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製品 マスフローコントローラ エラストマシール SLAMf シリーズ
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SLAMf シリーズエラストマシールサーマル式マスフローコントローラ/メータ

精密マスフローコントロール。厳しい環境にも対応する耐久性
モデル SLAMf50 / SLAMf51 / SLAMf53 / SLAMf60 / SLAMf61 / SLAMf63 / SLAMf64
粉塵、湿度、極端な温度、水分など、どんな厳しい条件でも、SLAMfシリーズエラストマシールサーマル式マスフローコントローラ/メータなら、実証済みのSLA5800ファミリのメータとコントローラならではの高い精度と長期安定性を実現します。特殊設計のIP66規格筐体により、高度なデジタル電子部品を保護し、プロセスに不可欠なガス/流体マスフローの安定した正確な測定と制御を行います。

お問合せ先

アプリケーションエンジニアにお問合せ：

電話：03-5633-7100

SLAMf シリーズ データシート

特長

  • IP66級の高耐久性筐体
  • 幅広い定格流量 - 0.003から2500 slpm
  • 幅広い温度と圧力条件に対応
  • 業界をリードするサーマルフロー測定センサテクノロジーにより、優れた精度を実現
  • 設定可能なマルチガス/マルチレンジ機能
  • 先進的な自己診断ルーチンと独立した診断用サービスポートを備え、MFCを取り外すことなく、ユーザーによるトラブルシューティングや流量条件の変更が可能
  • DeviceNet®, Profibus®, RS-485, アナログインターフェースなど、広範囲な通信オプション

メリット

  • 高耐久性のデバイス筐体により、厳しい条件でも高いプロセス精度と制御を実現
  • 独自のサーマルセンサテクノロジーにより、低セットポイントにおけるS/N比を改善
  • センサの長期安定性により、メンテナンスや定期的な再キャリブレーションの必要がない
  • デバイス1台で、最大6種類までキャリブ レーションのプログラムが可能
  • ユーザーがアクセスしやすいサービスポートを搭載し、取り付け、トラブルシューティング、診断作業を簡素化
  • グローバルスタンダードに基づいた高性能の計測システムやキャリブレーションにより、高い精度を実現
  • 数種類のプロトコル通信インターフェースにより、既存システムへの組み込みを合理化

用途

  • 石油化学および化学ガスのパイロットプラント
  • ライフサイエンスバイオリアクタ
  • 食品加工におけるブランケティング
{4D39703F-8431-4E00-AAAF-E32A63224B73}
製品タイプ
Mass Flow Controller
{D253B33E-C5F3-4DDA-BD34-73FFC0C232FA}
差別化要因

IP66 Approved Enclosure

Perfect for Hose Down/Wash Down Applications

Hazardous Area Approvals

 

{67DC4ABD-6777-4374-A573-7D0D966C728D}
パフォーマンス
{9AAFFE42-6B76-4D6E-93E5-BECEAA6F8668}
流量範囲（フルスケール容量）
.003 - 2500 slpm
{0B64BBEC-4BB7-4FED-9357-592DD5690A75}
精度

17025 Certified Devices (Includes linearity, excludes calibration system measurement uncertainty, per SEMI E69)

±0.6% of SP (20-100% FS)

±0.12% of FS (<20% FS)

1100 slpm up to 2500 slpm: ±0.6% of FS


Standard Devices (includes uncertainty from reference standards

±0.9% of SP (20-100% FS)

±0.18% of FS (2-20% FS)

1100 slpm up to 2500 slpm: ±1.0% of FS

{26C11D89-3C54-4E7D-8888-5556E24F7DE1}
再現性

0.20% SP

{1D81766F-E683-411F-B8B7-7DF8FB04B1AF}
Linearity

Included in Accuracy

{4CF87FD8-F072-4D48-A130-093BC919EBAE}
レスポンスタイム

<1 second up to 100 lpm

<3 seconds up to 2500 lpm

{7F7303B9-21F0-4DB8-B19A-DD6744F98098}
マルチガス　　マルチレンジ

Standard

{5786AAD7-7C1E-4073-98EF-2E9C159850E3}
最高圧力

Up to 100 lpm: 1500 psi/100 bar

Up to 50 lpm: 4500psi/310 bar (optional)

100-2500 lpm:  1000 psi/70 bar

{7FC46212-0BAA-4696-B5DA-9170F8547A94}
Control Range

1-50 slpm: 100:1 Turndown for F.S.

50-2500 lpm: 50:1 Turndown for F.S.

{5F2CA8BE-E327-46C6-A3BB-0D820D401F43}
Zero Stability

< 0.2% F.S. per year

{036F2FE9-02A0-4D8B-8038-2E478D431EE1}
Temperature Coefficient

Zero: <0.05% of F.S. per °C

Span: < 0.1% of S.P. per °C

{5E5CD617-7F04-4615-8737-FE8E3FFE18E9}
Pressure Coefficient

±0.03% per psi (0-200 psi N2)

{836190EB-84E2-4D7B-B0A8-E3755CCD2B95}
Attitude Sensitivity

<0.2% F.S. maximum deviation from specified accuracy after re-zeroing

{636DEA02-86E7-4C2A-99C4-A35955A98A42}
評価
{926B9E2B-B423-48C5-B970-149010D48B39}
最高気温
65oC
{7688D2A8-C7B4-4E0B-99C6-A09793B8432B}
差圧範囲

Controllers

Up to 50 lpm: 5 psi/0.35 bar min - 1500 psi/103.4 bar max

50-100 lpm: 10 psi/0.69 bar min -  50 psi/3.45 bar max

500 lpm: 7.5 psi/0.52 bar min - 300 psi/20.0 bar max

1000 lpm: 14.5 psi/1.00 bar min - 300 psi/20.0 bar max

2500 lpm: 35.0 psi/2.41 bar min - 300 psi/20.0 bar max

 

{5A7962B1-CCBE-433E-9949-3A00D3E1CCEB}
外部リークレート
1x10-9 atm cc/sec He
{FD1D1004-5C0F-4B63-932C-35138114F6EA}
メカニカル

{564301AE-2597-47D3-B01A-D1EA5035CE62}
シール材
エラストマシール
{E25F7667-7768-49A8-BC0A-E0825FA74744}
接液部材質

316L Stainless Steel

High Alloy Stainless Steel

Viton® Fluoroelastomers

Buna-N

Kalrez®

Teflon®/Kalrez®

EPDM

{F382B259-19AC-405F-B302-6B9714656C5C}
Valves

Normally Closed

Normally Open

Meter (no valve)

{E453CD3F-EB1B-46A0-9AB5-289E0F2F94F0}
診断

 

{C2E26E76-7B9F-4B24-9F5E-CBA3D18D1EC0}
診断能力
Available

{C3E267C1-0306-43D2-81C0-4E56D6E3631C}
Status Lights

MFC Health, Network Status

{C6339274-4BFE-4E18-8B94-C9FA3F25F2A2}
警報

Sensor Output

Control Valve Output

Over Temperature

Power Surge/Sag

Network Interruption

{8BE7F605-87D9-4DB9-BB89-ABD70731BEB2}
Diagnostic - Service Port

RS485 via 2.5mm jack

{53E159A3-B49E-43ED-981A-019A342A4332}
エレクトリカル

{8B595ECE-164D-4211-B642-A97342BB1B00}
アナログ通信
0-5 V, 1-5 V, 0-10 V, 0-20 mA, 4-20 mA



{04455110-D658-42D9-B6F0-121BA12BAAFB}
デジタル通信
DeviceNet™
EtherNet/IP™
Profibus®
PROFINET
RS-485 
{9225A0F9-07BD-427C-B176-FC5179F41675}
電気接続

DeviceNet™: 1 x M12 with threaded coupling nut (B)

Profibus®: 1 x 15-pin Male Sub-D
1 x 9-pin female Sub-D

RS485: 1 x 15-pin Male Sub-D, (A)

{71103481-4143-41CD-8B6E-75BB5C0B18B1}
電源 / 消費電力

Analog / Profibus® / RS-485

Valve Orifice > 0.032": 8 Watts

Valve Orifice ≤ 0.032": 5 Watts

Without Valve: 2 Watts

DeviceNet™

Valve Orifice > 0.032": 10 Watts

Valve Orifice ≤ 0.032":  7 Watts

Without Valve: 4 Watts

{5B59C62B-86F8-4735-A7B7-52F770F486E3}
コンプライアンス
{69B425DA-C564-46AC-BFDF-92D19720A61D}
認定 / 承認

ISO/IEC 17025:2005

CE: EMC, RoHs, PED

UL Listed/Recognized:

Class 1, Div 2, Group A,B,C,D

Class 1, Zone 2, IIC T4, Class II, Zone 22

ATEX:

II 3 G Ex nA IIC T4 Gc 

II 3 D Ex tc IIIC T 85°C Dc

IECEx:

Ex nA IIC T4 Gc 

Ex tc IIIC T 85°C Dc 

KOSHA:

Ex nA IIC T4

Ex tc IIIC T85°C Dc

{76045893-80DF-43BE-B8AD-00E586A83EDD}
環境法令遵守

RoHS Directive (2011/65/EU)

REACH Directive EC 1907/2006

{1109E7B2-CEF9-4302-8A6E-E217BF7B1706}
サイズ
Large
SLAMf50 SLAMf51 SLAMf53 SLAMf60 SLAMf61 SLAMf63 SLAMf64
製品タイプ Mass Flow Controller Mass Flow Controller Mass Flow Controller Mass Flow Meter Mass Flow Meter Mass Flow Meter Mass Flow Meter
差別化要因

Device Type

Flow Range

Device Type

Flow Range

Device Type

Flow Range

Device Type

Flow Range

Device Type

Flow Range

Device Type

Flow Range

Device Type

Flow Range

流量範囲（フルスケール容量） 0.003 - 50 slpm 15 - 200 slpm 100 - 2500 slpm 0.003 - 50 slpm 15 - 200 slpm 100 - 2500 slpm 300 - 36,000 slpm
最高圧力 1500 psi / 100 bar 1500 psi / 100 bar 1000 psi / 70 bar 1500 psi / 100 bar 1500 psi / 100 bar 1000 psi / 70 bar Flow Rate Dependent
精度

±0.6% of SP

±0.6% of SP

100 - 1100 lpm

±0.6% of SP

1100 - 2500 lpm

±0.6% of FS

±0.6% of SP

±0.6% of SP

100 - 1100 lpm

±0.6% of SP

1100 - 2500 lpm

±0.6% of FS

 ±1.0% of FS
再現性 0.20% S.P. 0.20% S.P. 0.20% S.P. 0.20% S.P. 0.20% S.P. 0.20% S.P. ±0.25% S.P.
レスポンスタイム <1 second <1 second <3 seconds <1 second <1 second <3 seconds N/A
マルチガス　　マルチレンジ Standard Standard Standard Standard Standard Standard Standard
診断能力

Status Lights - MFC Health , Network Status

Alarms - Sensor Output, control Valve output, Over Temperature, Power Surge/Sag, Network Interruption

Diagnostic/Service Port - RS485 via 2.5 mm jack

Status Lights - MFC Health , Network Status

Alarms - Sensor Output, control Valve output, Over Temperature, Power Surge/Sag, Network Interruption

Diagnostic/Service Port - RS485 via 2.5 mm jack

Status Lights - MFC Health , Network Status

Alarms - Sensor Output, control Valve output, Over Temperature, Power Surge/Sag, Network Interruption

Diagnostic/Service Port - RS485 via 2.5 mm jack

Status Lights - MFC Health , Network Status

Alarms - Sensor Output, control Valve output, Over Temperature, Power Surge/Sag, Network Interruption

Diagnostic/Service Port - RS485 via 2.5 mm jack

Status Lights - MFC Health , Network Status

Alarms - Sensor Output, control Valve output, Over Temperature, Power Surge/Sag, Network Interruption

Diagnostic/Service Port - RS485 via 2.5 mm jack

Status Lights - MFC Health , Network Status

Alarms - Sensor Output, control Valve output, Over Temperature, Power Surge/Sag, Network Interruption

Diagnostic/Service Port - RS485 via 2.5 mm jack

Status Lights - MFC Health , Network Status

Alarms - Sensor Output, control Valve output, Over Temperature, Power Surge/Sag, Network Interruption

Diagnostic/Service Port - RS485 via 2.5 mm jack
アナログ通信

0-5 Vdc, 1-5 Vdc, 0-10 Vdc, 0-20 mA, 4-20 mA

0-5 Vdc, 1-5 Vdc, 0-10 Vdc, 0-20 mA, 4-20 mA

0-5 Vdc, 1-5 Vdc, 0-10 Vdc, 0-20 mA, 4-20 mA

0-5 Vdc, 1-5 Vdc, 0-10 Vdc, 0-20 mA, 4-20 mA

0-5 Vdc, 1-5 Vdc, 0-10 Vdc, 0-20 mA, 4-20 mA

0-5 Vdc, 1-5 Vdc, 0-10 Vdc, 0-20 mA, 4-20 mA

0-5 Vdc, 1-5 Vdc, 0-10 Vdc, 0-20 mA, 4-20 mA
デジタル通信

DeviceNet™

EtherNet/IP™

Profibus®

PROFINET

RS-485

DeviceNet™

EtherNet/IP™

Profibus®

PROFINET

RS-485

DeviceNet™

EtherNet/IP™

Profibus®

PROFINET

RS-485

DeviceNet™

EtherNet/IP™

Profibus®

PROFINET

RS-485

DeviceNet™

EtherNet/IP™

Profibus®

PROFINET

RS-485

DeviceNet™

EtherNet/IP™

Profibus®

PROFINET

RS-485

DeviceNet™

EtherNet/IP™

Profibus®

PROFINET

RS-485
Filename File Type Documents By Language
Data-Sheet-SLAMF pdf Japanese Chinese English French German
SLA Biotech MFC At-a-Glance pdf Chinese English German
Installation-Manual-SLAMf pdf Japanese English
DeviceNet™ Supplemental Manual - SLA5800, SLAMf Mass Flow pdf English
EtherCAT® Supplemental Manual - SLA5800, SLAMf pdf English
EtherNet/IP™ Supplemental Manual (Prod Rev 4) pdf English
Profibus® Supplemental Manual - SLA5800, SLAMf pdf English
PROFINET Supplemental Manual - SLA5800, SLAMf pdf English German
RS485-S Supplemental Manual - SLA5800, SLAMf pdf English
Web-based Interface Supplemental Manual - SLA Series with EtherNet/IP™ or PROFINET pdf English

Use the following guide (model code information from data sheet) to translate the CAD configurations available below. If you need assistance or can’t find what you’re looking for, please contact Applications Engineering or your local Brooks Instrument representative.

Example: SLAMf60 - S - B1 - 0 - Y - RevB

Meter Series
Digital Communications I/O
 		Mechanical Connection
(Body size 0 & 1 only)
 		Valve Type
 		Analog Communications I/O
 		Revision Level
 SLAMf5x  S - RS485 (select applicable analog I/O)
  B1 - 1/4” tube compression w/Filter
  0 - None (Sensor only)
  Y - 4-20 mA / 0-5 V M20x1.5 Conduit
  RevB
 SLAMf6x
 
      

 *See data sheet for more options

 

Filename File Type
SLAMF10-S-5A-1-Y-REVB zip
SLAMF50-7-5A-1-A-REVB zip
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SLAMF51-7-1G-1-A-REVB zip
SLAMF51-8-1A-1-A-REVB zip
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SLAMF51-S-1L-1-F-REVB zip
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SLAMF53-7-2L-3-A-REVB zip
SLAMF53-8-2B-3-A-REVB zip
SLAMF53-8-2M-3-A-REV B zip
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SLAMF53-S-2D-3-G-REVB zip
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SLAMF53-S-2G-2-F-REVB zip
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SLAMF53-S-2M-2-F-REVB zip
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SLAMF60-3-1E-0-A-REVB zip
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SLAMF61-S-1G-0-K-REVB zip
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SLAMF63-S-2D-0-G-REVB zip
SLAMF63-S-2E-0-K-RevB zip
SLAMF63-S-2G-0-G-REVB zip
SLAMF63-S-2M-0-G-REVB zip
SLAMF63-S-2N-0-G-REVB zip
SLAMF63-S-2U-0-K-REVB zip
SLAMF63-S-3J-0-G-RevB zip
SLAMF63-T-2U-0-A-RevB zip
SLAMF64-R-3R-0-A-REVA zip
SLAMF64-S-2W-0-G-REVB zip
SLAMF64-S-3L-0-K-REVA zip
SLAMF64-S-3P-0-K-REVB zip
SLAMF64-S-4A-0-K-REVB zip
0250 シリーズ
0250 シリーズ

4デバイスまでのコントロールと権限

0260 シリーズ
0260 シリーズ
30デバイスまで制御および監視、10デバイスにパワーアップ。
ブルックスエキスパートサポートツール（BEST）
ブルックスエキスパートサポートツール（BEST）
ブルックスエクスパートサポートツール（BEST）は、SLA58XXおよびSLAMfXX高機能マスフローコントローラ、メータ、圧力コントローラの制御を強化するWindowsベースのアプリケーションです。このソフトウェアを使用すれば、セットアップ、属性設定、診断、トラブルシューティング、バルブ調整、キャリブレーション（ライセンスキー）を含むサービスタスクを利用することができます。デバイスの上部にある診断ポートからアクセスできます。
Brooks LabVIEW™ DLL
Brooks LabVIEW™ DLL
Brooks LabVIEW™ DLL はBrooks®のデジタルマスフローコントローラー、プレッシャコントローラー、コントロールユニットとの通信セットアップに使用します。DLLはお客様ご自身でLabVIEW™アプリケーションを作成する際にご使用いただけます。

Smart DDEソフトウェア
Smart DDEソフトウェア

Smart DDEは、ブルックスインスツルメントのDDE（Dynamic Data Exchange）ソフトウェア製品です。WindowsベースのアプリケーションとBrooks® GF40、GF80、SLA、Sシリーズのマスフローおよび圧力製品、0254セカンダリエレクロにクスデバイスを双方向でリンクさせることができます。