エラストマシールサーマル式マスフローコントローラ/メータ

幅広いニーズに柔軟に対応

ブルックスインスツルメントのエラストマシールフローメータ/コントローラは、高精度かつ長期安定性を実現する高コストパフォーマンスのラインナップを揃えています。お客様のプロセスに必要な精度、信頼性、再現性を兼ね備え、製品の価値と利益を最大限に引き出します。

主な用途

化学および石油化学の解析およびパイロットプロセス
ラボおよび解析システム
ライフサイエンスバイオリアクタ
薄膜蒸着
熱処理、カッティング、サーマルプロセス
真空アプリケーション

プロセスの条件に最適なマスフローデバイスを選択

製品

	SLA シリーズ	GF40 シリーズ	5850E シリーズ	SLAMf シリーズ	4800 シリーズ	5700シリーズ
製品タイプ	Mass Flow Controller	Mass Flow Controller	Mass Flow Controller	Mass Flow Controller	Mass Flow Controller	Mass Flow Meter
差別化要因	Wide Flow & Pressure Range Superior Long-term Stability High Accuracy	High Accuracy MultiFlo™ Capability Compact Size Suitable for Full Suite of Gases	Proven Reliable Performance Long Term Stability Easy to Change Range and Recalibrate in the Field	IP66 Approved Enclosure Perfect for Hose Down/Wash Down Applications Hazardous Area Approvals	Ultra-fast Response Times Optional Local Operator Interface Compact Size Suitable for Non-corrosive Gases	Economical Compact Ideal Upgrade from Volumetric Devices
流量範囲（フルスケール容量）	.003 - 2500 slpm	3 sccm - 50 slpm	0 - 1000 slpm	.003 - 2500 slpm	50 sccm - 40 slpm	0 - 50 slpm
シール材	エラストマシール	エラストマシール	エラストマシール	エラストマシール	エラストマシール	Stainless Steel
最高圧力	.003-200 slpm: 1500 psi/103 bar 100 - 2500 slpm: 1000 psi/70 bar Optional 4500 psi/310 bar on 50 slpm max device	150 psig/10 bar	Controllers: 1500 psig Meters: up to 4500 psig on some models	Up to 100 lpm: 1500 psi/100 bar Up to 50 lpm: 4500psi/310 bar (optional) 100-2500 lpm: 1000 psi/70 bar	150 psig/10 barg	150 psig
精度	17025 Certified Devices (Includes linearity, excludes calibration system measurement uncertainty, per SEMI E69) ±0.6% of SP (20-100% FS) ±0.12% of FS (<20% FS) 1100 slpm up to 2500 slpm: ±0.6% of FS Standard Devices (includes uncertainty from reference standards ±0.9% of SP (20-100% FS) ±0.18% of FS (2-20% FS) 1100 slpm up to 2500 slpm: ±1.0% of FS	1% of SP 35-100%, 0.35% of FS 2-35%	1% of FS 1.5% of FS > 20 slpm	17025 Certified Devices (Includes linearity, excludes calibration system measurement uncertainty, per SEMI E69) ±0.6% of SP (20-100% FS) ±0.12% of FS (<20% FS) 1100 slpm up to 2500 slpm: ±0.6% of FS Standard Devices (includes uncertainty from reference standards ±0.9% of SP (20-100% FS) ±0.18% of FS (2-20% FS) 1100 slpm up to 2500 slpm: ±1.0% of FS	3.0% of FS 1.0% of FS (optional)	5% of FS including linearity
再現性	0.20% SP	0.20% SP	0.25% of Rate	0.20% SP	0.15% FS	0.50% FS
マルチガス　　マルチレンジ	Standard	MultiFlo™ Available	—	Standard	—	—
診断能力	Available	Available	—	Available	Available	—
アナログ通信	0-5 V, 1-5 V, 0-10 V, 0-20 mA, 4-20 mA	0-5 V, 0-10 V 0-20 mA, 4-20 mA	0-5 Vdc 0-20 mA 4-20 mA	0-5 V, 1-5 V, 0-10 V, 0-20 mA, 4-20 mA	0-5 Vdc 4-20 mA	0-5 V into 1000 ohms or greater
デジタル通信	DeviceNet™ EtherCAT® EtherNet/IP™ FOUNDATION^TM Fieldbus Profibus® PROFINET RS-485	DeviceNet^TM EtherCAT® Profibus® RS485	—	DeviceNet™ EtherNet/IP™ FOUNDATION^TM Fieldbus Profibus® PROFINET RS-485	RS232	—
サイズ	Medium	Compact	—	Large	Compact	Compact
認定 / 承認	ISO/IEC 17025:2005 CE: EMC Directive 2014/30/EU Directive 2011/65/EU UL (Recognized): Class I, Div 2, Group A, B, C, D Class I, Zone 2, IIC T4 Class II, Zone 22 ATEX: II 3 G Ex nA IIC T4 Gc IECEx: II 3 G Ex nA IIC T4 Gc KOSHA: Ex nA IIC T4	CE: EN61326: 2006 (FCC Part 15 & Canada IC-subset of CE testing) Safety EN61010-1	—	ISO/IEC 17025:2005 CE: EMC, RoHs, PED UL Listed/Recognized: Class 1, Div 2, Group A,B,C,D Class 1, Zone 2, IIC T4, Class II, Zone 22 ATEX: II 3 G Ex nA IIC T4 Gc II 3 D Ex tc IIIC T 85°C Dc IECEx: Ex nA IIC T4 Gc Ex tc IIIC T 85°C Dc KOSHA: Ex nA IIC T4 Ex tc IIIC T85°C Dc	ATEX Zone 2 CSA Div 2/Zone 2 (Recognized)	—