperature, Power Surge/Sag, Network Interruption Diagnostic/Service Port - RS485 via 2.5 mm jack	Status Lights - MFC Health , Network Status Alarms - Sensor Output, control Valve output, Over Temperature, Power Surge/Sag, Network Interruption Diagnostic/Service Port - RS485 via 2.5 mm jack	Status Lights - MFC Health , Network Status Alarms - Sensor Output, control Valve output, Over Temperature, Power Surge/Sag, Network Interruption Diagnostic/Service Port - RS485 via 2.5 mm jack	Status Lights - MFC Health , Network Status Alarms - Sensor Output, control Valve output, Over Temperature, Power Surge/Sag, Network Interruption Diagnostic/Service Port - RS485 via 2.5 mm jack
アナログ通信	0-5 Vdc, 1-5 Vdc, 0-10 Vdc, 0-20 mA, 4-20 mA	0-5 Vdc, 1-5 Vdc, 0-10 Vdc, 0-20 mA, 4-20 mA	0-5 Vdc, 1-5 Vdc, 0-10 Vdc, 0-20 mA, 4-20 mA	0-5 Vdc, 1-5 Vdc, 0-10 Vdc, 0-20 mA, 4-20 mA	0-5 Vdc, 1-5 Vdc, 0-10 Vdc, 0-20 mA, 4-20 mA	0-5 Vdc, 1-5 Vdc, 0-10 Vdc, 0-20 mA, 4-20 mA	0-5 Vdc, 1-5 Vdc, 0-10 Vdc, 0-20 mA, 4-20 mA
デジタル通信	DeviceNet™ EtherNet/IP™ FOUNDATION^TM Fieldbus Profibus® PROFINET RS-485	DeviceNet™ EtherNet/IP™ FOUNDATION^TM Fieldbus Profibus® PROFINET RS-485	DeviceNet™ EtherNet/IP™ FOUNDATION^TM Fieldbus Profibus® PROFINET RS-485	DeviceNet™ EtherNet/IP™ FOUNDATION^TM Fieldbus Profibus® PROFINET RS-485	DeviceNet™ EtherNet/IP™ FOUNDATION^TM Fieldbus Profibus® PROFINET RS-485	DeviceNet™ EtherNet/IP™ FOUNDATION^TM Fieldbus Profibus® PROFINET RS-485	DeviceNet™ EtherNet/IP™ FOUNDATION^TM Fieldbus Profibus® PROFINET RS-485

Filename	File Type	Documents By Language
Data-Sheet-SLAMF	pdf	Japanese Chinese English French German
SLA Biotech MFC At-a-Glance	pdf	Chinese English German
Installation-Manual-SLAMf	pdf	Japanese English
DeviceNet™ Supplemental Manual - SLA5800, SLAMf Mass Flow	pdf	English
EtherCAT® Supplemental Manual - SLA5800, SLAMf	pdf	English
EtherNet/IP™ Supplemental Manual (Prod Rev 4)	pdf	English
Profibus® Supplemental Manual - SLA5800, SLAMf	pdf	English
PROFINET Supplemental Manual - SLA5800, SLAMf	pdf	English German
RS485-S Supplemental Manual - SLA5800, SLAMf	pdf	English
Web-based Interface Supplemental Manual - SLA Series with EtherNet/IP™ or PROFINET	pdf	English

Use the following guide (model code information from data sheet) to translate the CAD configurations available below. If you need assistance or can’t find what you’re looking for, please contact Applications Engineering or your local Brooks Instrument representative.

Example: SLAMf60 - S - B1 - 0 - Y - RevB

Meter Series	Digital Communications I/O	Mechanical Connection (Body size 0 & 1 only)	Valve Type	Analog Communications I/O	Revision Level
SLAMf5x	S - RS485 (select applicable analog I/O)	B1 - 1/4” tube compression w/Filter	0 - None (Sensor only)	Y - 4-20 mA / 0-5 V M20x1.5 Conduit	RevB
SLAMf6x

*See data sheet for more options

Filename	File Type
SLAMF10-S-5A-1-Y-REVB	zip
SLAMF50-7-5A-1-A-REVB	zip
SLAMF50-7-5B-1-A-REVB	zip
SLAMF50-8-1E-4-A-RevB	zip
SLAMF50-8-1P-1-A	zip
SLAMF50-A-1P-1-Y-REVB	zip
SLAMF50-D-1E-1-A-REVB	zip
SLAMF50-D-1M-1-A-REVB	zip
SLAMF50-R-5B-1-A-REVB	zip
SLAMF50-S-1B-1-G-RevB	zip
SLAMF50-S-1B-1-K-REVB	zip
SLAMF50-S-1F-1-K-RevB	zip
SLAMF50-S-1L-1-F-REVB	zip
SLAMF50-S-T1-1-Y-REVB	zip
SLAMF51-7-1G-1-A-REVB	zip
SLAMF51-8-1A-1-A-REVB	zip
SLAMF51-S-1D-1-K-REVB	zip
SLAMF51-S-1L-1-F-REVB	zip
SLAMF51-S-1P-1-K-REVB	zip
SLAMF51-S-T1-1-Y-REVB	zip
SLAMF53-7-2B-3-A-REVB	zip
SLAMF53-7-2L-3-A-REVB	zip
SLAMF53-8-2B-3-A-REVB	zip
SLAMF53-8-2M-3-A-REV B	zip
SLAMF53-A-2E-2-Y-REVB	zip
SLAMF53-D-2K-3-A-RevB	zip
SLAMF53-P-2X-2-A-RevB	zip
SLAMF53-S-2B-3-K-REVB	zip
SLAMF53-S-2C-2-K-REVB	zip
SLAMF53-S-2D-2-K-REVB	zip
SLAMF53-S-2D-2-Y-REVB	zip
SLAMF53-S-2D-3-G-REVB	zip
SLAMF53-S-2E-2-G-REVB	zip
SLAMF53-S-2E-2-K-REVB	zip
SLAMF53-S-2E-2-Y-REVB	zip
SLAMF53-S-2F-1-G-REVB	zip
SLAMF53-S-2G-2-F-REVB	zip
SLAMF53-S-2H-2-F-REVB	zip
SLAMF53-S-2L-2-K-REVB	zip
SLAMF53-S-2M-2-F-REVB	zip
SLAMF53-S-2P-2-G-REVB	zip
SLAMF53-S-2P-2-Y-REVB	zip
SLAMF53-S-2X-3-G-REVB	zip
SLAMF53-S-3A-3-G-REVB	zip
SLAMF53-S-3B-3-G-REVB_igs	zip
SLAMF53-S-3B-3-Y-REVB	zip
SLAMF53-S-5C-3-G-REVB	zip
SLAMF53-S-5D-3-G-REVB	zip
SLAMF60-3-1E-0-A-REVB	zip
SLAMF60-7-5A-0-A-REVB	zip
SLAMF60-P-5B-01-REVB	zip
SLAMF60-Q-1M-0-A-REVB	zip
SLAMF60-S-1E-0-K-REVB	zip
SLAMF60-S-1G-0-G-RevB	zip
SLAMF60-S-1L-0-K-REVB	zip
SLAMF60-S-1P-0-K-REVB	zip
SLAMF60-S-5A-0-Y-REVB	zip
SLAMF60-S-5B-0-G-REVB	zip
SLAMF60-S-B1-0-Y-RevB	zip
SLAMF60-S-G1-0-K-REVB	zip
SLAMF61-R-1J-0-A-REVB	zip
SLAMF61-S-1G-0-K-REVB	zip
SLAMF61-S-1P-0-K-REVB	zip
SLAMF63-8-2B-0-A-REVB	zip
SLAMF63-P-2E-0-K-RevB	zip
SLAMF63-S-2D-0-G-REVB	zip
SLAMF63-S-2E-0-K-RevB	zip
SLAMF63-S-2G-0-G-REVB	zip
SLAMF63-S-2M-0-G-REVB	zip
SLAMF63-S-2N-0-G-REVB	zip
SLAMF63-S-2U-0-K-REVB	zip
SLAMF63-S-3J-0-G-RevB	zip
SLAMF63-T-2U-0-A-RevB	zip
SLAMF64-R-3R-0-A-REVA	zip
SLAMF64-S-2W-0-G-REVB	zip
SLAMF64-S-3L-0-K-REVA	zip
SLAMF64-S-3P-0-K-REVB	zip
SLAMF64-S-4A-0-K-REVB	zip

0250 シリーズ

4デバイスまでのコントロールと権限

0260 シリーズ

30デバイスまで制御および監視、10デバイスにパワーアップ。

ブルックスエキスパートサポートツール（BEST）

ブルックスエクスパートサポートツール（BEST）は、SLA58XXおよびSLAMfXX高機能マスフローコントローラ、メータ、圧力コントローラの制御を強化するWindowsベースのアプリケーションです。このソフトウェアを使用すれば、セットアップ、属性設定、診断、トラブルシューティング、バルブ調整、キャリブレーション（ライセンスキー）を含むサービスタスクを利用することができます。デバイスの上部にある診断ポートからアクセスできます。

Brooks LabVIEW™ DLL

Brooks LabVIEW™ DLL はBrooks®のデジタルマスフローコントローラー、プレッシャコントローラー、コントロールユニットとの通信セットアップに使用します。DLLはお客様ご自身でLabVIEW™アプリケーションを作成する際にご使用いただけます。

Smart DDEソフトウェア

Smart DDEは、ブルックスインスツルメントのDDE（Dynamic Data Exchange）ソフトウェア製品です。WindowsベースのアプリケーションとBrooks® GF40、GF80、SLA、Sシリーズのマスフローおよび圧力製品、0254セカンダリエレクロにクスデバイスを双方向でリンクさせることができます。

SLAMf シリーズエラストマシールサーマル式マスフローコントローラ/メータ

お問合せ先

特長

メリット

用途

Brooks Instrument

東京本社/大阪営業所
アクセスマップ

代理店を探す

ニュースレターで最新情報